共用設備検索結果
高周波伝送特性測定装置 (Manual Prober)
- 設備ID
- KT-326
- 設置機関
- 京都大学
- 設備画像
- メーカー名
- (株)アポロウエーブ (APOLLOWAVE Corporation)
- 型番
- α150
- 仕様・特徴
- (株)アポロウエーブ社製 α150
チャックサイズ6インチ(室温～300℃)
プローブ位置合わせのストローク量: X,Y,Z各±5 mm
RFプローブキット
ネットワークアナライザ
半導体パラメータアナライザ
RFプローブキット (RF Microwave Probe Kit)
- 設備ID
- KT-327
- 設置機関
- 京都大学
- 設備画像
- メーカー名
- カスケード・マイクロテック(株) (Cascade Microtech, Inc.)
- 型番
- ZPROBE
- 仕様・特徴
- 高周波対応のプローブ針。
・特性インピーダンス：50Ω
・周波数：DC～40GHz
・RF出力：MAX 5W＠40GHz
・DC電流：MAX 1.5A
・DC電圧：MAX 100V
・ピッチ：250μm
ネットワークアナライザ (Vector Network Analyzer)
- 設備ID
- KT-328
- 設置機関
- 京都大学
- 設備画像
- メーカー名
- ローデ・シュワルツ・ジャパン(株) (ROHDE & SCHWARZ)
- 型番
- ZVB14
- 仕様・特徴
- 測定可能周波数：10kHz～14GHz
半導体パラメータアナライザ (Semiconductor Parameter Analyzer)
- 設備ID
- KT-329
- 設置機関
- 京都大学
- 設備画像
- メーカー名
- ケースレーインスツルメンツ(株) (Keithley Instruments, Inc.)
- 型番
- 4200-SCS
- 仕様・特徴
- 最大200V印加、電流上限：2W/印加
電流最小分解能：0.1fA
強誘電体特性評価システム (Piezoelectric Properties Evaluation System)
- 設備ID
- KT-330
- 設置機関
- 京都大学
- 設備画像
- メーカー名
- ㈱東陽テクニカ (TOYO Corporation)
- 型番
- FCE-3
- 仕様・特徴
- ㈱東陽テクニカ社製FCE-3
分極 ヒステリシス測定、誘電率測定
測定温度範囲20℃～500℃
接触式シート抵抗測定器 (4 Point Probe Sheet Resistance Measurement System)
- 設備ID
- KT-331
- 設置機関
- 京都大学
- 設備画像
- メーカー名
- ナプソン(株) (NAPSON CORPORATION)
- 型番
- Cresbox
- 仕様・特徴
- ナプソン株式会社 Cresbox
4探針法、10m~10MG/sq、2~8インチウェハ対応
マッピングソフトウェア
触針式段差計（CR） (Stylus Profilometer)
- 設備ID
- KT-332
- 設置機関
- 京都大学
- 設備画像
- メーカー名
- Veeco社(株)アルバック (Veeco Instruments Inc.ULVAC, Inc.)
- 型番
- Dektak150
- 仕様・特徴
- (株)アルバック社製 Dektak150
垂直分解能(最高) 0.1nm
測定距離 50μm～55mm
サンプルステージサイズ 直径 150mm
触針式段差計（加工評価室） (Stylus Profilometer)
- 設備ID
- KT-333
- 設置機関
- 京都大学
- 設備画像
- メーカー名
- Veeco社(株)アルバック (Veeco Instruments Inc.ULVAC, Inc.)
- 型番
- Dektak150
- 仕様・特徴
- (株)アルバック社製 Dektak150
垂直分解能(最高) 0.1nm
測定距離 50μm～55mm
サンプルステージサイズ 直径 150mm
ウエハプロファイラ (Optical Wafer Profiler)
- 設備ID
- KT-334
- 設置機関
- 京都大学
- 設備画像
- メーカー名
- ケーエルエー・テンコール(株) (KLA Corporation)
- 型番
- Zeta-388
- 仕様・特徴
- 非接触の３D表面形状測定装置。完全自動計測の為のハンドラを備えている。マルチモード光学系によって、透明・不透明基板の表面粗さ、段差及び膜厚測定が可能。
極低温透過電子顕微鏡 (Ultralow-temperature high-resolution transmission electron microscope)
- 設備ID
- KT-401
- 設置機関
- 京都大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日本電子 (JEOL)
- 型番
- JEM-2100F(G5)
- 仕様・特徴
- 液体ヘリウム冷却ステージを内蔵したクライオ電顕。溶液内のナノ集合体や有機材料の照射損傷を低減した観察が可能。クライオトランスファー機構装備。
・加速電圧：200kV
・電子銃：ショットキー型
・TEM分解能：0.2nm
・冷却温度：4.2K