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10kV計測システム (10kV Measurement System)

設備ID
BA-027
設置機関
筑波大学
設備画像
10kV計測システム
メーカー名
アポロウエーブ/テクトロニクス・ケースレーインスツルメンツ (Apollowave/Tektronics-Keithley)
型番
α150PW/2290-10, 2636B
仕様・特徴
最大10kVの電圧印加によるリーク電流、耐圧測定
200V,1Aの汎用IV測定(SMU:4ch)
4端子デバイス測定
高温ステージ(最高300℃)のマニュアルプローバ(最大φ4インチ。5㎜□、φ2インチの吸着可)

電波暗箱 (Radio waves shield box)

設備ID
UT-953
設置機関
東京大学
設備画像
電波暗箱
メーカー名
マイクロニクス (micronix)
型番
MY5310B
仕様・特徴
・フェライト系電波吸収体を使用。
・超小型・広帯域アンテナ(30MHz~1GHz)を用意。
EMI試験に最適
・内寸:1230(W)x915(H)x915(D)
・ドア開口部寸法:約410(W)×710(H)mm
・同軸コネクタ:N(J)×1(正面左下・アンテナ用)、N(J)×1(右側面下)
・インターフェース:D-sub25ピン×1(メス)、LAN×1
AC×1(250Vmax/10A)、※電動ターンテーブル装着時はAC100V
・シールド性能:70dB typ@2.2GHz
・吸収性能:20dB以上@35MHz~2.2GHz
注意:キャリブレーションキット(ZV-Z132、R&S)が武田309号室川原研究室にあります。使用したい場合はお声掛けください。

HF,VHF,UHF測定装置群(カテゴリ1200) (HF, VHF, UHFMeasuring Devices(Category 1200))

設備ID
UT-952
設置機関
東京大学
設備画像
HF,VHF,UHF測定装置群(カテゴリ1200)
メーカー名
1.東洋メディック、2.独ローデシュワルツ、3.NF回路設計ブロック、4.NF回路設計ブロック、5.三菱電機エンジニアリング、6.テクトロニクス、7.ローデ・シュワルツ、8.エレクトロニクス&イノベーション、9.エレクトロニクス&イノベーション (1.Toyo Medic、2.Rohde & Schwarz、3.NF Corporation、4.NF Corporation、5.Mitsubish Electric Engineering、6.Tektronics、7..Rohde & Schwarz、8.Electronic & Innovation、9.Electronic & Innovation)
型番
1.等方性電磁界測定装置EHP-200A(東洋メディック)、2.ベクトルネットワークアナライザVNA R&S ZVL6(独ローデシュワルツ)、3.周波数応答分析装置FRA5097(NF回路設計ブロック)、4.高速バイポーラ電源 HSA4101(NF回路設計ブロック)、5.無線供給用電源KM-1 T1050(三菱電機エンジニアリング)、6.スペアナRSA5106B(テクトロニクス)、7.パワーメーターNRP-Z91(ローデ・シュワルツ)、8.リニアアンプA075 75W(エレクトロニクス&イノベーション)、9.リニアアンプ1041L 400W(エレクトロニクス&イノベーション)
仕様・特徴
1.等方性電磁界測定器EHP-200A、9kHzから30MHzの周波数帯域における電界(0.02~1000V/m)または磁界(6mA/m~300A/m)を高精度に測定する等方性電磁界測定器です。
2.ベクトルネットワークアナライザVNA R&S ZVL6、9KHzから6GHzの周波数帯域におけるSパラメータを高速・高精度に解析できる装置です。
3.周波数応答分析装置FRA5097、ディジタルフーリエ積分方式の優れたノイズ除去特性を生かし、0.1 mHzから15MHzの周波数帯域において、被測定対象の周波数応答(振幅・位相)を高精度に測定する装置です。
4.高速バイポーラ電源HSA4101、直流から最高10MHzまでの信号を扱うことができる高速・広帯域・高電圧出力のバイポーラ方式電力増幅器です。
5.無線供給用電源KM-1 T1050、無線電力伝送装置の開発に使用できる6.78MHz,50W 出力電源
6.スペアナRSA5106B、最高40GHzの周波数帯域に対応し、VLFバンドからKuバンドまでの9kHz~18.0GHzの信号をすばやく捕捉できます。
7.パワーメーターNRP-Z91、アベレージ・パワー・センサ:9kHz~6GHzの周波数範囲
8.リニアアンプA075、クラスA 75W出力、周波数300KHz~35MHz
9.リニアアンプ1040L、400W出力、周波数10KHz~5MHz

シールドルーム (Shield Room)

設備ID
UT-951
設置機関
東京大学
設備画像
シールドルーム
メーカー名
東京計器 (Tokyo Keiki)
型番
SR602M
仕様・特徴
1.電磁波の影響を受けず測定ができる環境を提供します。
2.メッシュ式シールドルーム
3.内寸:W2.7mxD3.6mxH2.1m
4.シールド性能:500KHz(または150kHz)~2GHzにおいて60dB以上減衰(電界/平面波)

半導体パラメータアナライザ (Semiconductor parameter analyzer)

設備ID
TU-327
設置機関
東北大学
設備画像
半導体パラメータアナライザ
メーカー名
Keysight (Keysight)
型番
B1500A SMU B1511B x4 GNDU
仕様・特徴
各種半導体集積回路特性評価

室温プローバー [MX-200/B] (Room Temp. Prober [MX-200/B])

設備ID
NM-630
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
設備画像
室温プローバー [MX-200/B]
メーカー名
ベクターセミコン,アジレント・テクノロジー (Vector Semiconductor,Agilent Technologies)
型番
MX-200/B,B1500A
仕様・特徴
・用途:I-V/C-V特性評価
・プローブ:同軸プローブ
・マニピュレータ:4基
・I-V測定端子:4ユニット
・C-V測定端子:1ユニット
・最大試料サイズ:φ4inch
・その他:試料ステージ電圧印加可,除振台/シールドボックス装備

液体窒素プローバー [SB-LN2] (Liquid N2 Prober [SB-LN2])

設備ID
NM-631
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
設備画像
液体窒素プローバー [SB-LN2]
メーカー名
サーマルブロック,ケースレーインスツルメンツ (Thermal Block,Kiethley Instruments)
型番
SB-LN2PS,4200-SCS
仕様・特徴
・用途:77K台から500KまでのI-V特性評価
・試料冷却方式:液体窒素
・プローブ:SMAプローブ
・マニピュレータ:4基
・I-V測定端:4ユニット
・最大試料サイズ:20mm角
・その他:77Kから500Kまで任意に温度設定可

超音波顕微鏡 (Ultrasonic microscope)

設備ID
TU-312
設置機関
東北大学
設備画像
超音波顕微鏡
メーカー名
インサイト (Insight)
型番
IS-350
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片~300mm角
反射測定、透過測定の両方可
超音波周波数:10MHz、15MHz、25MHz、35MHz、50MHz、110MHz、200MHz

4探針測定装置 (4-terminal prober)

設備ID
TU-320
設置機関
東北大学
設備画像
4探針測定装置
メーカー名
- (-)
型番
-
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片~6インチ

拡がり抵抗測定装置 (Spreading resistance measurement)

設備ID
TU-321
設置機関
東北大学
設備画像
拡がり抵抗測定装置
メーカー名
Solid State Measurement (Solid State Measurement)
型番
SSM150
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片
ウェハを小片にして端面を斜め研磨した後に測定
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