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共用設備検索結果

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水蒸気プラズマ洗浄装置 [AQ-500] (H2O Plasma Cleaner [AQ-500])

設備ID
NM-605
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
設備画像
水蒸気プラズマ洗浄装置 [AQ-500]
メーカー名
サムコ (Samco)
型番
AQ-500
仕様・特徴
・用途:洗浄・還元・灰化・接合・親水化
・高周波出力:50-250W
・反応ガス:H2O,O2
・最大試料サイズ:φ8 inch
・その他:自動運転プログラム

UVオゾンクリーナー [UV-1] (UV Ozone Cleaner [UV-1])

設備ID
NM-606
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
設備画像
UVオゾンクリーナー [UV-1]
メーカー名
サムコ (samco)
型番
UV-1
仕様・特徴
・用途:基板クリーニング,表面改質
・光源:紫外線ランプ (184.9nmおよび253.7nm)
・オゾンジェネレータ:無声放電方式高濃度オゾナイザー
・ステージ温度:室温~300度
・最大試料サイズ:φ8 inch

リフトオフ装置 [KLO-150CBU] (Auto Lift-Off [KLO-150CBU])

設備ID
NM-613
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
設備画像
リフトオフ装置 [KLO-150CBU]
メーカー名
カナメックス (KANAMEX)
型番
KLO-150CBU
仕様・特徴
・用途:リフトオフ、レジスト剥離
・レジスト膨潤:80℃ NMP溶液
・レジスト剥離:高圧ジェットNMP溶液
・リンス:IPA, 純水
・乾燥:スピン乾燥、N2ブロー
・最大試料サイズ:φ6inch

エッチングチャンバー (Draft chamber)

設備ID
TU-001
設置機関
東北大学
設備画像
エッチングチャンバー
メーカー名
アズワン (As one)
型番
PSH1200
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片~8インチ

有機ドラフトチャンバー (Draft Chamber for organic)

設備ID
TU-002
設置機関
東北大学
設備画像
有機ドラフトチャンバー
メーカー名
 ()
型番
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片~8インチ

スピン乾燥機 (Spin dryer)

設備ID
TU-004
設置機関
東北大学
設備画像
スピン乾燥機
メーカー名
東邦化成 (Toho Kasei)
型番
ZAA-4
仕様・特徴
サンプルサイズ:20mm角~6インチ

4スピン乾燥機 (4 Spin dryer)

設備ID
TU-005
設置機関
東北大学
設備画像
4スピン乾燥機
メーカー名
SEMITOOL (SEMITOOL)
型番
PSC101
仕様・特徴
カセット式で1度に25枚まで処理可能

6スピン乾燥機 (6 Spin dryer)

設備ID
TU-006
設置機関
東北大学
設備画像
6スピン乾燥機
メーカー名
SEMITOOL (SEMITOOL)
型番
PSC101
仕様・特徴
カセット式で1度に25枚まで処理可能

ブラシスクラバ (Brush scrubber)

設備ID
TU-009
設置機関
東北大学
設備画像
ブラシスクラバ
メーカー名
全協化成 (Zenkyo)
型番
特注
仕様・特徴
サンプルサイズ:20mm角~6インチ

スプレー現像装置 (Spray developer)

設備ID
TU-059
設置機関
東北大学
設備画像
スプレー現像装置
メーカー名
アクテス (Actes)
型番
ADE-3000S
仕様・特徴
サンプルサイズ:3~6インチ
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