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ウェハゴミ検査装置 (Wafer dust counter)
- 設備ID
- TU-301
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
![ウェハゴミ検査装置](data/facility_item/1651468101_14.jpg)
- メーカー名
- トプコン (Topcon)
- 型番
- WM-3
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ:小片~6インチ
カセットtoカセット
屈折率測定装置(プリズムカプラ) (Refractometer (Prism Coupler))
- 設備ID
- CT-031
- 設置機関
- 公立千歳科学技術大学
- 設備画像
![屈折率測定装置(プリズムカプラ)](data/facility_item/CT-031.jpg)
- メーカー名
- メトリコン (Metricon)
- 型番
- Model 2010/M
- 仕様・特徴
- ・光源波長:633nm(He-Neレーザー)
・屈折率精度:±0.0005
・透明バルクおよび透明フィルムの高精度屈折率
・膜厚と屈折率の同時計測(10~15ミクロン膜厚まで)
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