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ウェハゴミ検査装置 (Wafer dust counter)

設備ID
TU-301
設置機関
東北大学
設備画像
ウェハゴミ検査装置
メーカー名
トプコン (Topcon)
型番
WM-3
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片~6インチ
カセットtoカセット

屈折率測定装置(プリズムカプラ) (Refractometer (Prism Coupler))

設備ID
CT-031
設置機関
公立千歳科学技術大学
設備画像
屈折率測定装置(プリズムカプラ)
メーカー名
メトリコン (Metricon)
型番
Model 2010/M
仕様・特徴
・光源波長:633nm(He-Neレーザー)
・屈折率精度:±0.0005
・透明バルクおよび透明フィルムの高精度屈折率
・膜厚と屈折率の同時計測(10~15ミクロン膜厚まで)
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