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X線磁気円二色性分光 (X-ray magnetic circular dichroic spectroscopy)

メーカー名
JANIS (JANIS)
型番
7THM-SOM-UHV
設備画像
X線磁気円二色性分光
設置機関
自然科学研究機構  分子科学研究所
仕様・特徴
UVSOR-III BL4B (100-1000eV円偏光)
超伝導磁石はJANIS社製7THM-SOM-UHV (±7T, 5K)、
試料作製槽 LEED/AES, 蒸着などを装備

マスクレス露光装置 (Maskless Lithography System)

メーカー名
ナノシステムソリューションズ (NanoSystem Solutions)
型番
DL-1000
設備画像
マスクレス露光装置
設置機関
自然科学研究機構  分子科学研究所
仕様・特徴
【付帯設備】
精密温度調整機能付クリーンブース
マスクアライナー(ミカサ社製MA-10)
スピンコーター(ミカサ社製MS-A100)

3次元光学プロファイラーシステム  (3D Optical Profilers)

メーカー名
Zygo (Zygo)
型番
Nexview
設備画像
3次元光学プロファイラーシステム
設置機関
自然科学研究機構  分子科学研究所
仕様・特徴
3次元光学プロファイラーシステム
精密温度調整機能付クリーンブース

電子ビーム描画装置 (Electron Beam Lithgraphy System)

メーカー名
エリオニクス (Elionix Inc.)
型番
ELS-G100
設備画像
電子ビーム描画装置
設置機関
自然科学研究機構  分子科学研究所
仕様・特徴
最大加速電圧100kV, 最小ビーム径1.8nm, 最小描画線幅6nm

電界放出形走査電子顕微鏡 (Field emission scanning electron microscope)

メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
JSM-6700F
設備画像
電界放出形走査電子顕微鏡
設置機関
自然科学研究機構  分子科学研究所
仕様・特徴
試料2インチまで

低真空分析走査電子顕微鏡 (Low vacuum analysis scanning electron microscope)

メーカー名
日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Tech)
型番
SU6600
設備画像
低真空分析走査電子顕微鏡
設置機関
自然科学研究機構  分子科学研究所
仕様・特徴
ショットキー形電子銃
空間分解能1.2nm(30kV)、3.0nm(30kV)
低真空機能(10~300Pa)
EDS(EDX)(BrukerAXS社製 FQ5060/XFlash6)

電界放出形透過型電子顕微鏡 (Field emission transmission electron microscope)

メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
JEM-2100F
設備画像
電界放出形透過型電子顕微鏡
設置機関
自然科学研究機構  分子科学研究所
仕様・特徴
電子銃 フィールドエミッション
加速電圧 200kV
分解能 0.23nm(粒子像)、0.1nm(格子像)
倍率 X2,000 ~ X1,500,000
試料 3mmφ以内

走査プローブ顕微鏡 (Scanning probe microscope)

メーカー名
Bruker (Bruker)
型番
Dimension XR Icon NanoE Dimension XR Icon NanoEC
設備画像
走査プローブ顕微鏡
設置機関
自然科学研究機構  分子科学研究所
仕様・特徴
形状測定、機械特性測定、電気特性測定、電気化学
大気非暴露ボックス、環境制御ユニット(-35℃~250℃、湿度5%~50%)

単結晶X線回折(CCD-1) (Single crystal X-ray diffraction (CCD-1))

メーカー名
リガク (Rigaku)
型番
MERCURY CCD-1・R-AXIS IV
設備画像
単結晶X線回折(CCD-1)
設置機関
自然科学研究機構  分子科学研究所
仕様・特徴
X線源 Mo、50kV・100mA(5kW)
検出器 MERCURY CCD
温度可変 100~400K

単結晶X線回折(CCD-2) (Single crystal X-ray diffraction (CCD-2))

メーカー名
リガク (Rigaku)
型番
MERCURY CCD-2
設備画像
単結晶X線回折(CCD-2)
設置機関
自然科学研究機構  分子科学研究所
仕様・特徴
X線源 Mo、50kV・100mA(5kW)
検出器 MERCURY CCD
温度可変 100~400K
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