共用設備検索結果
多目的ドライエッチング装置 (CCP-RIE)
- メーカー名
- サムコ (samco)
- 型番
- RIE-200NL
- 設備画像

- 設置機関
- 物質・材料研究機構 (NIMS)
- 仕様・特徴
- ・用途:多種材料のドライエッチング
・プラズマ励起方式:平行平板型
・電源出力:最大300W
・プロセスガス:CHF3,CF4,SF6,Ar,O2,N2
・試料ステージ温度:室温
・最大試料サイズ:φ8inch
化合物ドライエッチング装置 (ICP-RIE)
- メーカー名
- サムコ (samco)
- 型番
- RIE-101iPH
- 設備画像

- 設置機関
- 物質・材料研究機構 (NIMS)
- 仕様・特徴
- ・用途:化合物半導体のドライエッチング
・金属薄膜のドライエッチング
・プラズマ励起方式:誘導結合型
・電源出力:ICP出力:最大1kW/バイアス出力:最大300W
・プロセスガス:Cl2,BCl3,Ar,O2,N2
・試料ステージ温度:200度以下
・最大試料サイズ:φ4inch
シリコン深掘りエッチング装置 (Si Deep RIE)
- メーカー名
- 住友精密工業 (Sumitomo Precision Products)
- 型番
- MUC-21 ASE-SRE
- 設備画像

- 設置機関
- 物質・材料研究機構 (NIMS)
- 仕様・特徴
- ・用途:MEMS等,シリコン深掘エッチング
・プラズマ励起方式:誘導結合型
・電源出力:ICP出力:最大1kW/バイアス出力:最大100W
・プロセスガス:SF6,C4F8,Ar,O2
・試料ステージ温度:室温
・最大試料サイズ:φ6inch
酸化膜ドライエッチング装置 (Oxide Etcher)
- メーカー名
- 住友精密工業 (Sumitomo Precision Products)
- 型番
- MUC-21 RV-APS-SE
- 設備画像

- 設置機関
- 物質・材料研究機構 (NIMS)
- 仕様・特徴
- ・用途:SiC,SiN,SiO2等の高速エッチング
・プラズマ励起方式:誘導結合型
・電源出力:ICP出力:最大3kW/バイアス出力:最大1kW
・プロセスガス:CHF3,CF4,C4F8,SF6,Ar,O2,He
・試料ステージ温度:-10~+40度
・最大試料サイズ:φ6inch
・その他:SiO2エッチングレート:0.5um/min以上,終点検出機能装備
ICP原子層エッチング装置 (Atomic Layer Etching System)
- メーカー名
- オックスフォード・インストゥルメンツ (Oxford Instruments)
- 型番
- PlasmaPro 100 Cobra 300 ALE
- 設備画像

- 設置機関
- 物質・材料研究機構 (NIMS)
- 仕様・特徴
- ・用途:GaN、GaAs、化合物半導体のドライエッチング
・プラズマ励起方式:誘導結合型
・電源出力:ICP出力:最大3kW/バイアス出力:最大300W
・プロセスガス:Cl2,BCl3,SF6,Ar,N2,O2
・試料ステージ温度:-30~+80度
・最大試料サイズ:φ6インチ(オプションで8インチ可)
・その他:ICP エッチング加工, ALE プロセス, 終点検出機能装備
DeepRIE装置#1 (DeepRIE #1)
- メーカー名
- 住友精密工業 (Sumitomo Precision Products)
- 型番
- MUC-21 ASE-SRE
- 設備画像

- 設置機関
- 東北大学
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ:4インチ(小片~4インチ)
基板固定方式:メカニカルチャック
プラズマ方式:ICP
ガス:SF6、C4F8、Ar、O2
メタルマスク(Al、Crなど)不可
DeepRIE装置#2 (DeepRIE #2)
- メーカー名
- 住友精密工業 (Sumitomo Precision Products)
- 型番
- MUC-21 ASE-SRE
- 設備画像

- 設置機関
- 東北大学
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ:6インチ、または、4インチ(小片~6または4インチ)
基板固定方式:メカニカルチャック
プラズマ方式:ICP
ガス:SF6、C4F8、Ar、O2
メタルマスク(Al、Crなど)不可
DeepRIE装置#3 (DeepRIE #3)
- メーカー名
- STS (STS)
- 型番
- Multiplex-ICP SR
- 設備画像

- 設置機関
- 東北大学
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ:6インチ、または、4インチ(小片~6または4インチ)
基板固定方式:メカニカルチャック
プラズマ方式:ICP
ガス:SF6、C4F8、CHF3、Ar、O2
メタルマスク(Al、Crなど)可