共用設備検索結果
エキシマ洗浄装置 (Excimer lamp cleaner)
- 設備ID
- TU-265
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- デアネヒステ (Dernaechste)
- 型番
- EXC-1201-DN
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～4インチ
ガス：O2
ウェハゴミ検査装置 (Wafer dust counter)
- 設備ID
- TU-301
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- トプコン (Topcon)
- 型番
- WM-3
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～6インチ
カセットtoカセット
膜厚計 (Film thickness measurement)
- 設備ID
- TU-302
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- ナノメトリクス (Nanometrics)
- 型番
- NanoSpec3000
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～6インチ
卓上型エリプソ (Desktop Ellipsometer)
- 設備ID
- TU-303
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- フォトニックラティス (Photonic lattice)
- 型番
- SE-101
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～6インチ
Dektak 段差計 (Dektak surface profiler)
- 設備ID
- TU-305
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- Dektak (Dektak)
- 型番
- 8
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～6インチ
Tencor 段差計 (Tencor profiler)
- 設備ID
- TU-306
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- Tencor (Tencor)
- 型番
- AlphaStep
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～6インチ
金属顕微鏡 (Microscope)
- 設備ID
- TU-307
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- ニコン (Nikon)
- 型番
- L150、L200
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～8インチ
画像ファイル取得可
デジタル顕微鏡 (Digital microscope)
- 設備ID
- TU-308
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- キーエンス／クノーテクノクラフト (Keyence/Kunoh)
- 型番
- -
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～8インチ
レンズ：20～200倍、500～5000倍
画像ファイル取得可
自動ステージ（PC制御）付
赤外線顕微鏡 (Infrared microscope)
- 設備ID
- TU-309
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- オリンパス/浜松ホトニクス (Olympus/Hamamatsu)
- 型番
- -
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～6インチ