共用設備検索結果
集束イオンビーム加工装置 (Dual-Beam FIB System )
- 設備ID
- TU-507
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- サーモフィッシャーサイエンティフィック株式会社 (Thermo Fisher Scientific K.K.)
- 型番
- Quanta 3D
- 仕様・特徴
- ・加速電圧 1 kV～30 kV W電子銃
・加速電圧 5 kV～30 kV Gaイオン銃
・保護膜形成 W蒸着・C蒸着
集束イオンビーム加工装置 (Dual-Beam FIB System )
- 設備ID
- TU-508
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- サーモフィッシャーサイエンティフィック株式会社 (Thermo Fisher Scientific K.K.)
- 型番
- Versa 3D
- 仕様・特徴
- ・加速電圧 0.5 kV～30 kV W電子銃
・加速電圧 0.5 kV～30 kV Gaイオン銃
・保護膜形成 Pt蒸着・C蒸着
・シリアルセクショニング
・反射電子検出器
CADデータ連動3次元機能融合デバイス評価用前処理システム (Preprocessing system for device evaluation that integrates 3D functions linked with CAD data)
- 設備ID
- UT-152
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Tech)
- 型番
- XVision200TB
- 仕様・特徴
- □ 主な特徴
・デバイス評価用前処理システム
・透過電子顕微鏡用薄膜試料作製にも対応
□ 主な仕様
・ FIB分解能：4nm@30kV、最大電流45nA
・ SEM分解能：3nm@5kV、加速電圧1～30kV
・ 最大8インチステージ
・ Arビーム照射
・ W,C,絶縁膜デポ XeF,有機系エッチングガス
・ CADデータオーバレイ表示
・ レーザー顕微鏡と共通の座標系
直交型高速加工観察分析装置 (High performance focused ion beam system （FIB-SEM))
- 設備ID
- NU-104
- 設置機関
- 名古屋大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Tech)
- 型番
- MI4000L
- 仕様・特徴
- FIB-SEM 直交配置
FIB, SEM, STEM, Ar Gun, EDS
FIB, SEM 最大加速電圧：30kV
バイオ/無機材料用高速FIB-SEMシステム (High performance focused ion beam system （FIB-SEM))
- 設備ID
- NU-105
- 設置機関
- 名古屋大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Tech)
- 型番
- ETHOS NX5000
- 仕様・特徴
- FIB-SEM
FIB, SEM, STEM, Ar Gun, EDS
FIB, SEM 最大加速電圧：30kV
集束イオンビーム走査電子顕微鏡 (Cross-Beam with Focused Ion Beam and FE-SEM )
- 設備ID
- KT-206
- 設置機関
- 京都大学
- 設備画像
- メーカー名
- エスアイアイ・ナノテクノロジー(株) (SII NanoTechnology Inc.)
- 型番
- NVision40PI
- 仕様・特徴
- 高性能FIBとFE-SEMのクロスビーム装置（各種分析機能付）。
・基板サイズ：MAX Φ30mm
・検出器：SE×2（インレンズSE、チャンバーSE）、反射電子（EsB）
・ガスインジェクションシステム：C、W、SiOx
・マイクロプロービングシステム
・EDX/EBSDインテグレーションシステム：EDAX Pegasus
・ピコインデンターシステム
デュアルビームFIB-SEM加工装置 (Dual beam FIB-SEM)
- 設備ID
- KU-005
- 設置機関
- 九州大学
- 設備画像
- メーカー名
- サーモフィッシャーサイエンテ ィフィック (Thermo Fisher Scientific)
- 型番
- FEI Quanta 200 3D
- 仕様・特徴
- 観察+FIB加工、マイクロサンプリング
直交型FIB-SEM (3D analytical FIB-SEM)
- 設備ID
- KU-006
- 設置機関
- 九州大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Tech Corporation)
- 型番
- MI4000L
- 仕様・特徴
- 直交型FIB-SEM、3次元組織解析(3D-SEM/EDS)、EDS(150mm2 SDD検出器)による組成・状態分析
三次元走査電子顕微鏡 (3D analyltical FIB-SEM)
- 設備ID
- KU-011
- 設置機関
- 九州大学
- 設備画像
- メーカー名
- サーモフィッシャーサイエンテ ィフィック (Thermo Fisher Scientific)
- 型番
- Scios DualBeam
- 仕様・特徴
- 3次元組織解析