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ウェッジワイヤボンダ (Ultrasonic Insulated Wire Bonder)

設備ID
KT-223
設置機関
京都大学
設備画像
ウェッジワイヤボンダ
メーカー名
ハイソル(株) (West Bond, Inc.)
型番
7476D
仕様・特徴
金線及びアルミ線をボンディング可能なマニュアルタイプのウエッジワイヤーボンダー
・ボンディング方式 US/TC/サーモソニック
・対応ワイヤ 18~50μmΦまでの金線及びアルミ線

ボールワイヤボンダ (Ball Wire Bonder)

設備ID
KT-224
設置機関
京都大学
設備画像
ボールワイヤボンダ
メーカー名
ハイソル(株) (West Bond, Inc.)
型番
7700D
仕様・特徴
金線ボンディング可能なマニュアルタイプのボールワイヤーボンダーとスイッチの切換えでバンプボンディングも可能
・ボンディング方式 US/TC/サーモソニック
・対応ワイヤ 18~50μmΦまでの金線

ダイボンダ (Dual Head Epoxy Die Bonder)

設備ID
KT-225
設置機関
京都大学
設備画像
ダイボンダ
メーカー名
ハイソル(株) (West Bond, Inc.)
型番
7200CR
仕様・特徴
銀ペースト,エポキシ材,UV硬化樹脂等の塗布及びチップのピックアンドプレスを行う事が可能なマニュアルタイプのダイボンダー
・ボンディング方式 荷重圧着方式
・最小チップサイズ □0.2mm

ウエハ接合装置 (Surface Activated Wafer Bonder)

設備ID
KT-254
設置機関
京都大学
設備画像
ウエハ接合装置
メーカー名
ボンドテック(株) (Bondtech Co., Ltd.)
型番
WAP-100
仕様・特徴
特殊仕様につきアライメント接合不可 プラズマ活性4インチウエハ対応
・4インチウェハ,高精度アライメント
・常温接合・陽極接合

ダイシング装置 (Automatic Dicing Saw)

設備ID
KT-256
設置機関
京都大学
設備画像
ダイシング装置
メーカー名
(株)ディスコ (DISCO Corporation)
型番
DAD322
仕様・特徴
ディスコ社製 DAD322
6インチウェハまで対応
1.5kWエアースピンドル

ダイシングソー (Dicing Saw)

設備ID
HK-705
設置機関
北海道大学
設備画像
ダイシングソー
メーカー名
ディスコ (DISCO)
型番
DAD322
仕様・特徴
セミオートマチック
切削可能範囲(x,y):150mm
最大ストローク(z):32mm

ウェハーダイシングマシン (Wafer Dicing Machine)

設備ID
BA-007
設置機関
筑波大学
設備画像
ウェハーダイシングマシン
メーカー名
DISCO (DISCO)
型番
DAD322
仕様・特徴
ワークサイズ;φ6
切削可能範囲;160mm
送り速度範囲;0.1~500mm/s

ワイヤボンダー (Manual Wire Bonder)

設備ID
BA-024
設置機関
筑波大学
設備画像
ワイヤボンダー
メーカー名
WEST BOND (WEST BOND)
型番
7476D
仕様・特徴
チップキャリアへのボンディング
ボンディング方式:超音波/熱圧着ウェッジボンド方式
ボンディングウェッジ:45, 90度
ワイヤ種:アルミ線・金線
試料サイズ:50mm角以下、DIPパッケージ

ダイシングソー  (dicing saw)

設備ID
WS-027
設置機関
早稲田大学
設備画像
ダイシングソー
メーカー名
株式会社ディスコ (DISCO Corporation)
型番
DAD321
仕様・特徴
ø 6対応のマニュアルダイシングソー
最大ワークサイズ 160 x 160
切削可能範囲
X軸:192mm
Y軸:162mm
Z軸有効ストローク:28.2mm
回転数範囲:3,000 - 40,000RPM

基板貼付け装置 (Wafer bonding equipment)

設備ID
IT-019
設置機関
東京工業大学
設備画像
基板貼付け装置
メーカー名
アユミ工業 (Ayumi Inc)
型番
 VE-07-18 
仕様・特徴
・対応基板サイズ:2インチウェハ,2 cm×2 cm角,3 cm×3 cm角
・プラズマ反応ガス:Ar, N2, O2
・最大プラズマ強度:750W
・アライメント精度<±1.6 μm
・チャンバー真空度:~10-5 Pa
・最大加熱温度:500℃
・アライメント部 加重範囲:5~100 kgf
・加重部 加重範囲:50~1000 kgf
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