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デバイスシミュレーター (Device Simulator)

設備ID
BA-001
設置機関
筑波大学
設備画像
デバイスシミュレーター
メーカー名
SILVACO (SILVACO)
型番
ATHENA/ATLAS
仕様・特徴
2次元プロセスシミュレーター
2次元シリコン・デバイスシミュレーター
2次元先端材料・デバイスシミュレーター
3次元シリコン/先端材料・デバイスシミュレーター
設備状況
稼働中

回路&レイアウト設計ツール (Ics Design & Layout Editor)

設備ID
KT-120
設置機関
京都大学
設備画像
回路&レイアウト設計ツール
メーカー名
タナーEDA (Tanner EDA)
型番
Tanner Tools Pro
仕様・特徴
・回路設計:回路図エディタ、SPICEシミュレータほか
・レイアウト設計:全角度マスクエディタ、SDL、対応形式(GDSII、CIF、OASIS、DXF、Gerberほか)
・物理検証:DRC、LVS
設備状況
稼働中

MEMS設計ツール(IntelliSuite) (MEMS design tools)

設備ID
RO-132
設置機関
広島大学
設備画像
MEMS設計ツール(IntelliSuite)
メーカー名
インテリセンス (IntelliSense)
型番
IntelliSuite
仕様・特徴
工程データ、フローデータ、材料データ、2Dマスクデータ、3Dモデルデータの利活用に有効。
設備状況
稼働中

電子線描画用近接効果補正ソフト (Procxymity effect correction for electron beam lithography)

設備ID
UT-508
設置機関
東京大学
設備画像
電子線描画用近接効果補正ソフト
メーカー名
GenISys (GenISys GmbH)
型番
Beamer
仕様・特徴
電子線描画時に生じる近接効果を補正して設計通りのレズストパターンを電子線で描画するためのパターン補正システム。グレースケール露光用のデータ生成が可能。
設備状況
稼働中
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