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走査プローブ顕微鏡SPM_1[NanoscopeⅣ/Dimension3100] (Scanning Probe Microscope 1 (SPM1, NanoscopeIV/Dimension 3100))
- 設備ID
- AT-046
- 設置機関
- 産業技術総合研究所（AIST)
- 設備画像
![走査プローブ顕微鏡SPM_1[NanoscopeⅣ/Dimension3100]](data/facility_item/AT-046.jpg)
- メーカー名
- デジタルインスツルメンツ (Veeco/Digital Instruments )
- 型番
- NanoscopeⅣ/Dimension3100
- 仕様・特徴
- ・型式:NanoscopeⅣ/Dimension3100（Veeco社製）
・試料サイズ:150 mm以内（面範囲）、12 mm（高さ範囲）
・試料固定:真空チャック
・測定範囲:90 μm×90 μm（面範囲）、6 μm以内（高さ範囲）
・測定精度:最大2%（最大レンジ幅）
- 設備状況
- 稼働中
走査プローブ顕微鏡SPM_2[SPM-9600/9700] (Scanning Probe Microscope 2〔SPM２, SPM-9600/9700〕)
- 設備ID
- AT-047
- 設置機関
- 産業技術総合研究所（AIST)
- 設備画像
![走査プローブ顕微鏡SPM_2[SPM-9600/9700]](data/facility_item/AT-047.jpg)
- メーカー名
- 島津製作所 (SHIMADZU)
- 型番
- SPM-9700
- 仕様・特徴
- ・型式:SPM-9700
・試料サイズ:24mmφ×8mm
・試料固定:マグネットによる固定
・スキャナ走査範囲:125μm×125μm×7μm
・分解能: 0.2nm（水平）、0.01nm（垂直）
・測定モード:ダイナミック、コンタクト、位相、電流、表面電位（KFM）
- 設備状況
- 稼働中
ナノサーチ顕微鏡SPM_3[SFT-3500] (Scanning Probe Microscope 3〔SPM3, SFT-3500, Nano Search Microscope〕)
- 設備ID
- AT-048
- 設置機関
- 産業技術総合研究所（AIST)
- 設備画像
![ナノサーチ顕微鏡SPM_3[SFT-3500]](data/facility_item/1651474557_14.jpg)
- メーカー名
- 島津製作所 (SHIMADZU)
- 型番
- SFT_3500
- 仕様・特徴
- ・型式:SFT_3500
・試料サイズ:6インチφ、最大高さ:54.5mm
・ステージストローク:100×100mm
LSM部
・観察視野:2,560μm～21μm
・対物レンズ:5×, 20×, 100× （光学ズーム 1×～6×）
SPM部
・最大走査範囲:30μm（X,Y）、4μm（Z）
・垂直分解能：0.1nm程度
・検出方式:光てこ方式
・測定モード:ダイナミックモード（タッピングモード）、コンタクトモード、位相モード、表面電位モード[KFM]、電流モード
- 設備状況
- 稼働中
リアル表面プローブ顕微鏡(RSPM) (Real Surface Probe Microscope (RSPM) )
- 設備ID
- AT-504
- 設置機関
- 産業技術総合研究所（AIST)
- 設備画像
- メーカー名
- (1) RSPM1: 日本電子、(2) RSPM2: SII（現・日立ハイテクサイエンス） ((1) RSPM1: JEOL, (2) RSPM2: SII (Hitachi Hitech Scinece))
- 型番
- (1) RSPM1:日本電子(JEOL)社製JSPM5400、(2) RSPM2:SIIナノテクノロジー（現・日立ハイテクサイエンス）社E-SWEEP/S-Image
- 仕様・特徴
- (1) RSPM1
分光（赤外）原子間力顕微鏡、走査型トンネル顕微鏡
・型式: NEA SNOM
・設置室名: 2-1D棟125室
・測定機能: AM-AFM、コンタクトモード、高分解能赤外分光
・測定環境: 大気中
・試料サイズ:（10mm角）や厚さの制限有
・空間分解能<100nmのナノ赤外分光（Nano-FTIR）
(2) RSPM2
E-SWEEP/NEX(高速原子間力顕微鏡)
