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分析電子顕微鏡 (Transmission Electron Microscope)

設備ID
TU-516
設置機関
東北大学
設備画像
分析電子顕微鏡
メーカー名
トプコン株式会社 (Topcon)
型番
EM-002B
仕様・特徴
・加速電圧 200 kV (LaB6電子銃)
・EDS点分析・マッピング
・プリセッション回折

透過電子顕微鏡 (Transmission Electron Microscope)

設備ID
TU-517
設置機関
東北大学
設備画像
透過電子顕微鏡
メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
JEM-2000EXⅡ
仕様・特徴
・加速電圧 200 kV (LaB6電子銃)
・試料加熱ホルダー(最高温度 約800 ℃)
・試料冷却ホルダー(最低温度 約-170 ℃)

薄膜断面試料作製装置 (Ion Slicer)

設備ID
TU-518
設置機関
東北大学
設備画像
薄膜断面試料作製装置
メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
EM-09100IS
仕様・特徴
・イオン加速電圧 1~8 kV
・イオン照射角度 0~6°

ジェントルミリング装置 (Gnetle Mill)

設備ID
TU-519
設置機関
東北大学
設備画像
ジェントルミリング装置
メーカー名
日本フィジテック (Japan Physitec Co.)
型番
Gentle Mill 3
仕様・特徴
・ビームカレント 5 ~ 80 μA
・イオン照射角度 0~6°

質量分析計 (GC-Tof MS)

設備ID
TU-605
設置機関
東北大学
設備画像
質量分析計
メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
JMS-T100GCV
仕様・特徴
・マスレンジ:m/z 4~4,000
・イオン化法:EI、FI(電解イオン化)、FD(電解脱離イオン化)
・質量分解能:m/z 617(PFK)で6000以上

CHN有機微量元素分析装置 (C, H, N Elemental Analyzer)

設備ID
TU-608
設置機関
東北大学
設備画像
CHN有機微量元素分析装置
メーカー名
J-SCIENCE LAB  (J-SCIENCE LAB )
型番
JM-11
仕様・特徴
・測定方式:自己積分方式
・燃焼部の温度制御方式:ソリッドステートリレー制御によるPID制御(各炉の温度設定はパソコンから任意に可能)。
・恒温槽の温度制御方式:ソリッドステートリレー制御によるPID制御。
・検出器:熱伝導度検出方式、 60Ω 4素子タングステンフィラメント 3組を内臓。
・気圧補正:本体に内蔵し、コンピュータに自動入力。
・試料サンプラー:横型で最大20サンプルの自動運転。
・燃焼方式:ヘリウム酸素混合方式。

有機ハロゲン・硫黄分析装置 (Halogen and Sulfur Analyzer)

設備ID
TU-609
設置機関
東北大学
設備画像
有機ハロゲン・硫黄分析装置
メーカー名
ヤナコテクニカルサイエンス (Yanaco)
型番
YHS-11
仕様・特徴
・構成:試料導入装置(HAS-25)、試料燃焼ユニット(HNS-18)、燃焼ガス吸収ユニット(HSU-45)、イオンクロマトグラフ(ICA-2000)
・イオンクロマトグラフ部:電気伝導度検出器(ダイナミツクレンジ:512mS/m)、脱気装置と恒温槽ユニットが一体型

両面アライナ(8") (Double-side aligner)

設備ID
TU-069
設置機関
東北大学
設備画像
両面アライナ(8")
メーカー名
SUSS (SUSS)
型番
MA8/BA8 Gen3
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片~6インチ
露光波長:ブロードバンド、i線
最小露光線幅:~0.7um
アライメント精度(片面):~1um
アライメント精度(両面):~3um

真空アニール炉 (Vacuum annealing)

設備ID
TU-109
設置機関
東北大学
設備画像
真空アニール炉
メーカー名
アドバンス理工 (Advance Riko)
型番
RHL-Pss98/98#
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片~4インチ
赤外線ランプ加熱
基板温度:最高1000℃

自動搬送 芝浦スパッタ装置(冷却型) (Automatic Shibaura sputtering (Cooling))

設備ID
TU-161
設置機関
東北大学
設備画像
自動搬送 芝浦スパッタ装置(冷却型)
メーカー名
芝浦メカトロニクス (Shibaura Mechatronics)
型番
!-Miller CFS-4EP-LL
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片~8インチ
サンプルステージ:直径220mm
基板温度:約20℃
電源:RF×1
ターゲット:3インチ×4
方式:スパッタSIDE
到達真空度:8E-5Pa 
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