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飛行時間型二次イオン質量分析装置 (Time-of-flight Secondary Ion Mass Spectrometry (TOF-SIMS))

設備ID
NM-205
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
設備画像
飛行時間型二次イオン質量分析装置
メーカー名
アルバック・ファイ(株) (ULVAC-PHI)
型番
PHI TRIFT V nanoTOF
仕様・特徴
・全二次イオンの同時測定が可能
・二次イオン・イメージング法:投影モード、操作モード
・Biクラスター・イオン・ビーム搭載

超微量元素計測システム(SIMS) (SIMS)

設備ID
UT-306
設置機関
東京大学
設備画像
超微量元素計測システム(SIMS)
メーカー名
カメカ (Cameca)
型番
NanoSIMS 50L
仕様・特徴
□主な用途
微小領域の分析、高空間分解能でのイメージング分析に優れた二次イオン質量分析装置。
□主な用途
・ 一次イオン源:セシウムおよび酸素
・最小ビーム径:50nm (セシウム)
・質量分析計:高性能二重収束型質量分析計
・高感度、高質量分解能での元素・同位体測定が可能。
・最大7種類の二次イオン像の同時検出ができる

表面・界面分子振動解析装置 (Surface・interface molucular vibration analysis system)

設備ID
KU-503
設置機関
九州大学
設備画像
表面・界面分子振動解析装置
メーカー名
東京インスツルメンツ (Tokyo Instruments )
型番
Spectra-Physics
仕様・特徴
・検出器:STREAK SCOPE C4334(浜松ホトニクス)/検出器:光電子増倍管(浜松ホトニクス)ピコ秒YAGレーザー(EKSPLA社) 励起パルス幅:1.5 ps、励起波長:400 nm付近、偏光オプション付き,測定範囲:1500~4000 cm-1

飛行時間型二次イオン質量分析装置 (Time-of-Flight Secondary Ion Mass Spectrometer)

設備ID
NI-011
設置機関
名古屋工業大学
設備画像
飛行時間型二次イオン質量分析装置
メーカー名
アルバック・ファイ (ULVAC-PHI)
型番
PHI TRIFTV nano TOF
仕様・特徴
質量分解能:9000M/Δm以上
スペクトル測定およびマッピング、深さ分析
サンプルの大気非暴露測定可
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