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熱電子SEM (SEM)

設備ID
TU-314
設置機関
東北大学
設備画像
熱電子SEM
メーカー名
日立ハイテク (Hitachi High-Tech)
型番
S3700N
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片~8インチ
ロードロックは4インチまで
EDX付、低真空モード付、光学画像ナビゲーション付

断面SEM (FE-SEM)

設備ID
TU-315
設置機関
東北大学
設備画像
断面SEM
メーカー名
日立ハイテク (Hitachi High-Tech)
型番
S5000
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片専用
インレンズ式(磁性体導入不可)

JEOL FE-SEM (JEOL FE-SEM)

設備ID
TU-316
設置機関
東北大学
設備画像
JEOL FE-SEM
メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
JSM-6335F
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片~4インチ
EDX付

クイックコータ (Quick coater)

設備ID
TU-318
設置機関
東北大学
設備画像
クイックコータ
メーカー名
サンユー電子 (Sanyu)
型番
SC-701MkII
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片~2インチ

パーク・システムズAFM (Park systems AFM)

設備ID
TU-319
設置機関
東北大学
設備画像
パーク・システムズAFM
メーカー名
パーク・システムズ (Park systems)
型番
NX20
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片~8インチ

低加速走査電子顕微鏡 (Scanning Electron Microscope)

設備ID
TU-505
設置機関
東北大学
設備画像
低加速走査電子顕微鏡
メーカー名
日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Tech)
型番
SU-8000
仕様・特徴
・加速電圧 0.1 kV~30 kV FE電子銃
・二次電子像分解能 1.0/1.3 nm (15/1 kV)
・EDS分析、元素マッピング

低加速高分解能走査電子顕微鏡 (Scanning Electron Microscope)

設備ID
TU-506
設置機関
東北大学
設備画像
低加速高分解能走査電子顕微鏡
メーカー名
日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Tech)
型番
S-5500
仕様・特徴
・加速電圧 0.1 kV~30 kV FE電子銃
・二次電子像分解能 0.4/1.3 nm (30/1 kV)

低損傷走査型分析電子顕微鏡 (Low Damage Field Emission Scanning Electron Microscope)

設備ID
UT-101
設置機関
東京大学
設備画像
低損傷走査型分析電子顕微鏡
メーカー名
日本電子株式会社 (JEOL Ltd.)
型番
JSM-7500FA
仕様・特徴
□ 主な特長
ジェントルビーム機能を搭載し加速電圧1kVで1.4nmの高分解能
□ 主な仕様
・二次電子像分解能:1.0nm(15kV)、1.4nm(1kV)
・倍率:×25~×1,000,000
・加速電圧:0.1kV~30kV

高分解能走査型分析電子顕微鏡 (Field Emission Scanning Electron Microscope)

設備ID
UT-102
設置機関
東京大学
設備画像
高分解能走査型分析電子顕微鏡
メーカー名
日本電子株式会社 (JEOL Ltd.)
型番
JSM-7800F Prime
仕様・特徴
□ 主な仕様
(1)本体
加速電圧:0.5~30 kV
0.5~2.9 kVは10 Vステップ
2.9~30 kVは100 Vステップ
二次電子分解能:1.0 nm(加速電圧15kV, 通常時)
1.5 nm(加速電圧1kV, 通常時)
0.7 nm(加速電圧15kV, GB時)
1.2 nm(加速電圧1kV, GB時)
0.7 nm(加速電圧1kV, GBSH時)
倍率:×25 ~ 1,000,000
プローブ電流:10-12 ~ 2×10-7 A
(2)エネルギー分散形X線分析装置(JEOL JED-2300F)
検出器:シリコンドリフト検出器
エネルギー分解能:129 eV
検出可能元素:Be ~ U
(3)カソードルミネッセンス測定装置(HORIBA MP-32S)
波長測定領域:185 nm ~ 900 nm(PMT)
200 nm ~ 1100 nm(CCD)
※ 光経路が空気中であるため、紫外領域の感度は低減される
(4)半導体反射電子検出器(RBEI)
(5)走査透過型電子検出器(STEM)

高分解能走査型電子顕微鏡 (Field Emission Scanning Electron Microscope)

設備ID
UT-103
設置機関
東京大学
設備画像
高分解能走査型電子顕微鏡
メーカー名
日本電子株式会社 (JEOL Ltd.)
型番
JSM-7000F
仕様・特徴
□ 主な仕様
(1)本体
加速電圧:0.5~30kV 0.5~2.9kVは10Vステップ可変
2.9~30kVは100Vステップ可変
二次電子分解能:1.2nm(加速電圧30kV),3.0nm (加速電圧1kV)
倍率:×10(WD40)~500,000
プローブ電流:10-12~2×10-7A
(2)結晶方位測定装置(株式会社TSLソリューションズ)
ソフトウェアー OIM Ver7.3.1
(3)高感度反射電子検出器
(4)走査透過電子検出器(STEM)
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