超微細インクジェット描画装置
| 設備ID | KT-113 |
|---|---|
| 分類 | リソグラフィ > その他 |
| 装置名称 | 超微細インクジェット描画装置 (Super Fine Inkjet Printer) |
| 設置機関 | 京都大学 |
| 設置場所 | 京都大学 吉田キャンパス |
| メーカー名 | (株)ＳＩＪテクノロジ (SIJTechnology, Inc.) |
| 型番 | ST050 |
| キーワード | インクジェット描画 |
| 仕様・特徴 | 超微量・高粘度吐出のスーパーインクジェットヘッドにより、大気圧・常温下で微細パターンの直接描画が可能。 ・最小吐出量：0.1fL ・最小ライン幅：0.6μm ・対応粘度：0.5～10,000cps ・付属ソフトウェア（複雑パターンが可能） |
