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2インチ3元電子線蒸着装置 (2-inch 3-target Electron Beam (EB) Evaporator)
- 設備ID
- UT-715
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像
- メーカー名
- アルバック (ULVAC)
- 型番
- BB7873
- 仕様・特徴
- ウエーハサイズ2インチもしくはそれ以下のチップサンプルに対応可能。一般的なEB蒸着装置です。ロードロックを備えており、試料交換時間が短い。到達真空度は10E-5 Pa台。膜厚計、試料加熱ランプあり。
電子銃型蒸着装置 [ADS-E810] (EB Evaporator [ADS-E810])
- 設備ID
- NM-665
- 設置機関
- 物質・材料研究機構 (NIMS)
- 設備画像
![電子銃型蒸着装置 [ADS-E810]](data/facility_item/1711340460_11.jpg)
- メーカー名
- アールデック (R-DEC)
- 型番
- ADS-E810
- 仕様・特徴
- ・蒸着方式：電子銃型
・ターゲット：Al, Ti, Ni, AuGe, Pt, Au, Pd, Ag, Cr, 他
・到達真空度：10-5 Pa
・ＴＳ間距離：500 mm
・最大試料サイズ：φ8inch
・その他：ロードロック式、水冷式試料ステージ
電子銃型蒸着装置 [ADS-E86] (EB Evaporator [ADS-E86])
- 設備ID
- NM-609
- 設置機関
- 物質・材料研究機構 (NIMS)
- 設備画像
![電子銃型蒸着装置 [ADS-E86]](data/facility_item/NM-609.jpg)
- メーカー名
- アールデック (R-DEC)
- 型番
- ADS-E86
- 仕様・特徴
- ・用途：自動金属薄膜形成
・蒸着方式：電子銃型
・ターゲット：Ti, Cr, Al, Ni, Au, Pt
・到達真空度：10-5 Pa
・ＴＳ間距離：500 mm
・最大試料サイズ：φ8inch
・その他：ロードロック式、水冷式試料ステージ
電子銃型蒸着装置 [RDEB-1206K] (EB Evaporator [RDEB-1206K])
- 設備ID
- NM-610
- 設置機関
- 物質・材料研究機構 (NIMS)
- 設備画像
![電子銃型蒸着装置 [RDEB-1206K]](data/facility_item/NM-610.jpg)
- メーカー名
- アールデック (R-DEC)
- 型番
- RDEB-1206K
- 仕様・特徴
- ・用途：リフトオフ向け金属薄膜形成
・蒸着方式：電子銃型×1式
・ターゲット：12連式（Ti, Cr, Al, Ni, Cu, Pt, Au×2, Pd, Ag, MgO, Co, Fe, AuGe, Ge, 他）
・到達真空度：1.0e-5 Pa
・TS間距離：500mm
・最大試料サイズ：φ6inch
・その他：水冷式試料ステージ
電子ビーム蒸着装置 (EB evaporation)
- 設備ID
- TU-167
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- アネルバ (Anelva)
- 型番
- EVC-1501
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～6インチ
同時処理枚数：4インチ×18枚、6インチ×4枚
同時に装着できる蒸着源：3個
基板温度：常温～350℃（ランプ加熱方式）
4インチ高真空EB蒸着装置 ( Ultra high vacuum evaporator)
- 設備ID
- UT-700
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像
- メーカー名
- 自作 (DIY)
- 型番
- NSPⅡ
- 仕様・特徴
- 東大拠点で独自設計・自作した蒸着装置で、いわゆる抵抗加熱蒸着と電子線（EB）加熱蒸着との両方がが可能。
主な材料はAu,Cr,Al。
パリレンコーター (Parylene Coater)
- 設備ID
- UT-709
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像
- メーカー名
- 米国SCS社 (Specialty Coating Systems)
- 型番
- PDS2010
- 仕様・特徴
- 8インチまでの成膜が可能。
8元電子線蒸着装置 (Electron Beam Evaporator)
- 設備ID
- UT-712
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像
- メーカー名
- エイコー (EIKO)
- 型番
- EB-380
- 仕様・特徴
- 蒸着材料を一度に8種類装填できる多様な実験を支援する電子ビーム蒸着。
カーボンコーター (Carbon coater )
- 設備ID
- UT-713
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像
- メーカー名
- 明和フォーシス (Meiwafosis )
- 型番
- CADE-4T
- 仕様・特徴
- 帯電しやすい試料をカーボンでコーティングして鮮明な走査電子顕微鏡増が得られます。
電子ビーム蒸着装置 (Electron beam evaporation)
- 設備ID
- NU-224
- 設置機関
- 名古屋大学
- 設備画像
- メーカー名
- アルバック (ULVAC)
- 型番
- EBX-10D
- 仕様・特徴
- ・最大投入電力：5kW
・るつぼ数4
・ハースライナー使用