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ミカサ スピンコータ (Mikasa Spin coater)

設備ID
TU-051
設置機関
東北大学
設備画像
ミカサ スピンコータ
メーカー名
ミカサ (Mikasa)
型番
1H-DXII
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片~6インチ

アクテス スピンコータ#1 (Spin coater)

設備ID
TU-052
設置機関
東北大学
設備画像
アクテス スピンコータ#1
メーカー名
アクテス (Actes)
型番
ASC-4000
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片~6インチ

アクテス スピンコータ#2 (Spin coater)

設備ID
TU-053
設置機関
東北大学
設備画像
アクテス スピンコータ#2
メーカー名
アクテス (Actes)
型番
ASC-4000W
仕様・特徴
サンプルサイズ:4,6,8インチ

コータデベロッパ (Coater developer)

設備ID
TU-062
設置機関
東北大学
設備画像
コータデベロッパ
メーカー名
Suss (Suss)
型番
ACS200Gen3
仕様・特徴
サンプルサイズ:2~8インチ
カセットtoカセット
HMDS処理、コート 3ライン、現像 2ライン、エッジリンス、バックリンス、ホットプレート 4セット、クールプレート 1セット

ゾルゲル自動成膜装置 (Automatic sol-gel deposition)

設備ID
TU-170
設置機関
東北大学
設備画像
ゾルゲル自動成膜装置
メーカー名
テクノファイン (Technofine)
型番
PZ-604
仕様・特徴
サンプルサイズ:4インチ
スピンコート、ベーク、ランプアニールの繰り返しを自動処理可能

スプレーコーター (Spray coater)

設備ID
NU-216
設置機関
名古屋大学
設備画像
スプレーコーター
メーカー名
サンメイ (Sunmay)
型番
DC110
仕様・特徴
・対応サイズ:最大 □220 mm
・移動範囲:縦横300 mm
・移動速度:10~200 mm/秒
・粒子径:約5~15 µm

試料作製装置群・スピンコーター・スピンコーター・グローブボックス (Sample preparation devices・Spin coater・Spin coater・Glovebox)

設備ID
CT-030
設置機関
公立千歳科学技術大学
設備画像
試料作製装置群・スピンコーター・スピンコーター・グローブボックス
メーカー名
ミカサ共和理研美輪製作所 (MikasaKYOWARIKENMiwa Manufacturing)
型番
1HD7 K-359S1 下置きガス循環精製装置付パージ式
仕様・特徴
グローブボックス
・パージ式ガス置換型
・サイドボックスのみ真空引ガス置換構造

スピンコータ (Spin Coater)

設備ID
RO-121
設置機関
広島大学
設備画像
スピンコータ
メーカー名
タツモ(株) (TAZMO)
型番
仕様・特徴
対応wafer:2inch、cut wafer
レジスト塗布
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