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走査型電子顕微鏡(SEM) (Scanning electron microscope (SEM))

設備ID
CT-010
設置機関
公立千歳科学技術大学
設備画像
走査型電子顕微鏡(SEM)
メーカー名
日立ハイテク (Hitachi High-Tech)
型番
TM4000Plus
仕様・特徴
・加速電圧:5、10、15 kV
・倍率:10~100,000倍
・装備オプション:EDS、UVD、カメラナビゲーションシステム

電界放出形走査電子顕微鏡(FE-SEM) (Field emission scanning electron microscope (FE-SEM))

設備ID
CT-011
設置機関
公立千歳科学技術大学
設備画像
電界放出形走査電子顕微鏡(FE-SEM)
メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
JSM-7800F
仕様・特徴
・加速電圧:0.01~30 kV
・倍率: 25~1,000,000倍
・装備オプション:EDS、STEM、BED、USD、低真空システム

透過型電子顕微鏡(TEM) (Transmission electron microscope (TEM))

設備ID
CT-012
設置機関
公立千歳科学技術大学
設備画像
透過型電子顕微鏡(TEM)
メーカー名
日立ハイテク (Hitachi High-Tech)
型番
H-7600
仕様・特徴
・加速電圧:120 kV
・冷却フォルダー(-120 ℃)

ミクロトーム/クライオミクロトーム (Microtome/Cryo-microtome)

設備ID
CT-013
設置機関
公立千歳科学技術大学
設備画像
ミクロトーム/クライオミクロトーム
メーカー名
ライカ マイクロシステムズ (Leica Microsystems)
型番
ULTRACUT UCT
仕様・特徴
・クライオスタット付きのため凍結状態での薄切可能

断面試料作製装置(クロスセクションポリッシャ) (Specimen preparation equipment (CROSS SECTION POLISHER))

設備ID
CT-014
設置機関
公立千歳科学技術大学
設備画像
断面試料作製装置(クロスセクションポリッシャ)
メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
IB-09010CP
仕様・特徴
・イオン加速電圧:2~6 kV
・イオンビーム径:500 μm
・ミリングスピード:100 μm/h
・最大搭載試料サイズ:11 mm(幅) x 10 mm(長さ) x 2 mm(厚さ)
・使用ガス:アルゴンガス

X線小角散乱装置(SAXS) (Small and wide angle X-ray scattering instrument (SAXS))

設備ID
CT-016
設置機関
公立千歳科学技術大学
設備画像
X線小角散乱装置(SAXS)
メーカー名
リガク (Rigaku)
型番
Nano-Viewer
仕様・特徴
・測定可能範囲:0.2~100 nm

触針式表面形状測定器(Dektak) (Stylus profilometer (Dektak))

設備ID
CT-017
設置機関
公立千歳科学技術大学
設備画像
触針式表面形状測定器(Dektak)
メーカー名
ブルカー (Bruker)
型番
Dektak XT
仕様・特徴
・200 mmφ対応
・測定再現性 1σ=4 Å以下

液晶配向膜ラビング装置 (Rubbing device for liquid crystal alignment films)

設備ID
CT-018
設置機関
公立千歳科学技術大学
設備画像
液晶配向膜ラビング装置
メーカー名
日本文化精工 (Nippon Bunkaseiko)
型番
仕様・特徴
・真空吸着テーブルサイズ(50 x 50 mm)
・ラビングローラー回転速度可変<1,000 rpm
・テーブル移動速度調節可
・真空吸着テーブルθ調整機構付き

リアクティブエッチング装置 (Reactive ion etching system)

設備ID
CT-019
設置機関
公立千歳科学技術大学
設備画像
リアクティブエッチング装置
メーカー名
サムコ (Samco)
型番
RIE-10NR
仕様・特徴
・高い選択比と高精度のエッチングが可能
・全自動運転
・φ8インチウェハーの加工が可能

熱重量測定装置(TGA) (Thermogravimetric analyzer (TGA))

設備ID
CT-020
設置機関
公立千歳科学技術大学
設備画像
熱重量測定装置(TGA)
メーカー名
島津製作所 (SHIMADZU)
型番
TGA-50
仕様・特徴
・温度範囲 常温~1,000 ℃
・測定範囲:±20, ±200 mg
・最大試料量:1 g(風袋含)
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