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ウエハスピン現像装置 (Wafer spin developer )
- 設備ID
- GA-015
- 設置機関
- 香川大学
- 設備画像
- メーカー名
- 滝沢産業 (TAKIZAWA SANGYO)
- 型番
- AD-1200（無機用），AD-1200（有機用）
- 仕様・特徴
- 基板サイズ：φ4"以下
基板ホルダー：真空吸着式
基板回転数：0～3000rpm 可変式
処理時間：999sec/stop（1sec単位）
使用薬液：無機系アルカリ液対応と有機溶剤対応
処理方法：スプレースイングアーム式
枚様式HMDS処理装置APPS-30 (Single-wafer type HMDS surface treatment machine)
- 設備ID
- UT-512
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像
- メーカー名
- リソテックジャパン (Litho Tech Japan)
- 型番
- APPS-30
- 仕様・特徴
- シリコン表面(シラノールSi-O基）をHMDSでメチル基に置換疎水化し、レジスト現像時の密着性を改善する表面処理。スピンコーターを共用してHMDSを塗布すると、発生するアンモニアによって、レジストによっては悪影響が出る。本装置はHMDS塗布専用装置なので悪影響の心配が無い。
基板サイズ：2インチ～300mmウエハ
ベーク温度：60～150℃
HMDS供給：内臓バブリングシステム
自動フォトマスクエッチング装置AEP-3000S (Auto Photomask Etching Machine)
- 設備ID
- UT-510
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像
- メーカー名
- アクテス京三（株） (ActesKyosan Inc)
- 型番
- AEP-3000S
- 仕様・特徴
- 東京大学の電子線描画装置を用いて5009サイズのフォトマスクを作製するために使用する自動クロムエッチング装置。
試料サイズ：Φ2ｰΦ6インチ、または100x100mm
プログラム設定：1プログラム最大99ステップ、50プログラム保存可能
回転数： ０－3000rpm
開店時間： ０－999sec
ノズル：薬液 2系等、リンス １系統
プログラム・ホットプレート (Program hot plate)
- 設備ID
- RO-122
- 設置機関
- 広島大学
- 設備画像
- メーカー名
- アズワン株式会社 (AS ONE)
- 型番
- EC-1200NP
- 仕様・特徴
- ・16ステップ以内のプログラムを4パターン記憶
・制御可能温度範囲：室温＋50 ～ 300℃
・プレート面積：412*312mm
水蒸気プラズマ洗浄装置 [AQ-500 #1] (H2O Plasma Cleaner [AQ-500 #1])
- 設備ID
- NM-605
- 設置機関
- 物質・材料研究機構 (NIMS)
- 設備画像
![水蒸気プラズマ洗浄装置 [AQ-500 #1]](data/facility_item/NM-605.jpg)
- メーカー名
- サムコ (Samco)
- 型番
- AQ-500
- 仕様・特徴
- ・用途：洗浄・還元・灰化・接合・親水化
・高周波出力：50-250W
・反応ガス：H2O,O2
・最大試料サイズ：φ8 inch
・その他：自動運転プログラム
UVオゾンクリーナー [UV-1] (UV Ozone Cleaner [UV-1])
- 設備ID
- NM-606
- 設置機関
- 物質・材料研究機構 (NIMS)
- 設備画像
![UVオゾンクリーナー [UV-1]](data/facility_item/NM-606.jpg)
- メーカー名
- サムコ (samco)
- 型番
- UV-1
- 仕様・特徴
- ・用途：基板クリーニング，表面改質
・光源：紫外線ランプ （184.9nmおよび253.7nm）
・オゾンジェネレータ：無声放電方式高濃度オゾナイザー
・ステージ温度：室温～300度
・最大試料サイズ：φ8 inch
有機ドラフトチャンバー (Draft Chamber for organic)
- 設備ID
- TU-002
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- ()
- 型番
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～8インチ
真空オーブン (Vacuum oven)
- 設備ID
- TU-008
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- ヤマト科学 (Yamato)
- 型番
- DP-31
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～6インチ
温度：最高200℃
ミカサ スピンコータ (Mikasa Spin coater)
- 設備ID
- TU-051
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- ミカサ (Mikasa)
- 型番
- 1H-DXII
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～6インチ
アクテス スピンコータ#1 (Spin coater)
- 設備ID
- TU-052
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- アクテス (Actes)
- 型番
- ASC-4000
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～6インチ