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ディスコ ダイサ (Disco dicer)

設備ID
TU-255
設置機関
東北大学
設備画像
ディスコ ダイサ
メーカー名
ディスコ (Disco)
型番
DAD-522
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片~6インチ
切削水:水道水

東京精密 ダイサ (Accretech dicer)

設備ID
TU-256
設置機関
東北大学
設備画像
東京精密 ダイサ
メーカー名
東京精密 (Accretech)
型番
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片~6インチ
切削水:純水

ワイヤボンダ (Wire bonder)

設備ID
TU-257
設置機関
東北大学
設備画像
ワイヤボンダ
メーカー名
Westbond (Westbond)
型番
-
仕様・特徴
ワイヤ:Al、Au

レーザマーカ (Laser marker)

設備ID
TU-258
設置機関
東北大学
設備画像
レーザマーカ
メーカー名
GSIルモニクス (GSI)
型番
WM-II
仕様・特徴
サンプルサイズ:4インチ

サンドブラスト (Sand bluster)

設備ID
TU-259
設置機関
東北大学
設備画像
サンドブラスト
メーカー名
新東 (Shinto)
型番
-
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片~6インチ
砥粒:アルミナ、粒径14μm程度

4インチウェハ研磨装置 (4 wafer polisher)

設備ID
TU-260
設置機関
東北大学
設備画像
4インチウェハ研磨装置
メーカー名
BNテクノロジー (BN technology)
型番
Bni52
仕様・特徴
サンプルサイズ:4インチ

6インチウェハ研磨装置 (6 wafer polisher)

設備ID
TU-261
設置機関
東北大学
設備画像
6インチウェハ研磨装置
メーカー名
BNテクノロジー (BN technology)
型番
Bni62
仕様・特徴
サンプルサイズ:6インチ

サーフェイスプレナー (Surface planer)

設備ID
TU-262
設置機関
東北大学
設備画像
サーフェイスプレナー
メーカー名
ディスコ (Disco)
型番
DAS8920
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片~6インチ

UVインプリント装置 (UV imprint)

設備ID
TU-263
設置機関
東北大学
設備画像
UVインプリント装置
メーカー名
東芝機械 (Toshiba Machine)
型番
ST-50
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片~6インチ(ステージの可動範囲は4インチ角)
モールドサイズ:小片~3インチ
荷重:最大50kN

熱インプリント装置 (Thermal imprint)

設備ID
TU-264
設置機関
東北大学
設備画像
熱インプリント装置
メーカー名
オリジン電気 (Origin)
型番
Reprina-T50A
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片~2インチ角
温度:最大650℃
荷重:最大30kN
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