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分光エリプソメーター [UNECS-2000A] (Spectroscopic Ellipsometer [UNECS-2000A])

設備ID
NM-663
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
設備画像
分光エリプソメーター [UNECS-2000A]
メーカー名
アルバック (ULVAC)
型番
UNECS-2000A
仕様・特徴
1. 光源:ハロゲンランプ
2. 波長範囲:530~750 nm
3. スポット径:1mm
4. 入射角:70°固定
5. 試料サイズ:最大φ200mm

段差計 (Surface profiler)

設備ID
NU-261
設置機関
名古屋大学
設備画像
段差計
メーカー名
小坂研究所 (Kosaka Laboratory)
型番
ET200A
仕様・特徴
・最大サンプルサイズ:φ160×厚さ52mm
・再現性 :1σ 0.3nm以内
・測定範囲 :Z:600µm,X:100mm
・分解能 :Z:0.1nm,X:0.1µm
・測定力:10µN~500µN

ゼータ電位計 (Zeta potential analyzer)

設備ID
NM-013
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
設備画像
ゼータ電位計
メーカー名
大塚電子 (Otsuka Electronics)
型番
ELSZ-1000Z
仕様・特徴
・ゼータ電位測定範囲:-200~200mV
・光学系:レーザードップラー法
・光源:高出力・高安定化半導体レーザー
・セル:標準セル、微量ディスポセルもしくは平板用セル
・検出器:高感度APD
・温度:10 ~ 90℃

動的光散乱光度計 (Dynamic light scattering (DLS) spectrophotometer)

設備ID
NM-014
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
設備画像
動的光散乱光度計
メーカー名
大塚電子 (Otsuka Electronics)
型番
DLS-8000HAL
仕様・特徴
・粒径測定範囲:1.4nm~7µm
・重量平均分子量の測定範囲 :300~2×107 Mw
・光源:He-Neレーザー(632.8nm)、固体ブルーレーザー(488nm)
・検出器:光電子増倍管(フォトンカウンティング方式)
・セル:21φ円筒セル、12φ円筒セル、5φ微量セル
・セル室温度:5~90℃
・角度範囲:5 ~ 160°

粒度分布測定装置 (Particle size analyzer)

設備ID
NM-015
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
設備画像
粒度分布測定装置
メーカー名
島津製作所 (Shimadzu)
型番
SALD-2100
仕様・特徴
・測定範囲:0.03µm~1000µm
・光源:680nm 半導体レーザー
・測定方式:湿式測定のみ(乾式測定不可)

接触角計 (Contact angle meter)

設備ID
NM-016
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
設備画像
接触角計
メーカー名
AST Products (AST Products)
型番
VCA Optima-XE
仕様・特徴
・材料表面に液体を滴下して接触角を測定します。
・測定範囲:0~180°
・再現性:1°
・正確性::0.5°

顕微分光膜厚計 [F54-XY-200-UV] (Optical Film Mapper [F54-XY-200-UV])

設備ID
NM-624
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
設備画像
顕微分光膜厚計 [F54-XY-200-UV]
メーカー名
フィルメトリクス株式会社 (FILMETRICS)
型番
F54-XY-200-UV
仕様・特徴
・用途:反射分光膜厚測定
・光源:重水素ハロゲンランプ
・波長:190-1100nm
・スポット径:10 μm以下
・測定膜厚範囲:5nm以下~30μm
・最大試料サイズ:φ8inch
・その他:自動マッピング、顕微式

エリプソメーター [MARY-102FM] (Ellipsometer [MARY-102FM])

設備ID
NM-625
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
設備画像
エリプソメーター [MARY-102FM]
メーカー名
ファイブラボ (five Lab)
型番
MARY-102FM
仕様・特徴
・用途:絶縁膜形成評価
・光源:632nm He-Neレーザー
・ビーム径:0.8mm
・入射角:50°,60°,70°
・最大試料サイズ:φ6inch

触針式プロファイラー [Dektak XT-A] (Surface Profilometer [Dektak XT-A])

設備ID
NM-626
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
設備画像
触針式プロファイラー [Dektak XT-A]
メーカー名
ブルカージャパン (Bruker)
型番
Dektak XT-A
仕様・特徴
・用途:段差測定
・分解能:1Å(6.5umレンジ)
・走査距離:55mm
・触圧範囲:0.03-15mg
・最大試料サイズ:φ8inch
・ その他:自動ステージ、3Dマッピング、粗さ測定、ストレス測定

ウェハゴミ検査装置 (Wafer dust counter)

設備ID
TU-301
設置機関
東北大学
設備画像
ウェハゴミ検査装置
メーカー名
トプコン (Topcon)
型番
WM-3
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片~6インチ
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