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共焦点レーザー走査型顕微鏡 (Confocal Laser Scanning Microscopy: CLSM)

設備ID
WS-031
設置機関
早稲田大学
設備画像
共焦点レーザー走査型顕微鏡
メーカー名
株式会社 エビデント (EVIDENT)
型番
FLUOVIEW FV3000RS
仕様・特徴
・対物レンズ:10倍、20倍、40倍、60倍
・励起光源:405nm, 445nm, 488nm, 514nm, 561nm, 640nm
・高精細イメージング:最大4096x4096ピクセル
・高速イメージング:30fps(512x512ピクセル)
・Zドリフトコンペンセーター(IX3-ZDC)によるフォーカスの自動補正機能
・電動ステージ付き

2光子励起顕微鏡  (Two-photon excitation microscope)

設備ID
TU-328
設置機関
東北大学
設備画像
2光子励起顕微鏡
メーカー名
Leica (Leica)
型番
TCS SP8 MP STED
仕様・特徴
超解像オプション付、共焦点観察可

Zygo Nexview (Zygo Nexview)

設備ID
TU-326
設置機関
東北大学
設備画像
Zygo Nexview
メーカー名
Zygo (Zygo)
型番
Nexview
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片~6インチ

ラマン顕微鏡 (Raman microscope)

設備ID
NM-003
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
設備画像
ラマン顕微鏡
メーカー名
レニショー (Renishaw)
型番
inVia Reflex
仕様・特徴
・ラインレーザー照射による高速ラマンイメージング。
・繋ぎ目のない連続した広い波数範囲のスペクトル測定。
・共焦点機構による高い空間分解能。
・レーザー波長:532nm及び785nm
・波数分解能:0.3cm-1
・空間分解能:水平0.25µm、垂直1µm
・対物レンズ:5倍、20倍、50倍、63倍(水浸)、100倍
・温度制御:-196~600℃

共焦点レーザー走査型蛍光顕微鏡 (Confocal laser scanning fluorescence microscope)

設備ID
NM-004
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
設備画像
共焦点レーザー走査型蛍光顕微鏡
メーカー名
ライカマイクロシステムズ (Leica Microsystems)
型番
SP5
仕様・特徴
・対物レンズ:10倍、20倍、40倍、63倍
・高速モード撮影時:秒/250コマ撮影
・高解像モード撮影時:8000×8000撮影が可能
・励起光源:405nm、458nm、476nm、488nm、514nm, 543nm、633nm

レーザー顕微鏡 [LEXT OLS4000] (Laser Microscope [LEXT OLS4000])

設備ID
NM-623
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
設備画像
レーザー顕微鏡 [LEXT OLS4000]
メーカー名
オリンパス (OLYMPUS)
型番
LEXT OLS4000
仕様・特徴
・用途:非接触3次元形状観察
・計測・光源:405nm半導体レーザー
・分解能:XY:0.12μm/Z:0.01μm
・繰り返し性:XY:3σ=0.02μm,/Z:1σ=0.012μm(対物レンズ100倍時)
・観察モード:レーザー観察,白色光明視野,微分干渉観察
・試料サイズ:100mm角以下

ウェハゴミ検査装置 (Wafer dust counter)

設備ID
TU-301
設置機関
東北大学
設備画像
ウェハゴミ検査装置
メーカー名
トプコン (Topcon)
型番
WM-3
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片~6インチ
カセットtoカセット

金属顕微鏡 (Microscope)

設備ID
TU-307
設置機関
東北大学
設備画像
金属顕微鏡
メーカー名
ニコン (Nikon)
型番
L150、L200
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片~8インチ
画像ファイル取得可

デジタル顕微鏡 (Digital microscope)

設備ID
TU-308
設置機関
東北大学
設備画像
デジタル顕微鏡
メーカー名
キーエンス/クノーテクノクラフト (Keyence/Kunoh)
型番
-
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片~8インチ
レンズ:20~200倍、500~5000倍
画像ファイル取得可
自動ステージ(PC制御)付

赤外線顕微鏡 (Infrared microscope)

設備ID
TU-309
設置機関
東北大学
設備画像
赤外線顕微鏡
メーカー名
オリンパス/浜松ホトニクス (Olympus/Hamamatsu)
型番
-
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片~6インチ
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