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アクテス スピンコータ#2 (Spin coater)
- 設備ID
- TU-053
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- アクテス (Actes)
- 型番
- ASC-4000W
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：4，6，8インチ
ホットプレート (Hot plate)
- 設備ID
- TU-054
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- Shamal (Shamal)
- 型番
- HHP-230SQ
- 仕様・特徴
- 設定温度：40～400℃
温度分布精度：±1℃
スプレー現像装置 (Spray developer)
- 設備ID
- TU-059
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- アクテス (Actes)
- 型番
- ADE-3000S
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：3～6インチ
現像ドラフト (Draft chamber for development)
- 設備ID
- TU-060
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- - (-)
- 型番
- -
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～8インチ
コータデベロッパ (Coater developer)
- 設備ID
- TU-062
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- Suss (Suss)
- 型番
- ACS200Gen3
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：2～8インチ
カセットtoカセット
HMDS処理、コート 3ライン、現像 2ライン、エッジリンス、バックリンス、ホットプレート 4セット、クールプレート 1セット
ポリイミドキュア炉 (Curing oven)
- 設備ID
- TU-066
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- ヤマト科学 (Yamato)
- 型番
- DN43H
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～8インチ
温度：最高350℃
UV キュア装置 (UV curing)
- 設備ID
- TU-067
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- ウシオ電機 (Ushio)
- 型番
- UMA-802
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：4、6インチ
カセットtoカセット
プラズマクリーナー (Plasma cleaner)
- 設備ID
- TU-211
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- ヤマト科学 (Yamato)
- 型番
- PDC210
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～6インチ
基板固定方式：静置（温度制御不可）
プラズマ方式：CCP、バレル式
ガス：O2、Ar
アルバック アッシング装置 (Ulvac asher)
- 設備ID
- TU-212
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- アルバック (Ulvac)
- 型番
- UNA-2000
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：4、6インチ
カセットtoカセット
プラズマ方式：CCP（2.45GHz）
ガス：O2、H2フォーミングガス