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触針式段差計 (Contact Profiler)
- 設備ID
- AT-045
- 設置機関
- 産業技術総合研究所（AIST)
- 設備画像
- メーカー名
- KLA テンコール (KLA-Tencor)
- 型番
- Alpha-Step IQ
- 仕様・特徴
- ・型式:Alpha-Step IQ
・試料サイズ:4インチ
・測定再現性:1σ≤8Å
・膜厚測定範囲:400 μm
・走査距離:最大10mm
・走査速度:2～200 μm /sec
・サンプリングレート:50, 100, 200, 500, 1000ポイント /sec
・測定レンジ:20, 400 μm
・針圧設定範囲:1～100 mg
触針式段差計 (Stylus Profiler)
- 設備ID
- WS-021
- 設置機関
- 早稲田大学
- 設備画像
- メーカー名
- ケーエルエー・テンコール株式会社 (KLA Corporation. )
- 型番
- プロファイラーP-15
- 仕様・特徴
- 試料サイズ150mm
3D表面形状測定器
基板サイズ ～6
表面形状測定器（段差計） (Stylus profiler)
- 設備ID
- TT-017
- 設置機関
- 豊田工業大学
- 設備画像
- メーカー名
- KLAテンコール (KLA-Tencor)
- 型番
- アルファーステップ IQZ
- 仕様・特徴
- 触針段差計、材料は不問
φ4インチ程度
針先端が形状を沿って動けることが条件
接触式膜厚測定器 (Stylus Profiler)
- 設備ID
- OS-126
- 設置機関
- 大阪大学
- 設備画像
- メーカー名
- ブルカージャパン株式会社 (Bruker Japan K.K.)
- 型番
- DektakXT
- 仕様・特徴
- 【特徴】
10nm以下の段差を測定できる触針式の膜厚測定器です。
3D機能を備えたプロファイリングシステムを搭載しており、3Dマッピングが可能です。
【仕様】
試料ステージ：150mmφ
分解能：0.4nm
垂直測定レンジ：1 mm
膜厚測定再現性（1σ）：5Å
走査距離上限：55mm
触針圧：1mg～15mg
微細形状測定装置 (Microfigure Measurering Instrument)
- 設備ID
- NR-703
- 設置機関
- 奈良先端科学技術大学院大学 (NAIST)
- 設備画像
- メーカー名
- 小坂製作所 (Kosaka)
- 型番
- ET200
- 仕様・特徴
- ・再現性 0.3nm以内
・分解能 Z：0.1nm X：0.1μm
表面段差計 (Profilometer)
- 設備ID
- RO-534
- 設置機関
- 広島大学
- 設備画像
- メーカー名
- BRUKER (BRUKER)
- 型番
- Dektak XT-E
- 仕様・特徴
- 対応wafer：４inch以下
垂直範囲：10nm～1mm、
垂直解像度：最高0.1nm
触針式表面形状測定器 (Stylus-type surface shape measuring system)
- 設備ID
- GA-005
- 設置機関
- 香川大学
- 設備画像
- メーカー名
- アルバック (ULVAC)
- 型番
- Dektak8
- 仕様・特徴
- 測定分解能:最小:0.1nm
垂直分解能/レンジ：1Å/65kÅ、10Å/655kÅ、40Å/2620kÅ
サンプルサイズ：直径210mm
測定長さ：50μm〜50mm
最大サンプリング数：30,000点
測定加重：1〜15mg
自動多点測定数：最高200点
サンプル観察：
トップビュー（低倍率カラー）10mm
サイドビュー（高倍率カラー）1mm
測定再現性:1nm以下
微細形状測定機(段差計) (Microfigure Measuring Instrument)
- 設備ID
- HK-630
- 設置機関
- 北海道大学
- 設備画像
- メーカー名
- 株式会社 小坂研究所 (Kosaka Laboratory Ltd.)
- 型番
- ET200A
- 仕様・特徴
- 最大サンプルサイズΦ160×厚さ52mm
再現性1σ 0.3nm以内
測定範囲Z：600μm X：100mm
分解能Z：0.1nm X：0.1μm
測定力10μN～500μN
触針式プロファイラー [Dektak 6M] (Surface Profilometer [Dektak 6M])
- 設備ID
- NM-654
- 設置機関
- 物質・材料研究機構 (NIMS)
- 設備画像
![触針式プロファイラー [Dektak 6M]](data/facility_item/1687417165_11.jpg)
- メーカー名
- ブルカージャパン株式会社 (Bruker Japan K.K.)
- 型番
- Dektak 6M
- 仕様・特徴
- ・垂直分解能：0.1 nm
・最大垂直測定幅：262 μm
・測定長さ：50 μm～30 mm