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電子銃型蒸着装置 [MB-501010] (EB Evaporator [MB-501010])
- 設備ID
- NM-642
- 設置機関
- 物質・材料研究機構 (NIMS)
- 設備画像
![電子銃型蒸着装置 [MB-501010]](data/facility_item/1687416539_11.jpg)
- メーカー名
- 株式会社エイコー・エンジニアリング (EIKO ENGINEERING, LTD.)
- 型番
- MB-501010
- 仕様・特徴
- ・電子ビーム加速電圧：10kV
・最大エミッション：500mA
・蒸発源：材料ハース10cc×10個
・到達真空度：10-5 Pa
・T-S距離：700mm
・基板サイズ：最大φ6インチ