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触針式プロファイラー [Dektak XT-A] (Surface Profilometer [Dektak XT-A])
- 設備ID
- NM-626
- 設置機関
- 物質・材料研究機構 (NIMS)
- 設備画像
![触針式プロファイラー [Dektak XT-A]](data/facility_item/NM-626.jpg)
- メーカー名
- ブルカージャパン (Bruker)
- 型番
- Dektak XT-A
- 仕様・特徴
- ・用途：段差測定
・分解能：1Å（6.5umレンジ）
・走査距離：55mm
・触圧範囲：0.03-15mg
・最大試料サイズ：φ8inch
・ その他：自動ステージ、3Dマッピング、粗さ測定、ストレス測定
ウェハゴミ検査装置 (Wafer dust counter)
- 設備ID
- TU-301
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- トプコン (Topcon)
- 型番
- WM-3
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～6インチ
カセットtoカセット
膜厚計 (Film thickness measurement)
- 設備ID
- TU-302
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- ナノメトリクス (Nanometrics)
- 型番
- NanoSpec3000
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～6インチ
卓上型エリプソ (Desktop Ellipsometer)
- 設備ID
- TU-303
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- フォトニックラティス (Photonic lattice)
- 型番
- SE-101
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～6インチ
Dektak 段差計 (Dektak surface profiler)
- 設備ID
- TU-305
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- Dektak (Dektak)
- 型番
- 8
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～6インチ
Tencor 段差計 (Tencor profiler)
- 設備ID
- TU-306
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- Tencor (Tencor)
- 型番
- AlphaStep
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～6インチ
分光エリプソメータ (M-2000DI-T)
- 設備ID
- UT-303
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像
- メーカー名
- ジェー・エー・ウーラム・ジャパン (J.A.Woollam)
- 型番
- M-2000U
- 仕様・特徴
- □ 主な仕様
・測定波長：193～1690nm
・チャンネル数：690同時計測
・回転補償子型
形状・膜厚・電気特性評価装置群 (Series of analysis equipments, visual, thickness, and electrical/mechanical characteristic.)
- 設備ID
- UT-850
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像
- メーカー名
- ・キーエンス ・ブルカー ・東朋テクノロジー ・ズースマイクロテック ・日本分光 ・オリンパス ・エビデント（旧オリンパス） ・キーエンス (・Keyence ・BRUKER ・Toho Technology ・SUSS MicroTec ・JASCO ・Olympus ・EVIDENT (Ex.Olympus) ・Keyence)
- 型番
- ・VHX-6000 ・DektakXT ・Tohospec3100 ・Suss8”プローバ ・M-550 ・LEXT OLS5000 ・STM-7 ・VK-X1100(404nm)
- 仕様・特徴
- 枝番1：顕微鏡
枝番2：触針段差計
枝番3：光干渉式膜厚測定装置
枝番4：Suss8”プローバ,針を当てて電気的特性を測定する装置。8インチ対応。
枝番5：分光エリプソメータ―
枝番6：レーザー顕微鏡
枝番7：光学顕微鏡(200mmステージ、静止画撮影)
枝番8：共焦点型レーザー顕微鏡。一般居室にあるため、クリーンルームに持ち込み不可なサンプルも計測可能。
動的光散乱（DLS） (Dynamic Light Scattering Analyzer (DLS))
- 設備ID
- NU-013
- 設置機関
- 名古屋大学
- 設備画像
- メーカー名
- Malvern社 (Malvern)
- 型番
- Zetasizer Nano ZS
- 仕様・特徴
- ・粒径分布、ゼータポテンシャル、分子量測定
・測定可能粒径：0.6nm-6μm、ゼータ電位：5nm-10μm
・分子量：1000-2×107Da
・試料濃度：<10nm : 0.5g/l、10nm-100nm : 0.1mg/l、100nm-1μm : 0.01g/l、>1μm : 0.1g/l
・ゼータ電位：-200～200mV
・光学系：レーザードップラー法