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走査電子顕微鏡（SEM） (Field emission scanning electron microscope)
- 設備ID
- RO-527
- 設置機関
- 広島大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日本電子 (JEOL Ltd.)
- 型番
- JSM-IT800
- 仕様・特徴
- ショットキｰ電界放出型電子銃，10V～30kV、
最高分解能0.5nm，
高分解能３次元X線顕微鏡 (３D X-ray Microscope)
- 設備ID
- SH-012
- 設置機関
- 信州大学
- 設備画像
- メーカー名
- ツァイス (Zeiss)
- 型番
- Xradia 620 Versa
- 仕様・特徴
- 空間分解能500 nm 最小ボクセルサイズ40 nm
X線出力最大25 W（加速電圧30-160 kV)
測長SEM (CD-SEM)
- 設備ID
- TU-317
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日立ハイテク (Hitachi High-Tech)
- 型番
- CS4800
- 仕様・特徴
- 6、8インチは自動搬送、4インチ以下は手動搬送
計測再現性：1nm(3σ)
走査型プローブ顕微鏡 (Scanning Probe Microscope)
- 設備ID
- UT-861
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Tech)
- 型番
- L-traceⅡ
- 仕様・特徴
- □主な特長
・Z直進エラーの低減化
・S/N比向上と光ノイズ低減
・熱源抑制効果による低ドリフト化
□主な仕様
・分解能 面内0.5nm 垂直0.05nm
・試料サイズ 直径150mm厚さ12mmまで
・スキャン最大エリア90μmX90μm
□主な用途
・ 微細加工形状の評価
・ 薄膜の表面形状（粗さ）観察