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精密研磨装置PM-6 (C.M. Polisher)

設備ID
UT-916
設置機関
東京大学
設備画像
精密研磨装置PM-6
メーカー名
ロジテック (Logitec)
型番
PM-6
仕様・特徴
化学研磨装置
対象物を精密に研磨する装置。研磨剤によって、高速に粗く削る(ラッピング)ことも、低速に平坦性を確保する(ポリッシング)ことも可能。4”丸型ウエーハまで研磨可能。
回転機構:1軸タイプ
最大サンプル径:4インチ

ブラシスクラバ (Brush scrubber)

設備ID
TU-009
設置機関
東北大学
設備画像
ブラシスクラバ
メーカー名
全協化成 (Zenkyo)
型番
特注
仕様・特徴
サンプルサイズ:20mm角~6インチ

4インチウェハ研磨装置 (4 wafer polisher)

設備ID
TU-260
設置機関
東北大学
設備画像
4インチウェハ研磨装置
メーカー名
BNテクノロジー (BN technology)
型番
Bni52
仕様・特徴
サンプルサイズ:4インチ

6インチウェハ研磨装置 (6 wafer polisher)

設備ID
TU-261
設置機関
東北大学
設備画像
6インチウェハ研磨装置
メーカー名
BNテクノロジー (BN technology)
型番
Bni62
仕様・特徴
サンプルサイズ:6インチ

サーフェイスプレナー (Surface planer)

設備ID
TU-262
設置機関
東北大学
設備画像
サーフェイスプレナー
メーカー名
ディスコ (Disco)
型番
DAS8920
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片~6インチ
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