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段差計 (Surface profiler)
- 設備ID
- NU-261
- 設置機関
- 名古屋大学
- 設備画像
- メーカー名
- 小坂研究所 (Kosaka Laboratory)
- 型番
- ET200A
- 仕様・特徴
- ・最大サンプルサイズ：φ160×厚さ52mm
・再現性 ：1σ 0.3nm以内
・測定範囲 ：Z：600µm，X：100mm
・分解能 ：Z：0.1nm，X：0.1µm
・測定力：10µN～500µN
触針式プロファイラー [Dektak XT-A] (Surface Profilometer [Dektak XT-A])
- 設備ID
- NM-626
- 設置機関
- 物質・材料研究機構 (NIMS)
- 設備画像
![触針式プロファイラー [Dektak XT-A]](data/facility_item/NM-626.jpg)
- メーカー名
- ブルカージャパン (Bruker)
- 型番
- Dektak XT-A
- 仕様・特徴
- ・用途：段差測定
・分解能：1Å（6.5umレンジ）
・走査距離：55mm
・触圧範囲：0.03-15mg
・最大試料サイズ：φ8inch
・ その他：自動ステージ、3Dマッピング、粗さ測定、ストレス測定
Dektak 段差計 (Dektak surface profiler)
- 設備ID
- TU-305
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- Dektak (Dektak)
- 型番
- 8
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～6インチ
Tencor 段差計 (Tencor profiler)
- 設備ID
- TU-306
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- Tencor (Tencor)
- 型番
- AlphaStep
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～6インチ
形状・膜厚・電気特性評価装置群 (Series of analysis equipments, visual, thickness, and electrical/mechanical characteristic.)
- 設備ID
- UT-850
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像
- メーカー名
- ・キーエンス ・ブルカー ・東朋テクノロジー ・ズースマイクロテック ・日本分光 ・オリンパス ・エビデント（旧オリンパス） ・キーエンス (・Keyence ・BRUKER ・Toho Technology ・SUSS MicroTec ・JASCO ・Olympus ・EVIDENT (Ex.Olympus) ・Keyence)
- 型番
- ・VHX-6000 ・DektakXT ・Tohospec3100 ・Suss8”プローバ ・M-550 ・LEXT OLS5000 ・STM-7 ・VK-X1100(404nm)
- 仕様・特徴
- 枝番1：顕微鏡
枝番2：触針段差計
枝番3：光干渉式膜厚測定装置
枝番4：Suss8”プローバ,針を当てて電気的特性を測定する装置。8インチ対応。
枝番5：分光エリプソメータ―
枝番6：レーザー顕微鏡
枝番7：光学顕微鏡(200mmステージ、静止画撮影)
枝番8：共焦点型レーザー顕微鏡。一般居室にあるため、クリーンルームに持ち込み不可なサンプルも計測可能。
小型微細形状測定機 (Surface profiler)
- 設備ID
- NU-220
- 設置機関
- 名古屋大学
- 設備画像
- メーカー名
- 小坂研究所 (Kosaka Laboratory)
- 型番
- ET200
- 仕様・特徴
- ・最大サンプルサイズ：φ160×厚さ48mm
・再現性 ：1σ 1nm以内
・測定範囲 ：Z：600 µm，X：100mm
・分解能 ：Z：0.1 nm，X：0.1 µm
・測定力：10 µN〜500 µN
触針式段差計（CR） (Stylus Profilometer)
- 設備ID
- KT-332
- 設置機関
- 京都大学
- 設備画像
- メーカー名
- Veeco社(株)アルバック (Veeco Instruments Inc.ULVAC, Inc.)
- 型番
- Dektak150
- 仕様・特徴
- (株)アルバック社製 Dektak150
垂直分解能(最高) 0.1nm
測定距離 50μm～55mm
サンプルステージサイズ 直径 150mm
触針式段差計（加工評価室） (Stylus Profilometer)
- 設備ID
- KT-333
- 設置機関
- 京都大学
- 設備画像
- メーカー名
- Veeco社(株)アルバック (Veeco Instruments Inc.ULVAC, Inc.)
- 型番
- Dektak150
- 仕様・特徴
- (株)アルバック社製 Dektak150
垂直分解能(最高) 0.1nm
測定距離 50μm～55mm
サンプルステージサイズ 直径 150mm
触針式表面形状測定器（Dektak） (Stylus profilometer (Dektak))
- 設備ID
- CT-017
- 設置機関
- 公立千歳科学技術大学
- 設備画像
- メーカー名
- ブルカー (Bruker)
- 型番
- Dektak XT
- 仕様・特徴
- ・200 mmφ対応
・測定再現性 1σ=4 Å以下
触針式表面段差計 (Stylus Profilemeter)
- 設備ID
- BA-014
- 設置機関
- 筑波大学
- 設備画像
- メーカー名
- KLA-TENCOR (KLA-TENCOR)
- 型番
- Alpha-Step D-500
- 仕様・特徴
- 測定長さ; 30 mm
サンプルステージ直径; 140 mm
サンプル厚さ(最大); 20 mm
垂直測定レンジ（最大）；1200 μm
垂直測定分解能；0.038 nm (2.5 μm Range)
観察倍率；×1, ×1.3, ×2, ×4