共用設備検索結果
中分類から探す
分光エリプソメーター [UNECS-2000A] (Spectroscopic Ellipsometer [UNECS-2000A])
- 設備ID
- NM-663
- 設置機関
- 物質・材料研究機構 (NIMS)
- 設備画像
![分光エリプソメーター [UNECS-2000A]](data/facility_item/1709196827_11.jpg)
- メーカー名
- アルバック (ULVAC)
- 型番
- UNECS-2000A
- 仕様・特徴
- 1. 光源：ハロゲンランプ
2. 波長範囲：530～750 nm
3. スポット径：1mm
4. 入射角：70°固定
5. 試料サイズ：最大φ200mm
エリプソメーター [MARY-102FM] (Ellipsometer [MARY-102FM])
- 設備ID
- NM-625
- 設置機関
- 物質・材料研究機構 (NIMS)
- 設備画像
![エリプソメーター [MARY-102FM]](data/facility_item/NM-625.jpg)
- メーカー名
- ファイブラボ (five Lab)
- 型番
- MARY-102FM
- 仕様・特徴
- ・用途：絶縁膜形成評価
・光源：632nm He-Neレーザー
・ビーム径：0.8mm
・入射角：50°，60°，70°
・最大試料サイズ：φ6inch
卓上型エリプソ (Desktop Ellipsometer)
- 設備ID
- TU-303
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- フォトニックラティス (Photonic lattice)
- 型番
- SE-101
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～6インチ
分光エリプソメータ (M-2000DI-T)
- 設備ID
- UT-303
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像
- メーカー名
- ジェー・エー・ウーラム・ジャパン (J.A.Woollam)
- 型番
- M-2000U
- 仕様・特徴
- □ 主な仕様
・測定波長：193～1690nm
・チャンネル数：690同時計測
・回転補償子型
形状・膜厚・電気特性評価装置群 (Series of analysis equipments, visual, thickness, and electrical/mechanical characteristic.)
- 設備ID
- UT-850
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像
- メーカー名
- ・キーエンス ・ブルカー ・東朋テクノロジー ・ズースマイクロテック ・日本分光 ・オリンパス ・エビデント（旧オリンパス） ・キーエンス (・Keyence ・BRUKER ・Toho Technology ・SUSS MicroTec ・JASCO ・Olympus ・EVIDENT (Ex.Olympus) ・Keyence)
- 型番
- ・VHX-6000 ・DektakXT ・Tohospec3100 ・Suss8”プローバ ・M-550 ・LEXT OLS5000 ・STM-7 ・VK-X1100(404nm)
- 仕様・特徴
- 枝番1：顕微鏡
枝番2：触針段差計
枝番3：光干渉式膜厚測定装置
枝番4：Suss8”プローバ,針を当てて電気的特性を測定する装置。8インチ対応。
枝番5：分光エリプソメータ―
枝番6：レーザー顕微鏡
枝番7：光学顕微鏡(200mmステージ、静止画撮影)
枝番8：共焦点型レーザー顕微鏡。一般居室にあるため、クリーンルームに持ち込み不可なサンプルも計測可能。
エリプソメータ (Ellipsometry)
- 設備ID
- HK-706
- 設置機関
- 北海道大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日本分光 (JASCO)
- 型番
- M-500S
- 仕様・特徴
- Xe光源, 測定波長：350～800nm, 試料水平置き
分光エリプソメータ (Ellipsometer)
- 設備ID
- BA-019
- 設置機関
- 筑波大学
- 設備画像
- メーカー名
- 堀場製作所 (Horiba)
- 型番
- UVISEL Plus
- 仕様・特徴
- PEMを利用した位相変調方式により、外光の影響を受けにくい分光エリプソメーター
測定波長：190～2100 nm（波長分解能力：2 nm)
スポットサイズ：0.05, 0.1, 1mmφ（垂直入射時)を選択
分光エリプソメータ (Spectroscopic Ellipsometer)
- 設備ID
- AT-063
- 設置機関
- 産業技術総合研究所（AIST)
- 設備画像
- メーカー名
- 堀場 Jovin-Yvon (Horiba Jovin-Yvon)
- 型番
- UVISEL-M200-FUV-FGMS
- 仕様・特徴
- ・型式:UVISEL-M200-FUV-FGMS
・試料サイズ:150mmφ
・ステージ上下調整幅:20mm
・波長範囲:190～826nm（1.5～6.5eV）
高性能分光エリプソメータ (Spectroscopic Ellipsometry)
- 設備ID
- WS-026
- 設置機関
- 早稲田大学
- 設備画像
- メーカー名
- 株式会社堀場製作所 (HORIBA, Ltd.)
- 型番
- UVISEL ER AGMS iHR320
- 仕様・特徴
- 波長範囲：190-2100nm
150mmウェハ対応、XY軸はマニュアルステージ