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電気計測装置群（オシロスコープ、スペクトルアナライザー、ＬＣＲメーター、等） (Electrical measuring device group)
- 設備ID
- WS-029
- 設置機関
- 早稲田大学
- 設備画像
- メーカー名
- キーサイト株式会社エヌエフ回路設計ブロック (Keysight Technologies, Inc.NF CORPORATION)
- 型番
- DSO X-3054TN9322CZM2371
- 仕様・特徴
- １，オシロスコープ：DSOX3054T
帯域幅：500 MHz、
サンプリングレート： 4 GSa/s
入力インピーダンス： 1 M Ω
２，スペアナ：N9322C
周波数:9 kHz to 7 GHz
最大解析帯域幅:1 MHz
３，LCRメータM2371
測定周波数 1mHz～100kHz、設定分解能5桁
測定信号レベル 10mVrms～5Vrms/1μArms~200mArms
DCバイアス用電源内蔵 0～+2.5V
磁気光学効果評価装置 (Evaluation appratus for magneto-optic effect)
- 設備ID
- IT-031
- 設置機関
- 東京工業大学
- 設備画像
- メーカー名
- ()
- 型番
- 仕様・特徴
- プレサイスゲージ社製導波路調芯装置/サンテック社製波長可変光源（波長1500～1680nm）/FiberPro社製ASE光源（~20dBm）/アドバンテスト社製光スペクトラムアナライザ（波長分解能0.01nm）による光導波路試料の磁気光学効果の測定
ファラデー回転測定装置（波長1550nm、最大磁場~1.6T：面直）/ネオアーク社製磁気カー偏光顕微鏡（対物レンズ50倍、最大磁場~0.1T：面内）による薄膜試料の磁気光学効果の測定
東京エレクトロン300mm ウェハプローバ (Tokyo Electron 300mm Wafer Prober)
- 設備ID
- IT-035
- 設置機関
- 東京工業大学
- 設備画像
- メーカー名
- 東京エレクトロン (Tokyo Electron)
- 型番
- PrecioNanoPV00043
- 仕様・特徴
- 150mm, 200mm, 300mmウェハ対応プローバー
多数枚自動測定対応、シリコンフォトニクス受動デバイス静特性測定
FormFactor 300mm ウェハプローバ (FormFactor 300mm Wafer Prober)
- 設備ID
- IT-036
- 設置機関
- 東京工業大学
- 設備画像
- メーカー名
- FormFactor (FormFactor)
- 型番
- CM300
- 仕様・特徴
- チップ~ 300mmウェハ対応プローバー
単枚自動測定対応、シリコンフォトニクス受動デバイス静/動特性測定
特型走査電子顕微鏡装置 (Scanning Electron Microscope)
- 設備ID
- NI-002
- 設置機関
- 名古屋工業大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日本電子 (JEOL)
- 型番
- JSM5600＋特型試料ステージ
- 仕様・特徴
- WフィラメントSEM。ピエゾ駆動探針装備。電気・機械特性測定、その場抵抗加熱可能。
微小デバイス特性評価装置 (Electron Beam Absorbed Current (EBAC) Characterization System nanoEBAC )
- 設備ID
- NR-601
- 設置機関
- 奈良先端科学技術大学院大学 (NAIST)
- 設備画像
- メーカー名
- 日立ハイテク (Hitachi High-Tech)
- 型番
- NE4000
- 仕様・特徴
- ・加速電圧: 500 V ～ 30 kV
・分解能: 15nm（加速電圧2kV、WD_15mm）
・プローブユニット：4
・付属：半導体デバイス・アナライザ（B1500A）
分光感度・内部量子効率測定装置 (Solar Simulator)
- 設備ID
- NR-602
- 設置機関
- 奈良先端科学技術大学院大学 (NAIST)
- 設備画像
- メーカー名
- 分光計器 (BUNKOUKEIKI)
- 型番
- CEP-2000RP
- 仕様・特徴
- ・波長範囲；300～1200nm
・単色照射面積：10×10mm
プローバ (High-temperature manual probe station)
- 設備ID
- RO-511
- 設置機関
- 広島大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日本マイクロニクス (Micronics Japan)
- 型番
- C-51
- 仕様・特徴
- 解析・評価を行うためのマニュアルプローバ
半導体パラメータアナライザ (Semiconductor Parameter Analyzer)
- 設備ID
- RO-512
- 設置機関
- 広島大学
- 設備画像
- メーカー名
- アジレント (Agilent)
- 型番
- 4156他
- 仕様・特徴
- トランジスタ特性測定（HP4156、プローバ含む）、
電源3ユニット、最小測定電流0.1pA
LCRメータ (LCR meter)
- 設備ID
- RO-513
- 設置機関
- 広島大学
- 設備画像
- メーカー名
- アジレント (Agilent)
- 型番
- 4284他
- 仕様・特徴
- 周波数 20Hz～1MHz 16048B