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MEMS用統合解析ソフト (Integrated analysis software for MEMS)

設備ID
TT-033
設置機関
豊田工業大学
設備画像
MEMS用統合解析ソフト
メーカー名
インテリセンス (IntelliSense)
型番
IntelliSuite
仕様・特徴
工程データ、フローデータ、材料データ、2Dマスクデータ、3Dモデルデータの利活用に有効。

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