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2光子励起顕微鏡  (Two-photon excitation microscope)

メーカー名
Leica (Leica)
型番
TCS SP8 MP STED
設備画像
2光子励起顕微鏡
設置機関
東北大学
仕様・特徴
超解像オプション付、共焦点観察可

Zygo Nexview (Zygo Nexview)

メーカー名
Zygo (Zygo)
型番
Nexview
設備画像
Zygo Nexview
設置機関
東北大学
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片~6インチ

ラマン顕微鏡 (Raman microscope)

メーカー名
レニショー (Renishaw)
型番
inVia Reflex
設備画像
ラマン顕微鏡
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
仕様・特徴
・ラインレーザー照射による高速ラマンイメージング。
・繋ぎ目のない連続した広い波数範囲のスペクトル測定。
・共焦点機構による高い空間分解能。
・レーザー波長:532nm及び785nm
・波数分解能:0.3cm-1
・空間分解能:水平0.25µm、垂直1µm
・対物レンズ:5倍、20倍、50倍、63倍(水浸)、100倍
・温度制御:-196~600℃

共焦点レーザー走査型蛍光顕微鏡 (Confocal laser scanning fluorescence microscope)

メーカー名
ライカマイクロシステムズ (Leica Microsystems)
型番
SP5
設備画像
共焦点レーザー走査型蛍光顕微鏡
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
仕様・特徴
・対物レンズ:10倍、20倍、40倍、63倍
・高速モード撮影時:秒/250コマ撮影
・高解像モード撮影時:8000×8000撮影が可能
・励起光源:405nm、458nm、476nm、488nm、514nm, 543nm、633nm

3次元測定レーザー顕微鏡 (3D Laser Microscope)

メーカー名
オリンパス (OLYMPUS)
型番
LEXT OLS4000
設備画像
3次元測定レーザー顕微鏡
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
仕様・特徴
・用途:非接触3次元形状観察
・計測・光源:405nm半導体レーザー
・分解能:XY:0.12μm/Z:0.01μm
・繰り返し性:XY:3σ=0.02μm,/Z:1σ=0.012μm(対物レンズ100倍時)
・観察モード:レーザー観察,白色光明視野,微分干渉観察
・試料サイズ:100mm角以下

ウェハゴミ検査装置 (Wafer dust counter)

メーカー名
トプコン (Topcon)
型番
WM-3
設備画像
ウェハゴミ検査装置
設置機関
東北大学
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片~6インチ
カセットtoカセット

金属顕微鏡 (Microscope)

メーカー名
ニコン (Nikon)
型番
L150、L200
設備画像
金属顕微鏡
設置機関
東北大学
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片~8インチ
画像ファイル取得可

デジタル顕微鏡 (Digital microscope)

メーカー名
キーエンス/クノーテクノクラフト (Keyence/Kunoh)
型番
-
設備画像
デジタル顕微鏡
設置機関
東北大学
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片~8インチ
レンズ:20~200倍、500~5000倍
画像ファイル取得可
自動ステージ(PC制御)付

赤外線顕微鏡 (Infrared microscope)

メーカー名
オリンパス/浜松ホトニクス (Olympus/Hamamatsu)
型番
-
設備画像
赤外線顕微鏡
設置機関
東北大学
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片~6インチ

レーザ/白色共焦点顕微鏡 (Laser/white light confocal microscope)

メーカー名
レーザーテック (Lasertec)
型番
OPTELICS HYBRID LS-SD
設備画像
レーザ/白色共焦点顕微鏡
設置機関
東北大学
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片~6インチ
レーザ光/白色の切替可能
共焦点/非共焦点の切替可能
自動ステージ付
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