EB加熱・抵抗加熱蒸着装置
最終更新日：2022年4月9日
| 設備ID | HK-703 |
|---|---|
| 分類 | 成膜装置 > 蒸着(抵抗加熱、電子線) |
| 設備名称 | EB加熱・抵抗加熱蒸着装置 (EB gun/resistant heating-type vacuume evaporation system) |
| 設置機関 | 北海道大学 |
| 設置場所 | 工学部C棟 |
| メーカー名 | アルバック (Ujlvac) |
| 型番 | EBX-8C |
| キーワード | 金属成膜 |
| 仕様・特徴 | 電子線、抵抗加熱方式 蒸着源：EB４元・抵抗加熱1元 蒸着材料：Si、Al、Fe、 Mo、Au |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=HK-703 |
