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液中原子間力顕微鏡 (Atomic force microscope (AFM) in liquid)

設備ID
NM-005
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
設備画像
液中原子間力顕微鏡
メーカー名
ブルカー (Bruker)
型番
NanoWizard 4 XP
仕様・特徴
【AFM測定】
・液中観察:可
・走査範囲:水平100µm、垂直15µm
・動作モード:コンタクトモード、タッピングモード、フォースカーブマッピングモード、粘弾性測定、MFM観察
【直上顕微鏡】
・観察倍率:10倍
【倒立顕微鏡】
・観察法:明視野、位相差、蛍光
・対物レンズ:10倍、40倍
【その他】
・温度制御:室温+60℃まで

走査型プローブ顕微鏡 [Jupiter XR] (SPM [Jupiter XR])

設備ID
NM-622
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
設備画像
走査型プローブ顕微鏡 [Jupiter XR]
メーカー名
オックスフォード・インストゥルメンツ (Oxford Instruments)
型番
Jupiter XR
仕様・特徴
・用途:ナノ構造の計測
・評価・測定モード:形状測定、メカニカル測定、電気測定、磁気測定、等
・走査範囲:90um
・ステージ可動範囲:200mm角
・最大試料サイズ:φ8inch

パーク・システムズAFM (Park systems AFM)

設備ID
TU-319
設置機関
東北大学
設備画像
パーク・システムズAFM
メーカー名
パーク・システムズ (Park systems)
型番
NX20
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片~8インチ

走査型プローブ顕微鏡 (Scanning Probe Microscope)

設備ID
UT-307
設置機関
東京大学
設備画像
走査型プローブ顕微鏡
メーカー名
日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Tech)
型番
L-traceⅡ
仕様・特徴
□主な特長
・Z直進エラーの低減化
・S/N比向上と光ノイズ低減
・熱源抑制効果による低ドリフト化
□主な仕様
・分解能 面内0.5nm 垂直0.05nm
・試料サイズ 直径150mm厚さ12mmまで
・スキャン最大エリア90µmX90µm
□主な用途
・ 微細加工形状の評価
・ 薄膜の表面形状(粗さ)観察

小型原子間力顕微鏡  (Atomin Force Microscope (AFM))

設備ID
UT-859
設置機関
東京大学
設備画像
小型原子間力顕微鏡
メーカー名
日立ハイテクサイエンス (Hitachi High-Tech Science)
型番
SPA400+SPI4000
仕様・特徴
日立ハイテクサイエンス プローブステーション

原子間力顕微鏡 (Atomic Force Microscope (AFM))

設備ID
NU-008
設置機関
名古屋大学
設備画像
原子間力顕微鏡
メーカー名
Veeco Instruments社 (Veeco Instruments)
型番
AFM Nanoscope IIIa
仕様・特徴
・MMAFM型マルチモードSPMユニット・サンプルサイズ:15mmφ×6mm厚(最大)・観察環境:大気中(標準機能)
・水平分解能:1nm(タッピング・モードAFM)
・スキャンサイズ:(水平軸走査範囲)0.4μm×0.4μm(AS-0.5)&10μm×10μm(AS-12), (垂直軸走査範囲)0.4μm(AS-0.5)&2.5μm(AS-12)

原子間力顕微鏡 (Atomic force microscope)

設備ID
NU-204
設置機関
名古屋大学
設備画像
原子間力顕微鏡
メーカー名
Bruker AXS (Bruker AXS)
型番
Dimension3100
仕様・特徴
・スキャン領域:XY方向 約90μm,Z方向 約6μm
・試料サイズ:最大150 mmφ-12 mmT
・測定モード AFM,MFM,EFM,LFM,表面電位顕微鏡,電流像

高速液中原子間力顕微鏡 (Liquid-Enviroment High Speed AFM)

設備ID
KT-303
設置機関
京都大学
設備画像
高速液中原子間力顕微鏡
メーカー名
(株)生体分子計測研究所 (Research Institute of Biomolecule Metrology Co., Ltd.)
型番
NanoLiveVision NLV-KS
仕様・特徴
10fpsの動画観察可能な原子間力顕微鏡
・推奨凹凸高さ 30 nm以下
・試料形状例 Φ1.5mm雲母板表面に吸着
・測定環境 液中観察

走査型プローブ顕微鏡システム (Bioscience Atomic Force Microscope)

設備ID
KT-304
設置機関
京都大学
設備画像
走査型プローブ顕微鏡システム
メーカー名
JPKインスツルメンツ社 (JPK Instruments AG)
型番
NanoWizard III
仕様・特徴
大気中または液体中でのAFM計測
AFM測定と光学測定を同時実行可能
・NW3-XS-0ほか

走査型プローブ顕微鏡装置群 (Scanning Probe Microscope)

設備ID
KU-510
設置機関
九州大学
設備画像
走査型プローブ顕微鏡装置群
メーカー名
アジレントテクノロジー島津製作所Veecoエスアイアイ・ナノテクノロジー (Agilent Technologies ShimazuVeecoSeiko Instruments)
型番
PicoPlus 5500SPM9600nanoscopeIIIaSPI3800N
仕様・特徴
【PicoPlus 5500】
・水平分解能:0.14 nm
・垂直分解能:0.01 nm
【付帯設備:表面抵抗率計Loresta-GP 三菱化学社製】
・4端子4探針法 定電流印加方式、
・測定レンジ:10-3~107Ω
・直列4探針プローブ
・サンプル形状から体積低効率および伝導率算出可能
【SPM9600】
・分解能 水平0.2nm 垂直0.01nm
・測定モード :コンタクト、ダイナミック、位相
【走査型プローブ顕微鏡測定システム:nanoscopeIIIa】
・測定モード:S11(複素反射係数)dC/dV
・周波数:2GHz~6GHz
・キャバシタンス:1.2aF
・ダイナミックレンジ:1014cm3~1020cm3
・空間分解能:2nm以下
・カンチレバー:固体金属プローブ
・スキャンレンジ:XY軸 90μ×90μm以上 Z軸8μm以上
【環境制御型多機能走査プローブ顕微鏡:SPI3800N】
・環境:大気中、液中、真空中、ガス雰囲気
・温度制御: 自動加熱・冷却(-120~250℃)
・位相、摩擦、粘弾性、電流、etc.
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