共用設備検索結果
ラマン顕微鏡 (Raman microscope)
- メーカー名
- レニショー (Renishaw)
- 型番
- inVia Reflex
- 設備画像
- 設置機関
- 物質・材料研究機構 (NIMS)
- 仕様・特徴
- ・ラインレーザー照射による高速ラマンイメージング。
・繋ぎ目のない連続した広い波数範囲のスペクトル測定。
・共焦点機構による高い空間分解能。
・レーザー波長：532nm及び785nm
・波数分解能：0.3cm-1
・空間分解能：水平0.25µm、垂直1µm
・対物レンズ：5倍、20倍、50倍、63倍(水浸)、100倍
・温度制御：-196～600℃
共焦点レーザー走査型蛍光顕微鏡 (Confocal laser scanning fluorescence microscope)
- メーカー名
- ライカマイクロシステムズ (Leica Microsystems)
- 型番
- SP5
- 設備画像
- 設置機関
- 物質・材料研究機構 (NIMS)
- 仕様・特徴
- ・対物レンズ：10倍、20倍、40倍、63倍
・高速モード撮影時：秒/250コマ撮影
・高解像モード撮影時：8000×8000撮影が可能
・励起光源：405nm、458nm、476nm、488nm、514nm, 543nm、633nm
３次元測定レーザー顕微鏡 (3D Laser Microscope)
- メーカー名
- オリンパス (OLYMPUS)
- 型番
- LEXT OLS4000
- 設備画像
- 設置機関
- 物質・材料研究機構 (NIMS)
- 仕様・特徴
- ・用途：非接触3次元形状観察
・計測・光源：405nm半導体レーザー
・分解能：XY：0.12um／Z：0.01um
・繰り返し性：XY：3σ=0.02um,／Z：1σ=0.012um（対物レンズ100倍時）
・観察モード：レーザー観察，白色光明視野，微分干渉観察
・試料サイズ：100mm角以下
ウェハゴミ検査装置 (Wafer dust counter)
- メーカー名
- トプコン (Topcon)
- 型番
- WM-3
- 設備画像
- 設置機関
- 東北大学
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～6インチ
カセットtoカセット
デジタル顕微鏡 (Digital microscope)
- メーカー名
- キーエンス／クノーテクノクラフト (Keyence/Kunoh)
- 型番
- -
- 設備画像
- 設置機関
- 東北大学
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～8インチ
レンズ：20～200倍、500～5000倍
画像ファイル取得可
自動ステージ（PC制御）付
赤外線顕微鏡 (Infrared microscope)
- メーカー名
- オリンパス/浜松ホトニクス (Olympus/Hamamatsu)
- 型番
- -
- 設備画像
- 設置機関
- 東北大学
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～6インチ
レーザ／白色共焦点顕微鏡 (Laser/white light confocal microscope)
- メーカー名
- レーザーテック (Lasertec)
- 型番
- OPTELICS HYBRID LS-SD
- 設備画像
- 設置機関
- 東北大学
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～6インチ
レーザ光／白色の切替可能
共焦点／非共焦点の切替可能
自動ステージ付
形状・膜厚・電気特性評価装置群 (Series of analysis equipments, visual, thickness, and electrical/mechanical characteristic.)
- メーカー名
- キーエンス ブルカー 東朋テクノロジー ズースマイクロテック 日本分光 オリンパス (Keyence BRUKER Toho Technology SUSS MicroTec JASCO Olympus)
- 型番
- VHX-6000 DektakXT Tohospec3100 Suss8”プローバ M-550 LEXT OLS5000
- 設備画像
- 設置機関
- 東京大学
- 仕様・特徴
- 枝番1：顕微鏡
枝番2：触針段差計
枝番3：光干渉式膜厚測定装置
枝番4：Suss8”プローバ,針を当てて電気的特性を測定する装置。8インチ対応。
枝番5：分光エリプソメータ―
枝番6：レーザー顕微鏡