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卓上顕微鏡(SEM) (Tabletop SEM)
- 設備ID
- KT-325
- 設置機関
- 京都大学
- 設備画像
- メーカー名
- (株)日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Technologies Corporation)
- 型番
- TM3000
- 仕様・特徴
- 簡単な操作で高倍率の表面観察ができます。低真空観察法により、帯電しやすい試料でも金属コーティングをせず、そのまま観察ができます。
・倍率 15～30,000倍
・試料最大寸法 Φ70mm
マイクロカロリーメーター高エネルギー分解能元素分析装置 (High resolution SEM with TES high energy resolution EDS)
- 設備ID
- KU-003
- 設置機関
- 九州大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日立ハイテクサイエンス、カールツァイス (Hitachi High-Tech Science)
- 型番
- Zeiss-ULTRA55 ＋ SII-TES
- 仕様・特徴
- 超伝導転移端検出器による高感度組成・状態分析(10eV@6KeV)、SDD(150mm2)検出器による組成・状態分析
デュアルビームFIB-SEM加工装置 (Dual beam FIB-SEM)
- 設備ID
- KU-005
- 設置機関
- 九州大学
- 設備画像
- メーカー名
- サーモフィッシャーサイエンテ ィフィック (Thermo Fisher Scientific)
- 型番
- FEI Quanta 200 3D
- 仕様・特徴
- 観察+FIB加工、マイクロサンプリング
直交型FIB-SEM (3D analytical FIB-SEM)
- 設備ID
- KU-006
- 設置機関
- 九州大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Tech Corporation)
- 型番
- MI4000L
- 仕様・特徴
- 直交型FIB-SEM、3次元組織解析(3D-SEM/EDS)、EDS(150mm2 SDD検出器)による組成・状態分析
三次元走査電子顕微鏡 (3D analyltical FIB-SEM)
- 設備ID
- KU-011
- 設置機関
- 九州大学
- 設備画像
- メーカー名
- サーモフィッシャーサイエンテ ィフィック (Thermo Fisher Scientific)
- 型番
- Scios DualBeam
- 仕様・特徴
- 3次元組織解析
デュアルビーム微細加工電子顕微鏡 (Dual beam FIB-SEM)
- 設備ID
- KU-012
- 設置機関
- 九州大学
- 設備画像
- メーカー名
- サーモフィッシャーサイエンテ ィフィック (Thermo Fisher Scientific)
- 型番
- Versa3D DualBeam
- 仕様・特徴
- 観察+FIB加工、マイクロサンプリング
キセノンプラズマ集束イオンビーム加工・走査電子顕微鏡複合機 (Analytical plasma FIB-SEM)
- 設備ID
- KU-013
- 設置機関
- 九州大学
- 設備画像
- メーカー名
- サーモフィッシャーサイエンテ ィフィック (Thermo Fisher Scientific)
- 型番
- Helios 5 Hydra DualBeam
- 仕様・特徴
- イオン源4種(Xe, Ar, O, N)、SIMS分析
走査型プローブ顕微鏡装置群 (Scanning Probe Microscope)
- 設備ID
- KU-510
- 設置機関
- 九州大学
- 設備画像
- メーカー名
- 島津製作所、エスアイアイ・ナノテクノロジー (Shimazu, Seiko Instruments)
- 型番
- SPM9600, SPI3800N
- 仕様・特徴
- 【SPM9600】
・分解能 水平0.2nm 垂直0.01nm
・測定モード ：コンタクト、ダイナミック、位相
【環境制御型多機能走査プローブ顕微鏡：SPI3800N】
・環境：大気中、液中、真空中、ガス雰囲気
・温度制御: 自動加熱・冷却(-120～250℃)
・位相、摩擦、粘弾性、電流、etc.
走査電子顕微鏡装置群 (Scanning electron microscope system)
- 設備ID
- KU-511
- 設置機関
- 九州大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日立ハイテクノロジーズキーエンス (Hitachi High-TechKEYENCE)
- 型番
- SU9000、VE-8800
- 仕様・特徴
- 【超高分解能走査電子顕微鏡装置：SU9000】
・SEM(空間分解能0.4nm)とSTEM(空間分解能0.34nm)の高分解能同視野観察
・30kV以下の低加速観察
・コールドFE電子銃
・EDSによる高解像度元素マッピング
・含水サンプルの凍結観察個体表面における原子の分布を高分解能マッッピング
【3次元SEM画像測定解析システムVE-8800 KEYENCE】
・加速電圧0.5-20kV
・さまざまな有機／無機／複合材料表面構造解析低加速電圧観察可能(0.5 kV)
・非導電性試料でも非蒸着で観察可能
オージェ電子分光装置 (Auger electron spectroscope)
- 設備ID
- HK-202
- 設置機関
- 北海道大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日本電子 (JEOL)
- 型番
- JAMP-9500F
- 仕様・特徴
- 加速電圧:0.5～30kV、プローブ電流:10-11～2×10-7A
二次電子分解能:3nm
オージェ分析プローブ径最小:8nm
アルゴンイオンエッチング銃
EBSD測定(TSLソリューションズ ORION検出器)
トランスファーベッセル
画面共有システムによる遠隔立ち会い
Spectrum investigator、Spectrum Imaging