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ポリイミドキュア炉 (Curing oven)
- 設備ID
- TU-066
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- ヤマト科学 (Yamato)
- 型番
- DN43H
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～8インチ
温度：最高350℃
UV キュア装置 (UV curing)
- 設備ID
- TU-067
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- ウシオ電機 (Ushio)
- 型番
- UMA-802
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：4、6インチ
カセットtoカセット
球面露光装置 (Maskless exposure system for ball)
- 設備ID
- TU-068
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- 東栄科学産業 (Toei Scientific Instruments)
- 型番
- -
- 仕様・特徴
- サンプル：球体（直径1.0、3.3mm）
最小パターン：1.5µmハーフピッチ
アライメント精度：±5µm
プラズマクリーナー (Plasma cleaner)
- 設備ID
- TU-211
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- ヤマト科学 (Yamato)
- 型番
- PDC210
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～6インチ
基板固定方式：静置（温度制御不可）
プラズマ方式：CCP、バレル式
ガス：O2、Ar
アルバック アッシング装置 (Ulvac asher)
- 設備ID
- TU-212
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- アルバック (Ulvac)
- 型番
- UNA-2000
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：4、6インチ
カセットtoカセット
プラズマ方式：CCP（2.45GHz）
ガス：O2、H2フォーミングガス
ブランソン アッシング装置 (Branson Asher)
- 設備ID
- TU-213
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- ブランソン (Branson)
- 型番
- IPC4000
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～6インチ
サンプルは石英治具に載せる
プラズマ方式：バレル式
ガス：O2
UVインプリント装置 (UV imprint)
- 設備ID
- TU-263
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- 東芝機械 (Toshiba Machine)
- 型番
- ST-50
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～6インチ（ステージの可動範囲は4インチ角）
モールドサイズ：小片～3インチ
荷重：最大50kN
熱インプリント装置 (Thermal imprint)
- 設備ID
- TU-264
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- オリジン電気 (Origin)
- 型番
- Reprina-T50A
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～2インチ角
温度：最大650℃
荷重：最大30kN
エキシマ洗浄装置 (Excimer lamp cleaner)
- 設備ID
- TU-265
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- デアネヒステ (Dernaechste)
- 型番
- EXC-1201-DN
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～4インチ
ガス：O2
高速大面積電子線描画装置 (Ultrarapid Electron Beam Direct Writing and Photo Mask Fabrication Machine)
- 設備ID
- UT-500
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像
- メーカー名
- アドバンテスト (ADVANTEST)
- 型番
- F5112＋VD01
- 仕様・特徴
- ・長方形・矩形の大きさを任意に変更してショットする(可変整形)ことのできる高速電子線描画装置。
・カケラ基板から8インチ丸基板までの任意形状に対応
・加速電圧50kV