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電界放出型 走査電子顕微鏡 (Field-Emission Scanning Electron Microscope)
- 設備ID
- WS-013
- 設置機関
- 早稲田大学
- 設備画像
![電界放出型 走査電子顕微鏡](data/facility_item/1651475292_14.jpg)
- メーカー名
- 株式会社 日立ハイテク (Hitachi High-Tech Corporation)
- 型番
- S5500
- 仕様・特徴
- 試料サイズ 平面5.0mmX9.5mmX3.5mmH
断面2.0mmX6.0mmX5.0mmH
倍率 ~×2M (高倍率モード)
走査型電子顕微鏡 (scanning electron microscope)
- 設備ID
- IT-006
- 設置機関
- 東京工業大学
- 設備画像
![走査型電子顕微鏡](data/facility_item/IT-006.jpg)
- メーカー名
- 日立 (Hitachi)
- 型番
- S5200
- 仕様・特徴
- 高解像度用インレンズ式高解像度用インレンズ式 加速電圧1kV~30kV 分解能0.5nm(30kV)~1.7nm(1kV) 倍率X100~X2000K STEMモード可
走査型電子顕微鏡 (scanning electron microscope)
- 設備ID
- IT-007
- 設置機関
- 東京工業大学
- 設備画像
![走査型電子顕微鏡](data/facility_item/IT-007.jpg)
- メーカー名
- 日立 (Hitachi)
- 型番
- S4500
- 仕様・特徴
- 電界放出型 ・冷陰極電界放出型電子銃 ・分解能:1.5 nm (加速電圧 15 kV WD=4mm) 4.0 nm (加速電圧1 kV WD=3mm) ・試料サイス:最大50 mm (直径)
低加速走査電子顕微鏡 (FE-SEM)
- 設備ID
- JI-010
- 設置機関
- 北陸先端科学技術大学院大学(JAIST)
- 設備画像
![低加速走査電子顕微鏡](data/facility_item/JI-010.jpg)
- メーカー名
- 日立ハイテク (Hitachi High-Tech)
- 型番
- Regulus8230
- 仕様・特徴
- 【遠隔利用可】
加速電圧:0.5-30kV(照射電圧0.01-20kV)
分解能:0.6nm at 15kV
EDX、EBSD、PD-BSE、EBIC
走査型オージェ電子分光顕微鏡 (SAM)
- 設備ID
- JI-011
- 設置機関
- 北陸先端科学技術大学院大学(JAIST)
- 設備画像
![走査型オージェ電子分光顕微鏡](data/facility_item/JI-011.jpg)
- メーカー名
- アルバック・ファイ (ULVAC-PHI)
- 型番
- SAM670Xi
- 仕様・特徴
- 元素分析:原子番号3以上
最大加速電圧:25kV
走査電子ビーム径:15nm以下(加速電圧20kV、電流1nA)
エネルギー分析:0-3200 eV
超高真空
大気中原子間力顕微鏡 (AFM)
- 設備ID
- JI-012
- 設置機関
- 北陸先端科学技術大学院大学(JAIST)
- 設備画像
![大気中原子間力顕微鏡](data/facility_item/JI-012.jpg)
- メーカー名
- 日立ハイテクサイエンス (Hitachi High-Tech Science)
- 型番
- AFM5000II SPA-400
- 仕様・特徴
- 測定方式:光てこ方式
試料サイズ:最大直径35mmφ 最大厚み10mm
走査範囲:20μm
複合ビーム加工観察装置 (Dual beam analysis system )
- 設備ID
- SH-007
- 設置機関
- 信州大学
- 設備画像
![複合ビーム加工観察装置](data/facility_item/SH-007.jpg)
- メーカー名
- 日本電子 (JEOL)
- 型番
- JIB-4610F
- 仕様・特徴
- FE-SEM 加速電圧 0.1~30kV
FIB 分解能4nm 加速電圧 1~30kV
Cryoオプション付き ピックアップシステム付き
電界放出型走査電子顕微鏡 (Field-Emission Scanning Electron Microscope)
- 設備ID
- SH-101
- 設置機関
- 信州大学
- 設備画像
![電界放出型走査電子顕微鏡](data/facility_item/1651476214_14.jpg)
- メーカー名
- 日立ハイテク (Hitachi High-Tech)
- 型番
- SU8000
- 仕様・特徴
- 加速電圧:0.5 ~ 30 kV
倍率:低倍率モード20 ~ 2,000倍
高倍率モード100 ~ 800,000倍
分析機能:EDX付
精密形状測定・局所磁気測定・局所電気特性評価装置 (Scanning Probe Microscope for Morphological, Magnetic and Electrical Characterization)
- 設備ID
- NI-017
- 設置機関
- 名古屋工業大学
- 設備画像
![精密形状測定・局所磁気測定・局所電気特性評価装置](data/facility_item/NI-017.jpg)
- メーカー名
- 日本電子 (JEOL)
- 型番
- JSPM-5200TM
- 仕様・特徴
- 分解能:原子分解能。カーボンナノファイバー(CNF)探針によるソフトマテリアル低損傷観察可能。
測定モード:形状、電気特性、磁気特性測定。
電界放出形走査電子顕微鏡(FE-SEM)(電子ビーム描画機能付属) (Field emission-type scanning electron microscope)
- 設備ID
- TT-014
- 設置機関
- 豊田工業大学
- 設備画像
![電界放出形走査電子顕微鏡(FE-SEM)(電子ビーム描画機能付属)](data/facility_item/TT-014.jpg)
- メーカー名
- 日本電子 (JEOL Ltd.)
- 型番
- JSM6500F
- 仕様・特徴
- 東京テクノロジーのBEAM DRAWを付加した電子線描画装置。最小描画線幅50nm