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電界放出形走査電子顕微鏡 (Field-emission scanning electron microscope (FE-SEM))

設備ID
HK-302
設置機関
北海道大学
設備画像
電界放出形走査電子顕微鏡
メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
JSM-6500F
仕様・特徴
加速電圧:1kV~30kV
分析機能:EDS, EBSD

電界放出形電子プローブマイクロアナライザー (Field emission electron probe micro analyzer (FE-EPMA))

設備ID
HK-303
設置機関
北海道大学
設備画像
電界放出形電子プローブマイクロアナライザー
メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
JXA-8530F
仕様・特徴
加速電圧:1~30kV
分析機能:WDS

集束イオンビーム加工・観察装置 (Focused Ion Beam and Scanning Electron Microscope system(FIB-SEM))

設備ID
HK-304
設置機関
北海道大学
設備画像
集束イオンビーム加工・観察装置
メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
JIB-4600F/HKD
仕様・特徴
加速電圧:1~30kV
分析機能:EDS、EBSD、3D観察
像分解能:5nm(30kV)

超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 (High resolution Field-emission scanning electron microscope)

設備ID
HK-404
設置機関
北海道大学
設備画像
超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
メーカー名
日立ハイテク (Hitachi High-Tech)
型番
Regulus8230
仕様・特徴
加速電圧:0.5~30kV
分析機能:EDS
STEM機能
試料サイズ:6インチまで
遠隔画面共有

高分解能電界放射型走査型電子顕微鏡 (Field emission electron microscope)

設備ID
HK-625
設置機関
北海道大学
設備画像
高分解能電界放射型走査型電子顕微鏡
メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
JSM-6700FT
仕様・特徴
加速電圧:5-30kV
EDS機能
試料サイズ:小片~25mm角

走査型プローブ顕微鏡 (SPM) (Scanning probe microscope (SPM))

設備ID
CT-009
設置機関
公立千歳科学技術大学
設備画像
走査型プローブ顕微鏡 (SPM)
メーカー名
ブルカー (Bruker)
型番
MultiMode 8J
仕様・特徴
・大気中、液中イメージングが可能
・ナノ機械特性(弾性率、吸着力)、ナノ電気特性(表面電位、導電性)の測定が可能

走査型電子顕微鏡(SEM) (Scanning electron microscope (SEM))

設備ID
CT-010
設置機関
公立千歳科学技術大学
設備画像
走査型電子顕微鏡(SEM)
メーカー名
日立ハイテク (Hitachi High-Tech)
型番
TM4000Plus
仕様・特徴
・加速電圧:5、10、15 kV
・倍率:10~100,000倍
・装備オプション:EDS、UVD、カメラナビゲーションシステム

電界放出形走査電子顕微鏡(FE-SEM) (Field emission scanning electron microscope (FE-SEM))

設備ID
CT-011
設置機関
公立千歳科学技術大学
設備画像
電界放出形走査電子顕微鏡(FE-SEM)
メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
JSM-7800F
仕様・特徴
・加速電圧:0.01~30 kV
・倍率: 25~1,000,000倍
・装備オプション:EDS、STEM、BED、USD、低真空システム

走査型プローブ顕微鏡 (Scanning Probe Microscope)

設備ID
BA-006
設置機関
筑波大学
設備画像
走査型プローブ顕微鏡
メーカー名
Bruker (Bruker)
型番
Dimension Icon
仕様・特徴
形状測定モード:
タッピングモード, コンタクトモード
物性測定モード:
電気・磁気特性(EFM/SSRM/KPFM/MFM他)
機械特性(粘弾性/水平力)
試料サイズ:直径 <Φ150mm, 厚さ <10mm
最大スキャン範囲:XY 90μmx90μm, Z 10μm
Z方向ノイズ:0.03nm RMS
測定環境:大気中, 液中(要相談)

電界放出型走査電子顕微鏡 (Field-Emission Scanning Electron Microscope)

設備ID
BA-008
設置機関
筑波大学
設備画像
電界放出型走査電子顕微鏡
メーカー名
日立ハイテク (Hitachi High-Tech)
型番
SU-8020
仕様・特徴
二次電子分解能;1.0nm(加速電圧15kV,WD=4mm) 1.3nm(照射電圧1kV,WD=1.5mm)
照射電圧;0.1~30kV
低倍率モード;20~2,000倍(写真倍率)
高倍率モード;100~800,000倍(写真倍率)
SE/BSE信号可変方式
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