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液中原子間力顕微鏡 (Atomic force microscope (AFM) in liquid)

メーカー名
ブルカー (Bruker)
型番
NanoWizard 4 XP
設備画像
液中原子間力顕微鏡
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
仕様・特徴
【AFM測定】
・液中観察:可
・走査範囲:水平100µm、垂直15µm
・動作モード:コンタクトモード、タッピングモード、フォースカーブマッピングモード、粘弾性測定、MFM観察
【直上顕微鏡】
・観察倍率:10倍
【倒立顕微鏡】
・観察法:明視野、位相差、蛍光
・対物レンズ:10倍、40倍
【その他】
・温度制御:室温+60℃まで

高速広域走査型プローブ顕微鏡 (High-speed wide-area scanning probe microscope)

メーカー名
オックスフォード・インストゥルメンツ (Oxford Instruments)
型番
Jupiter XR
設備画像
高速広域走査型プローブ顕微鏡
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
仕様・特徴
・用途:ナノ構造の計測
・評価・測定モード:形状測定、メカニカル測定、電気測定、磁気測定、等
・走査範囲:90um
・ステージ可動範囲:200mm角
・最大試料サイズ:φ8inch

パーク・システムズAFM (Park systems AFM)

メーカー名
パーク・システムズ (Park systems)
型番
NX20
設備画像
パーク・システムズAFM
設置機関
東北大学
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片~8インチ

走査型プローブ顕微鏡 (Scanning Probe Microscope)

メーカー名
日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Tech)
型番
L-traceⅡ
設備画像
走査型プローブ顕微鏡
設置機関
東京大学
仕様・特徴
□主な特長
・Z直進エラーの低減化
・S/N比向上と光ノイズ低減
・熱源抑制効果による低ドリフト化
□主な仕様
・分解能 面内0.5nm 垂直0.05nm
・試料サイズ 直径150mm厚さ12mmまで
・スキャン最大エリア90µmX90µm
□主な用途
・ 微細加工形状の評価
・ 薄膜の表面形状(粗さ)観察

小型原子間力顕微鏡  (Atomin Force Microscope (AFM))

メーカー名
日立ハイテクサイエンス (Hitachi High-Tech Science)
型番
SPA400+SPI4000
設備画像
小型原子間力顕微鏡
設置機関
東京大学
仕様・特徴
日立ハイテクサイエンス プローブステーション

原子間力顕微鏡 (Atomic Force Microscope (AFM))

メーカー名
Veeco Instruments社 (Veeco Instruments)
型番
AFM Nanoscope IIIa
設備画像
原子間力顕微鏡
設置機関
名古屋大学
仕様・特徴
・MMAFM型マルチモードSPMユニット・サンプルサイズ:15mmφ×6mm厚(最大)・観察環境:大気中(標準機能)
・水平分解能:1nm(タッピング・モードAFM)
・スキャンサイズ:(水平軸走査範囲)0.4μm×0.4μm(AS-0.5)&10μm×10μm(AS-12), (垂直軸走査範囲)0.4μm(AS-0.5)&2.5μm(AS-12)

原子間力顕微鏡 (Atomic force microscope)

メーカー名
Bruker AXS (Bruker AXS)
型番
Dimension3100
設備画像
原子間力顕微鏡
設置機関
名古屋大学
仕様・特徴
・スキャン領域:XY方向 約90μm,Z方向 約6μm
・試料サイズ:最大150 mmφ-12 mmt
・測定モード AFM,MFM,EFM,LFM,表面電位顕微鏡,電流像

高速液中原子間力顕微鏡 (Liquid-Enviroment High Speed AFM)

メーカー名
(株)生体分子計測研究所 (Research Institute of Biomolecule Metrology Co., Ltd.)
型番
NanoLiveVision NLV-KS
設備画像
高速液中原子間力顕微鏡
設置機関
京都大学
仕様・特徴
10fpsの動画観察可能な原子間力顕微鏡
・推奨凹凸高さ 30 nm以下
・試料形状例 Φ1.5mm雲母板表面に吸着
・測定環境 液中観察

走査型プローブ顕微鏡システム (Bioscience Atomic Force Microscope)

メーカー名
JPKインスツルメンツ社 (JPK Instruments AG)
型番
NanoWizard III
設備画像
走査型プローブ顕微鏡システム
設置機関
京都大学
仕様・特徴
大気中または液体中でのAFM計測
AFM測定と光学測定を同時実行可能
・NW3-XS-0ほか

走査型プローブ顕微鏡装置群 (Scanning Probe Microscope)

メーカー名
アジレントテクノロジー 島津製作所 Veeco エスアイアイ・ナノテクノロジー (Agilent Technologies Shimazu Veeco Seiko Instruments)
型番
PicoPlus 5500 SPM9600 nanoscopeIIIa SPI3800N
設備画像
走査型プローブ顕微鏡装置群
設置機関
九州大学
仕様・特徴
【PicoPlus 5500】
・水平分解能:0.14 nm
・垂直分解能:0.01 nm
【付帯設備:表面抵抗率計Loresta-GP 三菱化学社製】
・4端子4探針法 定電流印加方式、
・測定レンジ:10-3~107Ω
・直列4探針プローブ
・サンプル形状から体積低効率および伝導率算出可能
【SPM9600】
・分解能 水平0.2nm 垂直0.01nm
・測定モード :コンタクト、ダイナミック、位相
【走査型プローブ顕微鏡測定システム:nanoscopeIIIa】
・測定モード:S11(複素反射係数)dC/dV
・周波数:2GHz~6GHz
・キャバシタンス:1.2aF
・ダイナミックレンジ:1014㎤~1020㎤
・空間分解能:2nm以下
・カンチレバー:固体金属プローブ
・スキャンレンジ:XY軸 90μ×90μm以上 Z軸8μm以上
【環境制御型多機能走査プローブ顕微鏡:SPI3800N】
・環境:大気中、液中、真空中、ガス雰囲気
・温度制御: 自動加熱・冷却(-120~250℃)
・位相、摩擦、粘弾性、電流、etc.
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