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テクスチャーアナライザー (Texture analyzer)

設備ID
NM-017
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
設備画像
テクスチャーアナライザー
メーカー名
英弘精機 (EKO Instruments)
型番
TA-XT2i
仕様・特徴
・ロードセル容量・分解能:50kg±1g、5kg±0.1g
・距離設定:0.1mm~250mm
・距離分解能:0.0025mm
・スピード設定:0.1mm/s~10mm/s
・測定モード:圧縮または引張による荷重測定または距離測定

薄膜応力測定装置 [FLX-2000-A] (Thin-Film Stress Tester [FLX-2000-A])

設備ID
NM-628
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
設備画像
薄膜応力測定装置 [FLX-2000-A]
メーカー名
東朋テクノロジー (Toho Technology)
型番
FLX-2000-A
仕様・特徴
・用途:薄膜応力測定
・測定方式:レーザースキャン方式(670nm&750nm半導体レーザー)
・測定範囲:1~4000MPa
・測定再現性:1.3MPa(1σ)
・試料サイズ:φ3inch, φ6inch, φ8inch
・その他:3Dマッピング機能

直線集束ビーム超音波材料解析システム#1 (Line-focus-beam acoustic microscope #1)

設備ID
TU-324
設置機関
東北大学
設備画像
直線集束ビーム超音波材料解析システム#1
メーカー名
オリジナル (Original)
型番
-
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片~6インチ
東北大学名誉教授 櫛引淳一 先生が開発した装置

直線集束ビーム超音波材料解析システム#2 (Line-focus-beam acoustic microscope #2 )

設備ID
TU-325
設置機関
東北大学
設備画像
直線集束ビーム超音波材料解析システム#2
メーカー名
オリジナル (Original)
型番
-
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片~8インチ
東北大学名誉教授 櫛引淳一先生が開発した装置

形状・膜厚・電気特性評価装置群 (Series of analysis equipments, visual, thickness, and electrical/mechanical characteristic.)

設備ID
UT-850
設置機関
東京大学
設備画像
形状・膜厚・電気特性評価装置群
メーカー名
キーエンス ブルカー 東朋テクノロジー ズースマイクロテック 日本分光 オリンパス (Keyence BRUKER Toho Technology SUSS MicroTec JASCO Olympus)
型番
VHX-6000 DektakXT Tohospec3100 Suss8”プローバ M-550 LEXT OLS5000
仕様・特徴
枝番1:顕微鏡
枝番2:触針段差計
枝番3:光干渉式膜厚測定装置
枝番4:Suss8”プローバ,針を当てて電気的特性を測定する装置。8インチ対応。
枝番5:分光エリプソメータ―
枝番6:レーザー顕微鏡

機械特性評価装置 (MSA-500 Micro System Analyzer)

設備ID
UT-851
設置機関
東京大学
設備画像
機械特性評価装置
メーカー名
ポリテック (Polyltec)
型番
MSA-500
仕様・特徴
Polytec 振動解析装置
MEMS機構の振動解析を行う装置です。XY方向はストロボスコープ(1MHz)、Z方向はレーザードップラー振動計(1.5MHz)またはレーザ変位計(24MHz)にて測定可能です。
測定した結果をアニメーションにして表示できるので解析に最適です。

力学試験機 (Universal Testing Machine)

設備ID
YG-008
設置機関
山形大学
設備画像
力学試験機
メーカー名
東洋精機製作所㈱ (Toyoseiki)
型番
T-D
仕様・特徴
引っ張り、曲げ試験などの力学物性評価を行う。
クロスヘッド速度 0.5~500mm/min、恒温槽:室温〜200℃

触針式段差計 (Stylus Profiler)

設備ID
WS-021
設置機関
早稲田大学
設備画像
触針式段差計
メーカー名
ケーエルエー・テンコール株式会社 (KLA Corporation. )
型番
プロファイラーP-15
仕様・特徴
試料サイズ150mm
3D表面形状測定器
基板サイズ ~6

ナノインデンター (Nanoindenter)

設備ID
SH-011
設置機関
信州大学
設備画像
ナノインデンター
メーカー名
ハイジトロン (Hysitron)
型番
TI-950
仕様・特徴
最大荷重10mN,分解能1nN, 最大変位15nm

特型走査電子顕微鏡装置 (Scanning Electron Microscope)

設備ID
NI-002
設置機関
名古屋工業大学
設備画像
特型走査電子顕微鏡装置
メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
JSM5600+特型試料ステージ
仕様・特徴
WフィラメントSEM。ピエゾ駆動探針装備。電気・機械特性測定、その場抵抗加熱可能。
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