共用設備検索
共用設備検索結果
- 設備ID
- NM-609
- 設置機関
- 物質・材料研究機構 (NIMS)
- 設備画像
![電子銃型蒸着装置 [ADS-E86]](data/facility_item/NM-609.jpg)
- メーカー名
- アールデック (R-DEC)
- 型番
- ADS-E86
- 仕様・特徴
- ・用途：自動金属薄膜形成
・蒸着方式：電子銃型
・ターゲット：Ti, Cr, Al, Ni, Au, Pt
・到達真空度：10-5 Pa
・ＴＳ間距離：500 mm
・最大試料サイズ：φ8inch
・その他：ロードロック式、水冷式試料ステージ
- 設備ID
- NM-610
- 設置機関
- 物質・材料研究機構 (NIMS)
- 設備画像
![電子銃型蒸着装置 [RDEB-1206K]](data/facility_item/NM-610.jpg)
- メーカー名
- アールデック (R-DEC)
- 型番
- RDEB-1206K
- 仕様・特徴
- ・用途：リフトオフ向け金属薄膜形成
・蒸着方式：電子銃型×1式
・ターゲット：12連式（Ti, Cr, Al, Ni, Cu, Pt, Au×2, Pd, Ag, MgO, Co, Fe, AuGe, Ge, 他）
・到達真空度：1.0e-5 Pa
・TS間距離：500mm
・最大試料サイズ：φ6inch
・その他：水冷式試料ステージ
- 設備ID
- NM-611
- 設置機関
- 物質・材料研究機構 (NIMS)
- 設備画像
![原子層堆積装置 [AD-230LP]](data/facility_item/NM-611.jpg)
- メーカー名
- サムコ (Samco)
- 型番
- AD-230LP
- 仕様・特徴
- ・用途：多種ALD薄膜形成装置
・仕様成膜方式：サーマルまたはプラズマALD
・原料：TMA, TDMAT, BDEAS, 他
・酸化剤：H2O, O3, O2プラズマ
・窒化剤：N2プラズマ, NH3プラズマ
・試料サイズ：最大φ8インチ
・その他：ロードロック式
- 設備ID
- NM-612
- 設置機関
- 物質・材料研究機構 (NIMS)
- 設備画像
![SiNプラズマCVD装置 [PD-220NL]](data/facility_item/NM-612.jpg)
- メーカー名
- サムコ (samco)
- 型番
- PD-220NL
- 仕様・特徴
- ・用途：PECVDによるSiO2, SiNの薄膜形成
・プラズマ方式：平行平板型
・電源出力：30-300W
・原料：TEOS (SiO2), SN-2 (SiN)
・成膜温度：400度以下
・最大試料サイズ：φ8inch
- 設備ID
- NM-628
- 設置機関
- 物質・材料研究機構 (NIMS)
- 設備画像
![薄膜応力測定装置 [FLX-2000-A]](data/facility_item/NM-628.jpg)
- メーカー名
- 東朋テクノロジー (Toho Technology)
- 型番
- FLX-2000-A
- 仕様・特徴
- ・用途：薄膜応力測定
・測定方式：レーザースキャン方式（670nm＆750nm半導体レーザー）
・測定範囲：1～4000MPa
・測定再現性：1.3MPa（1σ）
・試料サイズ：φ3inch, φ6inch, φ8inch
・その他：3Dマッピング機能
- 設備ID
- TU-051
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- ミカサ (Mikasa)
- 型番
- 1H-DXII
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～6インチ
- 設備ID
- TU-052
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- アクテス (Actes)
- 型番
- ASC-4000
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～6インチ
- 設備ID
- TU-053
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- アクテス (Actes)
- 型番
- ASC-4000W
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：4，6，8インチ
- 設備ID
- TU-062
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- Suss (Suss)
- 型番
- ACS200Gen3
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：2～8インチ
カセットtoカセット
HMDS処理、コート 3ライン、現像 2ライン、エッジリンス、バックリンス、ホットプレート 4セット、クールプレート 1セット
- 設備ID
- TU-151
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- システムサービス (System service)
- 型番
- -
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～6インチ
"成膜装置"で検索した結果 160件
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