・測定機能: AM-AFM、コンタクトモード、STM、KFM、Conductive-AFM
・制御装置: 1台のNanonaviをS-ImageおよびE-SWEEPで切り替えて利用
・測定環境: 大気中、恒湿度雰囲気(20～70%)、液中、真空中(10E-5[Torr])
・温度範囲(E-SWEEP): -100 ℃ ～ 300 ℃(ヒータのみ、制御なし)
・試料サイズ: 最大15 mm角程度
・液中リアルタイム測定可能（毎秒10フレーム）
前処理装置等
・標準試料: 探針評価、スケール、段差等
・付帯設備
研磨機、プラズマクリーナ、白色干渉計、反射分光膜厚計、化学ドラフト、フーリエ赤外分光計（ATRのみ）、レーザードップラー干渉計（カンチレバーのばね定数校正）
- 設備状況
- 稼働中
走査型プローブ顕微鏡 (Scanning Probe Microscope)
- 設備ID
- BA-006
- 設置機関
- 筑波大学
- 設備画像
- メーカー名
- Bruker (Bruker)
- 型番
- Dimension Icon
- 仕様・特徴
- 形状測定モード:
タッピングモード, コンタクトモード
物性測定モード：
電気・磁気特性（EFM/SSRM/KPFM/MFM他）
機械特性（粘弾性/水平力）
試料サイズ：直径 <Φ150mm, 厚さ <10mm
最大スキャン範囲：XY 90μmx90μm, Z 10μm
Z方向ノイズ：0.03nm RMS
測定環境：大気中, 液中（要相談）
- 設備状況
- 稼働中
走査型プローブ顕微鏡 （SPM) (Scanning probe microscope (SPM))
- 設備ID
- CT-009
- 設置機関
- 公立千歳科学技術大学
- 設備画像
- メーカー名
- ブルカー (Bruker)
- 型番
- MultiMode 8J
- 仕様・特徴
- ・大気中、液中イメージングが可能
・ナノ機械特性（弾性率、吸着力）、ナノ電気特性（表面電位、導電性）の測定が可能
- 設備状況
- 稼働中
大気中原子間力顕微鏡 (AFM)
- 設備ID
- JI-012
- 設置機関
- 北陸先端科学技術大学院大学（JAIST）
- 設備画像
- メーカー名
- 日立ハイテクサイエンス (Hitachi High-Tech Science)
- 型番
- AFM5000II SPA-400
- 仕様・特徴
- 測定方式：光てこ方式
試料サイズ：最大直径35mmφ 最大厚み10mm
走査範囲：20μm
- 設備状況
- 稼働中
高速液中原子間力顕微鏡 (Liquid-Enviroment High Speed AFM)
- 設備ID
- KT-303
- 設置機関
- 京都大学
- 設備画像
- メーカー名
- (株)生体分子計測研究所 (Research Institute of Biomolecule Metrology Co., Ltd.)
- 型番
- NanoLiveVision NLV-KS
- 仕様・特徴
- 10fpsの動画観察可能な原子間力顕微鏡
・推奨凹凸高さ 30 nm以下
・試料形状例 Φ1.5mm雲母板表面に吸着
・測定環境 液中観察
- 設備状況
- 稼働中
走査型プローブ顕微鏡システム (Bioscience Atomic Force Microscope)
- 設備ID
- KT-304
- 設置機関
- 京都大学
- 設備画像
- メーカー名
- JPKインスツルメンツ社 (JPK Instruments AG)
- 型番
- NanoWizard III
- 仕様・特徴
- 大気中または液体中でのAFM計測
AFM測定と光学測定を同時実行可能
・NW3-XS-0ほか
- 設備状況
- 稼働中
走査型プローブ顕微鏡装置群 (Scanning Probe Microscope)
- 設備ID
- KU-510
- 設置機関
- 九州大学
- 設備画像
- メーカー名
- 島津製作所、エスアイアイ・ナノテクノロジー (Shimazu, Seiko Instruments)
- 型番
- SPM9600, SPI3800N
- 仕様・特徴
- 【SPM9600】
・分解能 水平0.2nm 垂直0.01nm
・測定モード ：コンタクト、ダイナミック、位相
【環境制御型多機能走査プローブ顕微鏡：SPI3800N】
・環境：大気中、液中、真空中、ガス雰囲気
・温度制御: 自動加熱・冷却(-120～250℃)
・位相、摩擦、粘弾性、電流、etc.
- 設備状況
- 稼働中