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分光エリプソメーター [UNECS-2000A] (Spectroscopic Ellipsometer [UNECS-2000A])

設備ID
NM-663
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
設備画像
分光エリプソメーター [UNECS-2000A]
メーカー名
アルバック (ULVAC)
型番
UNECS-2000A
仕様・特徴
1. 光源:ハロゲンランプ
2. 波長範囲:530~750 nm
3. スポット径:1mm
4. 入射角:70°固定
5. 試料サイズ:最大φ200mm

低ダメージ精密エッチング装置 [Spica] (ICP-RIE [Spica])

設備ID
NM-662
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
設備画像
低ダメージ精密エッチング装置 [Spica]
メーカー名
住友精密工業 (Sumitomo Precision Products)
型番
Spica
仕様・特徴
プラズマ励起方式:誘導結合型
ICP出力:最大1kW
バイアス出力:最大300W
フッ素系ガスユニット:CHF3, CF4, C4F8, SF6, Ar, O2, N2
塩素系ガスユニット:Cl2, SiCl4, SF6, Ar, O2, N2
試料ステージ温度:10℃~30℃
最大試料サイズ:6インチΦ

電子ビーム描画装置 [JBX-8100FS] (EB Lithography [JBX-8100FS])

設備ID
NM-661
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
設備画像
電子ビーム描画装置 [JBX-8100FS]
メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
JBX-8100FS
仕様・特徴
1. 最高加速電圧200kV
2. クロック周波数125MHz
3. 12カセット自動搬送
4. 最大8インチウェハ対応

赤外線ランプ加熱装置 [RTP-6 #3] (RTA [RTP-6 #3])

設備ID
NM-634
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
設備画像
赤外線ランプ加熱装置 [RTP-6 #3]
メーカー名
アドバンス理工株式会社 (ADVANCE RIKO)
型番
RTP-6
仕様・特徴
・用途:多目的熱処理プロセス
・加熱方式:赤外線ランプによる上部片面加熱
・プロセス温度:1200℃以下
・昇温速度:10℃/秒以下
・プロセスガス:N2,O2,Ar+3%H2
・最大試料サイズ:φ6inch
・その他:タッチパネル操作系

SiO2プラズマCVD装置 [PD-220NL] (SiO2 PECVD [PD-220NL])

設備ID
NM-633
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
設備画像
SiO2プラズマCVD装置 [PD-220NL]
メーカー名
サムコ (samco)
型番
PD-220NL
仕様・特徴
・プラズマ方式:平行平板型
・電源出力:30-300W
・原料:TEOS (SiO2)
・成膜温度:400度以下
・最大試料サイズ:φ8inch

NMR (NMR)

設備ID
NM-001
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
設備画像
NMR
メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
ECS-400
仕様・特徴
・共鳴周波数:400MHz
・プローブ:多核種対応(1H, 13C, 15N~31P, 19F, 39K, 109Ag)
・温調:あり
・溶液サンプル専用

LC-MS(Q-Exactive Plus) (LC-MS(Q-Exactive Plus))

設備ID
NM-002
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
設備画像
LC-MS(Q-Exactive Plus)
メーカー名
サーモフィッシャーサイエンティフィック (Thermo Fisher Scientific)
型番
Q-Exactive Plus
仕様・特徴
・イオン化方式:ESI
・質量検出方式:Orbitrap
・測定質量範囲:50~6,000 m/z
・オートサンプラー:あり
・タンパク同定ソフト:MASCOT

ラマン顕微鏡 (Raman microscope)

設備ID
NM-003
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
設備画像
ラマン顕微鏡
メーカー名
レニショー (Renishaw)
型番
inVia Reflex
仕様・特徴
・ラインレーザー照射による高速ラマンイメージング。
・繋ぎ目のない連続した広い波数範囲のスペクトル測定。
・共焦点機構による高い空間分解能。
・レーザー波長:532nm及び785nm
・波数分解能:0.3cm-1
・空間分解能:水平0.25µm、垂直1µm
・対物レンズ:5倍、20倍、50倍、63倍(水浸)、100倍
・温度制御:-196~600℃

共焦点レーザー走査型蛍光顕微鏡 (Confocal laser scanning fluorescence microscope)

設備ID
NM-004
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
設備画像
共焦点レーザー走査型蛍光顕微鏡
メーカー名
ライカマイクロシステムズ (Leica Microsystems)
型番
SP5
仕様・特徴
・対物レンズ:10倍、20倍、40倍、63倍
・高速モード撮影時:秒/250コマ撮影
・高解像モード撮影時:8000×8000撮影が可能
・励起光源:405nm、458nm、476nm、488nm、514nm, 543nm、633nm

液中原子間力顕微鏡 (Atomic force microscope (AFM) in liquid)

設備ID
NM-005
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
設備画像
液中原子間力顕微鏡
メーカー名
ブルカー (Bruker)
型番
NanoWizard 4 XP
仕様・特徴
【AFM測定】
・液中観察:可
・走査範囲:水平100µm、垂直15µm
・動作モード:コンタクトモード、タッピングモード、フォースカーブマッピングモード、粘弾性測定、MFM観察
【直上顕微鏡】
・観察倍率:10倍
【倒立顕微鏡】
・観察法:明視野、位相差、蛍光
・対物レンズ:10倍、40倍
【その他】
・温度制御:室温+60℃まで
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