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液中原子間力顕微鏡 (Atomic force microscope (AFM) in liquid)
- 設備ID
- 設置機関
- 物質・材料研究機構 (NIMS)
- 設備画像

- メーカー名
- ブルカー (Bruker)
- 型番
- NanoWizard 4 XP
- 仕様・特徴
- 【AFM測定】
・液中観察:可
・走査範囲:水平100µm、垂直15µm
・動作モード:コンタクトモード、タッピングモード、フォースカーブマッピングモード、粘弾性測定、MFM観察
【直上顕微鏡】
・観察倍率:10倍
【倒立顕微鏡】
・観察法:明視野、位相差、蛍光
・対物レンズ:10倍、40倍
【その他】
・温度制御:室温+60℃まで
走査型プローブ顕微鏡 [Jupiter XR] (SPM [Jupiter XR])
- 設備ID
- 設置機関
- 物質・材料研究機構 (NIMS)
- 設備画像
![走査型プローブ顕微鏡 [Jupiter XR]](data/facility_item/NM-622.jpg)
- メーカー名
- オックスフォード・インストゥルメンツ (Oxford Instruments)
- 型番
- Jupiter XR
- 仕様・特徴
- ・用途:ナノ構造の計測
・評価・測定モード:形状測定、メカニカル測定、電気測定、磁気測定、等
・走査範囲:90um
・ステージ可動範囲:200mm角
・最大試料サイズ:φ8inch
パーク・システムズAFM (Park systems AFM)
- 設備ID
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像

- メーカー名
- パーク・システムズ (Park systems)
- 型番
- NX20
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ:小片~8インチ
走査型プローブ顕微鏡 (Scanning Probe Microscope)
- 設備ID
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像

- メーカー名
- 日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Tech)
- 型番
- L-traceⅡ
- 仕様・特徴
- □主な特長
・Z直進エラーの低減化
・S/N比向上と光ノイズ低減
・熱源抑制効果による低ドリフト化
□主な仕様
・分解能 面内0.5nm 垂直0.05nm
・試料サイズ 直径150mm厚さ12mmまで
・スキャン最大エリア90µmX90µm
□主な用途
・ 微細加工形状の評価
・ 薄膜の表面形状(粗さ)観察
小型原子間力顕微鏡 (Atomin Force Microscope (AFM))
- 設備ID
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像

- メーカー名
- 日立ハイテクサイエンス (Hitachi High-Tech Science)
- 型番
- SPA400+SPI4000
- 仕様・特徴
- 日立ハイテクサイエンス プローブステーション
原子間力顕微鏡 (Atomic Force Microscope (AFM))
- 設備ID
- 設置機関
- 名古屋大学
- 設備画像

- メーカー名
- Veeco Instruments社 (Veeco Instruments)
- 型番
- AFM Nanoscope IIIa
- 仕様・特徴
- ・MMAFM型マルチモードSPMユニット・サンプルサイズ:15mmφ×6mm厚(最大)・観察環境:大気中(標準機能)
・水平分解能:1nm(タッピング・モードAFM)
・スキャンサイズ:(水平軸走査範囲)0.4μm×0.4μm(AS-0.5)&10μm×10μm(AS-12), (垂直軸走査範囲)0.4μm(AS-0.5)&2.5μm(AS-12)
原子間力顕微鏡 (Atomic force microscope)
- 設備ID
- 設置機関
- 名古屋大学
- 設備画像

- メーカー名
- Bruker AXS (Bruker AXS)
- 型番
- Dimension3100
- 仕様・特徴
- ・スキャン領域:XY方向 約90μm,Z方向 約6μm
・試料サイズ:最大150 mmφ-12 mmT
・測定モード AFM,MFM,EFM,LFM,表面電位顕微鏡,電流像
高速液中原子間力顕微鏡 (Liquid-Enviroment High Speed AFM)
- 設備ID
- 設置機関
- 京都大学
- 設備画像

- メーカー名
- (株)生体分子計測研究所 (Research Institute of Biomolecule Metrology Co., Ltd.)
- 型番
- NanoLiveVision NLV-KS
- 仕様・特徴
- 10fpsの動画観察可能な原子間力顕微鏡
・推奨凹凸高さ 30 nm以下
・試料形状例 Φ1.5mm雲母板表面に吸着
・測定環境 液中観察
走査型プローブ顕微鏡システム (Bioscience Atomic Force Microscope)
- 設備ID
- 設置機関
- 京都大学
- 設備画像

- メーカー名
- JPKインスツルメンツ社 (JPK Instruments AG)
- 型番
- NanoWizard III
- 仕様・特徴
- 大気中または液体中でのAFM計測
AFM測定と光学測定を同時実行可能
・NW3-XS-0ほか
走査型プローブ顕微鏡装置群 (Scanning Probe Microscope)
- 設備ID
- 設置機関
- 九州大学
- 設備画像

- メーカー名
- アジレントテクノロジー島津製作所Veecoエスアイアイ・ナノテクノロジー (Agilent Technologies ShimazuVeecoSeiko Instruments)
- 型番
- PicoPlus 5500SPM9600nanoscopeIIIaSPI3800N
- 仕様・特徴
- 【PicoPlus 5500】
・水平分解能:0.14 nm
・垂直分解能:0.01 nm
【付帯設備:表面抵抗率計Loresta-GP 三菱化学社製】
・4端子4探針法 定電流印加方式、
・測定レンジ:10-3~107Ω
・直列4探針プローブ
・サンプル形状から体積低効率および伝導率算出可能
【SPM9600】
・分解能 水平0.2nm 垂直0.01nm
・測定モード :コンタクト、ダイナミック、位相
【走査型プローブ顕微鏡測定システム:nanoscopeIIIa】
・測定モード:S11(複素反射係数)dC/dV
・周波数:2GHz~6GHz
・キャバシタンス:1.2aF
・ダイナミックレンジ:1014cm3~1020cm3
・空間分解能:2nm以下
・カンチレバー:固体金属プローブ
・スキャンレンジ:XY軸 90μ×90μm以上 Z軸8μm以上
【環境制御型多機能走査プローブ顕微鏡:SPI3800N】
・環境:大気中、液中、真空中、ガス雰囲気
・温度制御: 自動加熱・冷却(-120~250℃)
・位相、摩擦、粘弾性、電流、etc.