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電子線描画用データ処理ソフトウェア (Data analysis software for electron beam lithography)

設備ID
NU-268
設置機関
名古屋大学
設備画像
電子線描画用データ処理ソフトウェア
メーカー名
GenISys (GenISys)
型番
BEAMER
仕様・特徴
・レイアウトエディタ
・パターンデータ変換
・近接効果補正(PEC)
・グレースケール露光補正

MEMS設計ツール(IntelliSuite) (MEMS design tools)

設備ID
RO-132
設置機関
広島大学
設備画像
MEMS設計ツール(IntelliSuite)
メーカー名
インテリセンス (IntelliSense)
型番
IntelliSuite
仕様・特徴
工程データ、フローデータ、材料データ、2Dマスクデータ、3Dモデルデータの利活用に有効。

解析用PC(CAD及び近接効果補正用) (PC (PEC and CAD))

設備ID
AT-094
設置機関
産業技術総合研究所(AIST)
設備画像
解析用PC(CAD及び近接効果補正用)
メーカー名
ジェニシス (GenISys)
型番
BEAMER
仕様・特徴
・型式:BEAMER
・近接効果補正
・パターン分割処理
・輪郭分離処理
・PSFシミュレーション

回路&レイアウト設計ツール (Ics Design & Layout Editor)

設備ID
KT-120
設置機関
京都大学
設備画像
回路&レイアウト設計ツール
メーカー名
タナーEDA (Tanner EDA)
型番
Tanner Tools Pro
仕様・特徴
・回路設計:回路図エディタ、SPICEシミュレータほか
・レイアウト設計:全角度マスクエディタ、SDL、対応形式(GDSII、CIF、OASIS、DXF、Gerberほか)
・物理検証:DRC、LVS

MEMS用統合解析ソフト (Integrated analysis software for MEMS)

設備ID
TT-033
設置機関
豊田工業大学
設備画像
MEMS用統合解析ソフト
メーカー名
インテリセンス (IntelliSense)
型番
IntelliSuite
仕様・特徴
工程データ、フローデータ、材料データ、2Dマスクデータ、3Dモデルデータの利活用に有効。
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