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触針式表面形状測定器 (Stylus-type surface shape measuring system)
- 設備ID
- GA-005
- 設置機関
- 香川大学
- 設備画像
- メーカー名
- アルバック (ULVAC)
- 型番
- Dektak8
- 仕様・特徴
- 測定分解能:最小:0.1nm
垂直分解能/レンジ：1Å/65kÅ、10Å/655kÅ、40Å/2620kÅ
サンプルサイズ：直径210mm
測定長さ：50μm〜50mm
最大サンプリング数：30,000点
測定加重：1〜15mg
自動多点測定数：最高200点
サンプル観察：
トップビュー（低倍率カラー）10mm
サイドビュー（高倍率カラー）1mm
測定再現性:1nm以下
エリプソメータ (Film thickness measuring system)
- 設備ID
- GA-012
- 設置機関
- 香川大学
- 設備画像
- メーカー名
- 溝尻光学 (Mizojiri-opt)
- 型番
- DHA-XA/M8
- 仕様・特徴
- 膜厚と屈折率を測定可能
処理物：～12インチウェハ 光源波長：632.8nm（He-Neレーザー）
入射角：55°～75°，90°
入射角設定単位：0.01°
最小分解能：1Å
分布計測分解能：0.01mm
微細形状測定機(段差計) (Microfigure Measuring Instrument)
- 設備ID
- HK-630
- 設置機関
- 北海道大学
- 設備画像
- メーカー名
- 株式会社 小坂研究所 (Kosaka Laboratory Ltd.)
- 型番
- ET200A
- 仕様・特徴
- 最大サンプルサイズΦ160×厚さ52mm
再現性1σ 0.3nm以内
測定範囲Z：600μm X：100mm
分解能Z：0.1nm X：0.1μm
測定力10μN～500μN
触針式プロファイラー [Dektak 6M] (Surface Profilometer [Dektak 6M])
- 設備ID
- NM-654
- 設置機関
- 物質・材料研究機構 (NIMS)
- 設備画像
![触針式プロファイラー [Dektak 6M]](data/facility_item/1687417165_11.jpg)
- メーカー名
- ブルカージャパン株式会社 (Bruker Japan K.K.)
- 型番
- Dektak 6M
- 仕様・特徴
- ・垂直分解能：0.1 nm
・最大垂直測定幅：262 μm
・測定長さ：50 μm～30 mm
分光エリプソメーター [M2000] (Spectroscopic Ellipsometer [M2000])
- 設備ID
- NM-655
- 設置機関
- 物質・材料研究機構 (NIMS)
- 設備画像
![分光エリプソメーター [M2000]](data/facility_item/1687417245_11.jpg)
- メーカー名
- ジェー・エー・ウーラム・ジャパン株式会社 (J.A.Woollam Co., Inc.)
- 型番
- M2000
- 仕様・特徴
- ・波長範囲：250 ~ 1000 nm
・補償子：回転式
・入射角：自動制御、45～90°