共用設備検索結果
EVG プラズマ活性化装置 (EVG plasma activation)
- 設備ID
- TU-254
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- EVG (EVG)
- 型番
- 810
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～8インチ
ガス：N2、O2、Ar
ディスコ ダイサ (Disco dicer)
- 設備ID
- TU-255
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- ディスコ (Disco)
- 型番
- DAD-522
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～6インチ
切削水：水道水
東京精密 ダイサ (Accretech dicer)
- 設備ID
- TU-256
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- 東京精密 (Accretech)
- 型番
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～6インチ
切削水：純水
4インチウェハ研磨装置 (4 wafer polisher)
- 設備ID
- TU-260
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- BNテクノロジー (BN technology)
- 型番
- Bni52
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：4インチ
6インチウェハ研磨装置 (6 wafer polisher)
- 設備ID
- TU-261
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- BNテクノロジー (BN technology)
- 型番
- Bni62
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：6インチ
サーフェイスプレナー (Surface planer)
- 設備ID
- TU-262
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- ディスコ (Disco)
- 型番
- DAS8920
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～6インチ
赤外線顕微鏡 (Infrared microscope)
- 設備ID
- TU-309
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- オリンパス/浜松ホトニクス (Olympus/Hamamatsu)
- 型番
- -
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～6インチ
超音波顕微鏡 (Ultrasonic microscope)
- 設備ID
- TU-312
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- インサイト (Insight)
- 型番
- IS-350
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～300mm角
反射測定、透過測定の両方可
超音波周波数：10MHz、15MHz、25MHz、35MHz、50MHz、110MHz、200MHz
ステルスダイサー (Silicon Stealth Dicing Machine)
- 設備ID
- UT-900
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像
- メーカー名
- ディスコ (DISCO)
- 型番
- DFL7340（Si用）
- 仕様・特徴
- 当拠点のステルスダイサーはシリコン専用ですが、日本発の新技術「ステルスダイシング技術」を利用したダイサー。
レーザー光線をシリコンウエーハの内部に集光することで、意図的に「割れやすい線」を埋め込むことができます。
この線を設計図に従って何本も埋め込み、最後に軽くストレスを与えることで、ウエーハを設計図通りにへき開することができる夢のダイシング装置です。