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電界放出形電子プローブマイクロアナライザー (Field emission electron probe micro analyzer (FE-EPMA))

設備ID
HK-303
設置機関
北海道大学
設備画像
電界放出形電子プローブマイクロアナライザー
メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
JXA-8530F
仕様・特徴
加速電圧:1~30kV
分析機能:WDS

集束イオンビーム加工・観察装置 (Focused Ion Beam and Scanning Electron Microscope system(FIB-SEM))

設備ID
HK-304
設置機関
北海道大学
設備画像
集束イオンビーム加工・観察装置
メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
JIB-4600F/HKD
仕様・特徴
加速電圧:1~30kV
分析機能:EDS、EBSD、3D観察
像分解能:5nm(30kV)

収差補正走査型透過電子顕微鏡 (Cs-corrected scanning transmission electron microscope)

設備ID
HK-401
設置機関
北海道大学
設備画像
収差補正走査型透過電子顕微鏡
メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
JEM-ARM200F
仕様・特徴
加速電圧:80kV,200kV
ColdFEG
EDS,EELS
大気非暴露・冷却試料ホルダー
遠隔観察

走査型透過電子顕微鏡 (Scanning transmission electron microscope)

設備ID
HK-402
設置機関
北海道大学
設備画像
走査型透過電子顕微鏡
メーカー名
日立ハイテク (Hitachi High-Tech)
型番
HD-2000
仕様・特徴
加速電圧:200kV
冷陰極電界放出電子銃
分析機能:EDS、EELS

集束イオンビーム加工装置 (Focused Ion Beam system)

設備ID
HK-403
設置機関
北海道大学
設備画像
集束イオンビーム加工装置
メーカー名
日立ハイテク (Hitachi High-Tech)
型番
FB-2100
仕様・特徴
イオン加速電圧:5 ~ 30 kV
サイドエントリーステージ
バルクステージ
マイクロサンプリング機能

超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 (High resolution Field-emission scanning electron microscope)

設備ID
HK-404
設置機関
北海道大学
設備画像
超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
メーカー名
日立ハイテク (Hitachi High-Tech)
型番
Regulus8230
仕様・特徴
加速電圧:0.5~30kV
分析機能:EDS
STEM機能
試料サイズ:6インチまで
遠隔画面共有

時間分解収差補正光電子顕微鏡システム (Time-resolved photoelectron emission microscope)

設備ID
HK-405
設置機関
北海道大学
設備画像
時間分解収差補正光電子顕微鏡システム
メーカー名
エルミテック (Elmitec)
型番
AC-PEEMIII
仕様・特徴
空間分解能:4nm以下
時間分解能:10fs以下
LEEM機能

X線光電子分光装置 (X-ray photoelectron spectrometer)

設備ID
HK-406
設置機関
北海道大学
設備画像
X線光電子分光装置
メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
JPS-9200
仕様・特徴
標準X線源Mg/Alツインアノード
モノクロX線源
エネルギー分解能:0.65eV(モノクロX線源)
アルゴンイオンエッチング銃
分析径:3μmφ~3mmφ
最大20点まで連続分析可、分析エリア:20mm×50mm

精密イオン研磨装置 ( Precision ion polishing system)

設備ID
HK-407
設置機関
北海道大学
設備画像
精密イオン研磨装置
メーカー名
ガタン (Gatan)
型番
PIPSII
仕様・特徴
イオン加速電圧:1 ~ 6 kV
イオン入射角:最大±10°
液体窒素冷却装置
TVカメラ

大気中紫外光電子分光装置 (Photoemission Yield Spectroscopy in Air)

設備ID
HK-408
設置機関
北海道大学
設備画像
大気中紫外光電子分光装置
メーカー名
理研計器 (Riken Keiki)
型番
AC-3
仕様・特徴
測定エネルギー:4.0eV-7.0eV
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