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高性能半導体デバイス アナライザ+プローバ (semiconductor device analyzer)

設備ID
WS-023
設置機関
早稲田大学
設備画像
高性能半導体デバイス アナライザ+プローバ
メーカー名
キーサイト・テクノロジー株式会社 (Keysight Technologies, Inc.)
型番
プローバ:長瀬産業社製(特注品)測定装置:アジレント社製B1500ALCRメータ4284A
仕様・特徴
・0.1 fAおよび0.5 μVまでの電流/電圧(IV)測定をサポート
・ハイ・パワー/メモリ・デバイス・テストのための高電圧パルス発生(最大±40 V)をサポート
・準静的および中間周波数キャパシタンス/電圧(CV)測定をサポート

電気計測装置群(オシロスコープ、スペクトルアナライザー、LCRメーター、等) (Electrical measuring device group)

設備ID
WS-029
設置機関
早稲田大学
設備画像
電気計測装置群(オシロスコープ、スペクトルアナライザー、LCRメーター、等)
メーカー名
キーサイト株式会社エヌエフ回路設計ブロック (Keysight Technologies, Inc.NF CORPORATION)
型番
DSO X-3054TN9322CZM2371
仕様・特徴
1,オシロスコープ:DSOX3054T
帯域幅:500 MHz、
サンプリングレート: 4 GSa/s
入力インピーダンス: 1 M Ω
2,スペアナ:N9322C
周波数:9 kHz to 7 GHz
最大解析帯域幅:1 MHz
3,LCRメータM2371
測定周波数 1mHz~100kHz、設定分解能5桁
測定信号レベル 10mVrms~5Vrms/1μArms~200mArms
DCバイアス用電源内蔵 0~+2.5V

磁気光学効果評価装置 (Evaluation appratus for magneto-optic effect)

設備ID
IT-031
設置機関
東京工業大学
設備画像
磁気光学効果評価装置
メーカー名
プレサイスゲージ サンテック FiberPro アドバンテスト ネオアーク 等のメーカー (Precise Gauges Santech FiberPro Advantest Neoark and other manufacturers)
型番
PGAL-1005 TSL-510 CLS-561 Q8384 BH-762P-TIT
仕様・特徴
プレサイスゲージ社製導波路調芯装置/サンテック社製波長可変光源(波長1500~1680nm)/FiberPro社製ASE光源(~20dBm)/アドバンテスト社製光スペクトラムアナライザ(波長分解能0.01nm)による光導波路試料の磁気光学効果の測定
ファラデー回転測定装置(波長1550nm、最大磁場~1.6T:面直)/ネオアーク社製磁気カー偏光顕微鏡(対物レンズ50倍、最大磁場~0.1T:面内)による薄膜試料の磁気光学効果の測定

東京エレクトロン300mm ウェハプローバ (Tokyo Electron 300mm Wafer Prober)

設備ID
IT-035
設置機関
東京工業大学
設備画像
東京エレクトロン300mm ウェハプローバ
メーカー名
東京エレクトロン (Tokyo Electron)
型番
PrecioNanoPV00043
仕様・特徴
150mm, 200mm, 300mmウェハ対応プローバー
多数枚自動測定対応、シリコンフォトニクス受動デバイス静特性測定

FormFactor 300mm ウェハプローバ (FormFactor 300mm Wafer Prober)

設備ID
IT-036
設置機関
東京工業大学
設備画像
FormFactor 300mm ウェハプローバ
メーカー名
FormFactor (FormFactor)
型番
CM300
仕様・特徴
チップ~ 300mmウェハ対応プローバー
単枚自動測定対応、シリコンフォトニクス受動デバイス静/動特性測定

微小デバイス特性評価装置 (Electron Beam Absorbed Current (EBAC) Characterization System nanoEBAC )

設備ID
NR-601
設置機関
奈良先端科学技術大学院大学 (NAIST)
設備画像
微小デバイス特性評価装置
メーカー名
日立ハイテク (Hitachi High-Tech)
型番
NE4000
仕様・特徴
・加速電圧: 500 V ~ 30 kV
・分解能: 15nm(加速電圧2kV、WD_15mm)
・プローブユニット:4
・付属:半導体デバイス・アナライザ(B1500A)

分光感度・内部量子効率測定装置 (Solar Simulator)

設備ID
NR-602
設置機関
奈良先端科学技術大学院大学 (NAIST)
設備画像
分光感度・内部量子効率測定装置
メーカー名
分光計器 (BUNKOUKEIKI)
型番
CEP-2000RP
仕様・特徴
・波長範囲;300~1200nm
・単色照射面積:10×10mm

プローバ (High-temperature manual probe station)

設備ID
RO-511
設置機関
広島大学
設備画像
プローバ
メーカー名
日本マイクロニクス (Micronics Japan)
型番
C-51
仕様・特徴
解析・評価を行うためのマニュアルプローバ

半導体パラメータアナライザ (Semiconductor Parameter Analyzer)

設備ID
RO-512
設置機関
広島大学
設備画像
半導体パラメータアナライザ
メーカー名
アジレント (Agilent)
型番
4156他
仕様・特徴
トランジスタ特性測定(HP4156、プローバ含む)、
電源3ユニット、最小測定電流0.1pA

LCRメータ (LCR meter)

設備ID
RO-513
設置機関
広島大学
設備画像
LCRメータ
メーカー名
アジレント (Agilent)
型番
4284他
仕様・特徴
周波数 20Hz~1MHz   16048B
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