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電波暗箱 (Radio waves shield box)
- 設備ID
- UT-953
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像
- メーカー名
- マイクロニクス (micronix)
- 型番
- MY5310B
- 仕様・特徴
- ・フェライト系電波吸収体を使用。
・超小型・広帯域アンテナ（30MHz～1GHz）を用意。
EMI試験に最適
・内寸：1230(W)x915(H)x915(D)
・ドア開口部寸法：約410(W)×710(H)mm
・同軸コネクタ：N(J)×1（正面左下・アンテナ用）、N(J)×1（右側面下）
・インターフェース：D-sub25ピン×1（メス）、LAN×1
AC×1（250Vmax/10A）、※電動ターンテーブル装着時はAC100V
・シールド性能：70dB typ@2.2GHz
・吸収性能：20dB以上＠35MHz～2.2GHz
注意：キャリブレーションキット（ZV-Z132、R&S）が武田309号室川原研究室にあります。使用したい場合はお声掛けください。
HF,VHF,UHF測定装置群（カテゴリ1200） (HF, VHF, UHFMeasuring Devices（Category 1200）)
- 設備ID
- UT-952
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像
- メーカー名
- 1.東洋メディック、2.独ローデシュワルツ、3.NF回路設計ブロック、4.NF回路設計ブロック、5.三菱電機エンジニアリング、6.テクトロニクス、7.ローデ・シュワルツ、8.エレクトロニクス&イノベーション、9.エレクトロニクス&イノベーション (1.Toyo Medic、2.Rohde & Schwarz、3.NF Corporation、4.NF Corporation、5.Mitsubish Electric Engineering、6.Tektronics、7..Rohde & Schwarz、8.Electronic & Innovation、9.Electronic & Innovation)
- 型番
- 1.等方性電磁界測定装置EHP-200A（東洋メディック）、2.ベクトルネットワークアナライザVNA R&S ZVL6（独ローデシュワルツ）、3.周波数応答分析装置FRA5097（NF回路設計ブロック）、4.高速バイポーラ電源 HSA4101（NF回路設計ブロック）、5.無線供給用電源KM-1 T1050（三菱電機エンジニアリング）、6.スペアナRSA5106B（テクトロニクス）、7.パワーメーターNRP-Z91（ローデ・シュワルツ）、8.リニアアンプA075 ７５W（エレクトロニクス&イノベーション）、9.リニアアンプ1041L 400W（エレクトロニクス&イノベーション）
- 仕様・特徴
- 1.等方性電磁界測定器EHP-200A、9kHzから30MHzの周波数帯域における電界（0.02～1000V/m）または磁界（6mA/m～300A/m）を高精度に測定する等方性電磁界測定器です。
2.ベクトルネットワークアナライザVNA R&S ZVL6、9KHzから6GHzの周波数帯域におけるSパラメータを高速・高精度に解析できる装置です。
3.周波数応答分析装置FRA5097、ディジタルフーリエ積分方式の優れたノイズ除去特性を生かし、0.1 mHzから15MHzの周波数帯域において、被測定対象の周波数応答（振幅・位相）を高精度に測定する装置です。
4.高速バイポーラ電源HSA4101、直流から最高10MHzまでの信号を扱うことができる高速・広帯域・高電圧出力のバイポーラ方式電力増幅器です。
5.無線供給用電源KM-1 T1050、無線電力伝送装置の開発に使用できる6.78MHz，50W 出力電源
6.スペアナRSA5106B、最高40GHzの周波数帯域に対応し、VLFバンドからKuバンドまでの9kHz～18.0GHzの信号をすばやく捕捉できます。
7.パワーメーターNRP-Z91、アベレージ・パワー・センサ：9kHz～6GHzの周波数範囲
8.リニアアンプA075、クラスA 75W出力、周波数300KHz～35MHz
9.リニアアンプ1040L、400W出力、周波数10KHz～5MHz
シールドルーム (Shield Room)
- 設備ID
- UT-951
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像
- メーカー名
- 東京計器 (Tokyo Keiki)
- 型番
- SR602M
- 仕様・特徴
- 1.電磁波の影響を受けず測定ができる環境を提供します。
2.メッシュ式シールドルーム
3.内寸：W2.7mｘD3.6mｘH2.1m
4.シールド性能：500KHz（または150kHz）～2GHzにおいて60dB以上減衰（電界/平面波）
半導体パラメータアナライザ (Semiconductor parameter analyzer)
- 設備ID
- TU-327
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- Keysight (Keysight)
- 型番
- B1500A SMU B1511B x4 GNDU
- 仕様・特徴
- 各種半導体集積回路特性評価
室温プローバー [MX-200/B] (Room Temp. Prober [MX-200/B])
- 設備ID
- NM-630
- 設置機関
- 物質・材料研究機構 (NIMS)
- 設備画像
![室温プローバー [MX-200/B]](data/facility_item/NM-630.jpg)
- メーカー名
- ベクターセミコン,アジレント・テクノロジー (Vector Semiconductor,Agilent Technologies)
- 型番
- MX-200/B，B1500A
- 仕様・特徴
- ・用途：I-V/C-V特性評価
・プローブ：同軸プローブ
・マニピュレータ：4基
・I-V測定端子：4ユニット
・C-V測定端子：1ユニット
・最大試料サイズ：φ4inch
・その他：試料ステージ電圧印加可，除振台／シールドボックス装備
液体窒素プローバー [SB-LN2] (Liquid N2 Prober [SB-LN2])
- 設備ID
- NM-631
- 設置機関
- 物質・材料研究機構 (NIMS)
- 設備画像
![液体窒素プローバー [SB-LN2]](data/facility_item/NM-631.jpg)
- メーカー名
- サーマルブロック,ケースレーインスツルメンツ (Thermal Block,Kiethley Instruments)
- 型番
- SB-LN2PS，4200-SCS
- 仕様・特徴
- ・用途：77K台から500KまでのI-V特性評価
・試料冷却方式：液体窒素
・プローブ：SMAプローブ
・マニピュレータ：4基
・I-V測定端：4ユニット
・最大試料サイズ：20mm角
・その他：77Kから500Kまで任意に温度設定可
超音波顕微鏡 (Ultrasonic microscope)
- 設備ID
- TU-312
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- インサイト (Insight)
- 型番
- IS-350
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～300mm角
反射測定、透過測定の両方可
超音波周波数：10MHz、15MHz、25MHz、35MHz、50MHz、110MHz、200MHz
拡がり抵抗測定装置 (Spreading resistance measurement)
- 設備ID
- TU-321
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- Solid State Measurement (Solid State Measurement)
- 型番
- SSM150
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片
ウェハを小片にして端面を斜め研磨した後に測定
環境制御マニュアルプローバステーション (Environmental control manual prober station)
- 設備ID
- UT-305
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像
- メーカー名
- （東陽テクニカ等） (Toyo Corporation)
- 型番
- ①半導体特性評価システム4200-SCS ②強誘電体特性評価システムFCE1EEA-200型 ③誘電体インピーダンス測定システム1260 ④極低温プローバー装置CPX-VF
- 仕様・特徴
- □ 主な仕様
・低温プローバ(CRX-4K):6K～350K
・高温プローバ(HCP-401/400)：室温～400度
・半導体パラメータ測定(4200-SCS型)
・誘電体測定(FCE1EEA-200型)
・インピーダンス測定(ソーラートロン1260)
□主な用途
・ 強誘電体分極評価測定
・インピーダンス周波数測定
・キャパシタ周波数測定など