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セミオートワイヤボンダ (Semi-automatic wire bonder)

設備ID
TU-266
設置機関
東北大学
設備画像
セミオートワイヤボンダ
メーカー名
TPT (TPT)
型番
HB16
仕様・特徴
セミオート対応

ワイヤーボンダー [7476D #2] (Wire Bonder [7476D #2])

設備ID
NM-632
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
設備画像
ワイヤーボンダー [7476D #2]
メーカー名
ハイソル(West Bond) (HiSOL (West Bond))
型番
7476D
仕様・特徴
・用途:チップキャリアへのボンディング
・ボンディング方式:超音波/熱圧着ウェッジボンド方式
・ボンディングウェッジ:45°,90°
・ワイヤー材質:金線,アルミ線
・ワークホルダー温度:300度以下
・最大試料サイズ:50mm角以下,DIPパッケージ

マニュアルウエッジボンダ― (Manual wire bonder)

設備ID
UT-902
設置機関
東京大学
設備画像
マニュアルウエッジボンダ―
メーカー名
WEST・BOND (WEST・BOND)
型番
7476D
仕様・特徴
アルミ線(または金)超音波接合
ウエッジ針によって、超音波で配線を刷り込むように接合できる、「何にでもよくつく」ボンダーです。普段は25μmφのアルミ線を常用しています。
Zeissの三眼顕微鏡(高精細CCDカメラ付き)により、デバイスの写真や簡単な動画を取得することもできます。

エポキシダイボンダ― (Epoxy Die Bonder)

設備ID
UT-903
設置機関
東京大学
設備画像
エポキシダイボンダ―
メーカー名
WEST・BOND (WEST・BOND)
型番
7200C
仕様・特徴
精密マニュピレータ 銀ペースト接着
実体顕微鏡で斜めから観察しながら、エポキシや銀ペーストでチップを配置することができます。
実体は精密マニュピレータですので、その他治具の工夫によって、金バンプの頭を平坦化して揃えたり(コイニング)することも可能です。

セミオートボールボンダー (Ball bonder)

設備ID
UT-904
設置機関
東京大学
設備画像
セミオートボールボンダー
メーカー名
WEST・BOND (WEST・BOND)
型番
4700E
仕様・特徴
金のボールボンダー 超音波接合
金バンプや、金線によるボールボンディングが可能な装置です。
ディスプレイまたは実体顕微鏡でみながら指定した位置に自動でボールを置いてくれます。
ウェッジボンダ―と比較すると、対象を選びますが、ひとたび条件が出るとこちらの方が安定です。
120μmピッチのLSIチップへのボンディングや、75μmφ金バンプなどで実績があります。
特注の52ピンガラスエポキシピッチ変換基板(金メッキ付)もお分けできます。

精密フリップチップボンダー (Flip chip bonder)

設備ID
UT-911
設置機関
東京大学
設備画像
精密フリップチップボンダー
メーカー名
Finetech (Finetech)
型番
lambda2
仕様・特徴
ハーフミラーで両方を見ながら位置合わせができる。
手動(マイクロメータによる位置合わせ)精度±0.5μm
チップサイズ15mmまで(治具作成可能)
ランプ加熱による400度熱接合(400Nまで)、超音波接合(100Nまで)、及び窒素雰囲気での接合が可能。

ウェッジワイヤボンダ (Ultrasonic Insulated Wire Bonder)

設備ID
KT-223
設置機関
京都大学
設備画像
ウェッジワイヤボンダ
メーカー名
ハイソル(株) (West Bond, Inc.)
型番
7476D
仕様・特徴
金線及びアルミ線をボンディング可能なマニュアルタイプのウエッジワイヤーボンダー
・ボンディング方式 US/TC/サーモソニック
・対応ワイヤ 18~50μmΦまでの金線及びアルミ線

ボールワイヤボンダ (Ball Wire Bonder)

設備ID
KT-224
設置機関
京都大学
設備画像
ボールワイヤボンダ
メーカー名
ハイソル(株) (West Bond, Inc.)
型番
7700D
仕様・特徴
金線ボンディング可能なマニュアルタイプのボールワイヤーボンダーとスイッチの切換えでバンプボンディングも可能
・ボンディング方式 US/TC/サーモソニック
・対応ワイヤ 18~50μmΦまでの金線

ダイボンダ (Dual Head Epoxy Die Bonder)

設備ID
KT-225
設置機関
京都大学
設備画像
ダイボンダ
メーカー名
ハイソル(株) (West Bond, Inc.)
型番
7200CR
仕様・特徴
銀ペースト,エポキシ材,UV硬化樹脂等の塗布及びチップのピックアンドプレスを行う事が可能なマニュアルタイプのダイボンダー
・ボンディング方式 荷重圧着方式
・最小チップサイズ □0.2mm

ワイヤボンダー (Manual Wire Bonder)

設備ID
BA-024
設置機関
筑波大学
設備画像
ワイヤボンダー
メーカー名
WEST BOND (WEST BOND)
型番
7476D
仕様・特徴
チップキャリアへのボンディング
ボンディング方式:超音波/熱圧着ウェッジボンド方式
ボンディングウェッジ:45, 90度
ワイヤ種:アルミ線・金線
試料サイズ:50mm角以下、DIPパッケージ
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