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"研磨(化学、機械)"で検索した結果 5件
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精密研磨装置PM-6 (C.M. Polisher)
- 設備ID
- UT-916
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像
![精密研磨装置PM-6](data/facility_item/1712206022_11.jpg)
- メーカー名
- ロジテック (Logitec)
- 型番
- PM-6
- 仕様・特徴
- 化学研磨装置
対象物を精密に研磨する装置。研磨剤によって、高速に粗く削る(ラッピング)ことも、低速に平坦性を確保する(ポリッシング)ことも可能。4”丸型ウエーハまで研磨可能。
回転機構:1軸タイプ
最大サンプル径:4インチ
ブラシスクラバ (Brush scrubber)
- 設備ID
- TU-009
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
![ブラシスクラバ](data/facility_item/1651462439_14.jpg)
- メーカー名
- 全協化成 (Zenkyo)
- 型番
- 特注
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ:20mm角~6インチ
4インチウェハ研磨装置 (4 wafer polisher)
- 設備ID
- TU-260
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
![4インチウェハ研磨装置](data/facility_item/1651467967_14.jpg)
- メーカー名
- BNテクノロジー (BN technology)
- 型番
- Bni52
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ:4インチ
6インチウェハ研磨装置 (6 wafer polisher)
- 設備ID
- TU-261
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
![6インチウェハ研磨装置](data/facility_item/1651467990_14.jpg)
- メーカー名
- BNテクノロジー (BN technology)
- 型番
- Bni62
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ:6インチ
サーフェイスプレナー (Surface planer)
- 設備ID
- TU-262
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
![サーフェイスプレナー](data/facility_item/1651468016_14.jpg)
- メーカー名
- ディスコ (Disco)
- 型番
- DAS8920
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ:小片~6インチ
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