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直交型高速加工観察分析装置 (High performance focused ion beam system (FIB-SEM))

設備ID
NU-104
設置機関
名古屋大学
設備画像
直交型高速加工観察分析装置
メーカー名
日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Tech)
型番
MI4000L
仕様・特徴
FIB-SEM 直交配置
FIB, SEM, STEM, Ar Gun, EDS
FIB, SEM 最大加速電圧:30kV

バイオ/無機材料用高速FIB-SEMシステム (High performance focused ion beam system (FIB-SEM))

設備ID
NU-105
設置機関
名古屋大学
設備画像
バイオ/無機材料用高速FIB-SEMシステム
メーカー名
日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Tech)
型番
ETHOS NX5000
仕様・特徴
FIB-SEM
FIB, SEM, STEM, Ar Gun, EDS
FIB, SEM 最大加速電圧:30kV

原子間力顕微鏡 (Atomic force microscope)

設備ID
NU-204
設置機関
名古屋大学
設備画像
原子間力顕微鏡
メーカー名
Bruker AXS (Bruker AXS)
型番
Dimension3100
仕様・特徴
・スキャン領域:XY方向 約90μm,Z方向 約6μm
・試料サイズ:最大150 mmφ-12 mmT
・測定モード AFM,MFM,EFM,LFM,表面電位顕微鏡,電流像

走査型電子顕微鏡 (Scanning electron microscope)

設備ID
NU-227
設置機関
名古屋大学
設備画像
走査型電子顕微鏡
メーカー名
日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Tech)
型番
S5200
仕様・特徴
・加速電圧:0.5kV~30kV
・分解能:0.5nm(30kV)
・倍率:~2,000,000
・最大試料サイズ:5mm x 9.5mm

走査型電子顕微鏡 (Scanning electron microscope)

設備ID
NU-228
設置機関
名古屋大学
設備画像
走査型電子顕微鏡
メーカー名
日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Tech)
型番
S4300
仕様・特徴
・加速電圧:0.5kV~15kV
・分解能:15nm(30kV)
・倍率:~500,000
・最大試料サイズ:直径100 mm

高精度電子線描画装置 (Scanning electron microscope with add-on lithography system )

設備ID
NU-249
設置機関
名古屋大学
設備画像
高精度電子線描画装置
メーカー名
日本電子 サンユー電子 (JEOL Sanyu Electron)
型番
JSM-7000FK SPG-724
仕様・特徴
・分解能:1.2 nm(30kV)
・倍率:×10~×1,000,000
・試料室:最大200 mm
・描画方式:ラスタースキャン方式/ブロックスキャン方式
・描画フィールド:50 µm□/100 µm□/200 µm□/500 µm□(ラスタースキャン),2,500 µm□,1ブロック=2.5 µm□(ブロックスキャン)

超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 (Ultra-High Resolution Filed Emission SEM)

設備ID
KT-301
設置機関
京都大学
設備画像
超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
メーカー名
(株)日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Technologies Corporation)
型番
SU8000
仕様・特徴
絶縁物試料は、チャージアップ抑制機能を用いて観察可能
通常の二次電子像に加え、組成コントラスト、電位コントラストでの像取得が可能
・像分解能 1.0nm@15kV 1.4nm@1kV
・取得可能像 二次電子像,組成像,透過像,透過暗視野像
・試料サイズ Max100mmΦ,高さ30mm以下

分析走査電子顕微鏡 (Analytical Variable-Pressure Field Emission SEM)

設備ID
KT-302
設置機関
京都大学
設備画像
分析走査電子顕微鏡
メーカー名
(株)日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Technologies Corporation)
型番
SU6600
仕様・特徴
(株)日立ハイテクノロジーズ社製 SU6600
分解能 二次電子分解能:1.2nm
反射電子分解能:3.0nm
EDX、EBSD、IRカメラ搭載

高速液中原子間力顕微鏡 (Liquid-Enviroment High Speed AFM)

設備ID
KT-303
設置機関
京都大学
設備画像
高速液中原子間力顕微鏡
メーカー名
(株)生体分子計測研究所 (Research Institute of Biomolecule Metrology Co., Ltd.)
型番
NanoLiveVision NLV-KS
仕様・特徴
10fpsの動画観察可能な原子間力顕微鏡
・推奨凹凸高さ 30 nm以下
・試料形状例 Φ1.5mm雲母板表面に吸着
・測定環境 液中観察

走査型プローブ顕微鏡システム (Bioscience Atomic Force Microscope)

設備ID
KT-304
設置機関
京都大学
設備画像
走査型プローブ顕微鏡システム
メーカー名
JPKインスツルメンツ社 (JPK Instruments AG)
型番
NanoWizard III
仕様・特徴
大気中または液体中でのAFM計測
AFM測定と光学測定を同時実行可能
・NW3-XS-0ほか
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