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拡がり抵抗測定装置 (Spreading resistance measurement)

設備ID
TU-321
設置機関
東北大学
設備画像
拡がり抵抗測定装置
メーカー名
Solid State Measurement (Solid State Measurement)
型番
SSM150
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片
ウェハを小片にして端面を斜め研磨した後に測定

FIB (FIB)

設備ID
TU-322
設置機関
東北大学
設備画像
FIB
メーカー名
SII (SII)
型番
SMI9200
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片

XRD (XRD)

設備ID
TU-323
設置機関
東北大学
設備画像
XRD
メーカー名
ブルカー・エイエックスエス (Bruker)
型番
D8 DISCOVER
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片~6インチ

直線集束ビーム超音波材料解析システム#1 (Line-focus-beam acoustic microscope #1)

設備ID
TU-324
設置機関
東北大学
設備画像
直線集束ビーム超音波材料解析システム#1
メーカー名
オリジナル (Original)
型番
-
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片~6インチ
東北大学名誉教授 櫛引淳一 先生が開発した装置

直線集束ビーム超音波材料解析システム#2 (Line-focus-beam acoustic microscope #2 )

設備ID
TU-325
設置機関
東北大学
設備画像
直線集束ビーム超音波材料解析システム#2
メーカー名
オリジナル (Original)
型番
-
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片~8インチ
東北大学名誉教授 櫛引淳一先生が開発した装置

高分解能透過電子顕微鏡 (Transmission Electron Microscope)

設備ID
TU-501
設置機関
東北大学
設備画像
高分解能透過電子顕微鏡
メーカー名
サーモフィッシャーサイエンティフィック株式会社 (Thermo Fisher Scientific K.K.)
型番
Titan 80-300
仕様・特徴
・加速電圧 300 kV/80 kV
・球面収差補正装置(結像系)
・EDS分析(検出器=30 mm2
・高傾斜一軸ホルダー

超高分解能分析電子顕微鏡 (Transmission Electron Microscope)

設備ID
TU-502
設置機関
東北大学
設備画像
超高分解能分析電子顕微鏡
メーカー名
サーモフィッシャーサイエンティフィック株式会社 (Thermo Fisher Scientific K.K.)
型番
Titan3 60-300 (double)
仕様・特徴
・加速電圧 300 kV/60 kV
・球面収差補正装置(照射系、結像系)
・EDS分析(30 mm2 検出器 ×4=120 mm2)
・エネルギー分解能 0.30 eV/0.85 eV (mono on/off)

超高分解能分析電子顕微鏡 (Transmission Electron Microscope)

設備ID
TU-503
設置機関
東北大学
設備画像
超高分解能分析電子顕微鏡
メーカー名
サーモフィッシャーサイエンティフィック株式会社 (Thermo Fisher Scientific K.K.)
型番
Titan3 60-300 (probe)
仕様・特徴
・加速電圧 300 kV/60 kV
・球面収差補正装置(照射系)
・EDS分析(30 mm2 検出器 ×4=120 mm2)

超高分解能透過電子顕微鏡 (Transmission Electron Microscope)

設備ID
TU-504
設置機関
東北大学
設備画像
超高分解能透過電子顕微鏡
メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
JEM-ARM200F
仕様・特徴
・加速電圧 200 kV/80 kV
・球面収差補正装置(照射系、結像系)
・EDS分析(検出器=100 mm2)
・EELS分光器 エネルギー分解能 0.35 eV
・高傾斜一軸ホルダー

低加速走査電子顕微鏡 (Scanning Electron Microscope)

設備ID
TU-505
設置機関
東北大学
設備画像
低加速走査電子顕微鏡
メーカー名
日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Tech)
型番
SU-8000
仕様・特徴
・加速電圧 0.1 kV~30 kV FE電子銃
・二次電子像分解能 1.0/1.3 nm (15/1 kV)
・EDS分析、元素マッピング
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